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散射体激光多普勒效应光栅测量系统的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
本文研究利用激光多普勒效应,采用光栅系统拾取信号,对散射体表面进行切向位移测量的新方法。文中分析了光路原理和正弦条件,用理论和实验证明系统拾取信号的相位结构和它具有信噪比高的特点,可有效地用于固体位移的不接触测量。 相似文献
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介绍了一种光栅横向位移遥测传感器,被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量,采用差动光路结构。理论计算和实验表明,此系统测量范围大、信号质量好、分辨率和测量精度高,并具有很大的景深范围,可应用于具体生产环境中的位移遥测。 相似文献
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基于激光技术的亚纳米级位移测量系统的研究 总被引:4,自引:1,他引:3
研究和开发一种基于激光技术的新型亚纳米级位移测量系统。在马赫-曾德干涉仪的基础上进行改进,结合激光多普勒技术和激光偏振干涉技术,设计新型激光干涉测量光路,具有抗干扰能力更强、光路简单、易于安装调试等特点。将DSP技术引入激光干涉仪的信号处理系统,研究改进的8细分算法,完成对干涉条纹的细分、辨向和计数功能。经实验分析和研究证明,测量分辨力达到0.16 nm,运行速度可达0.14 mm/s,量程可达4μm,上述方法有效可行,可实现被测物体的亚纳米级位移测量。 相似文献
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一种用于表面形貌测量的复合测量位移传感器,它将接触式触针传感器和非接触式光学传感器巧妙融合在一起,使得一个表面形貌测量位移传感器同时具备接触和非接触两种测量手段。其特点是利用了一个触针-反射镜测杆机构,将激光聚焦光束直接在被测工件表面扫描转换为对测杆上固接的反射镜扫描。其垂直测量范围1mm,垂直测量分辨率5nm。该传感器工作稳定可靠,使用灵活,可广泛用于研究机构和工业现场等进行表面形貌测量。 相似文献
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本文介绍用动态相位计作为激光多普勒振动传感器的信号处理系统。所测振动频率范围为0~20KHz,测速度范围为0.01μm/s~300mm/s。该系统已用于测量计算机硬盘磁头起飞的动态过程。 相似文献
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