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在大学物理实验教学中,借助于基本实验仪器,不断更新教学内容,采取多种形式的教学方法,开拓知识面,重视对学生实际能力的培养,是十分重要的。为此,我们为部分学生开设了全息光栅综合设计实验,收到较好的教学效果。 相似文献
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闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 总被引:2,自引:1,他引:1
依据特征曲线法推导了非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程,结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序,并通过实验数据分析并优化了非晶体材料刻蚀速率与离子束入射角的关系方程,最后利用离子束刻蚀实验对所开发的离子束刻蚀模拟程序进行了实验验证.调节掩模与基底材料的刻蚀速率比为2∶1至1∶2,制作了线密度为1 200 1/mm,闪耀角为~8.6°,非闪耀角为34°~98°的4种闪耀光栅,与刻蚀模拟程序的结果进行对比,模拟误差<5%;控制离子束刻蚀时间为6~14 min,制作了线密度为1 200 1/mm,闪耀角为~8.6°,顶角平台横向尺寸为0~211 nm的6种光栅,与刻蚀模拟程序的模拟结果进行对比,模拟误差<1%.比较实验及离子束刻蚀模拟结果表明,离子束刻蚀模拟程序获得的模拟刻蚀轮廓曲线与实际刻蚀轮廓曲线的误差<5%;模拟刻蚀截止点与实际刻蚀截止点误差<1%.实验表明,提出的模拟方程可以准确地描述不同工艺过程和工艺参数对最终刻蚀结果的影响,进而可预知和控制离子束刻蚀过程. 相似文献
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孟涛 《仪表技术与传感器》1975,(1)
光栅是一种很重要的光学元件,它在光谱仪器、分析仪器、测量仪器中使用相当广泛。装有光栅的仪器和测量装置已成为科学研究和工业生产各部门(如钢铁冶金,石油化工、机械等)中不可缺少的重要设备之一。随着科学技术水平的不断发展和工业生产各部门的迫切需要,光栅生产的任务越来越重,而且对生产的光栅性能和质量提出了新的要求。 相似文献
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紫外全息闪耀光栅的制作 总被引:2,自引:2,他引:0
通过理论计算研究了影响闪耀光栅衍射效率的因素,并利用离子束刻蚀模拟程序模拟刻蚀闪耀光栅来确定闪耀光栅的制作参数。以理论计算的闪耀光栅参数为依据,以刻蚀模拟程序为指导,基于全息-离子束刻蚀工艺制作了闪耀波长分别为250nm和330nm,光栅尺寸分别为85mm×85mm,60mm×60mm,线密度均为1200lp/mm的闪耀光栅。第一种光栅闪耀角为8.54°,非闪耀角为72°,其250nm波长自准直入射时的-1级衍射光衍射效率约为81%;第二种光栅闪耀角为11.68°,非闪耀角为74°,330nm波长自准直入射时的-1级衍射光衍射效率约为80%。实验结果表明,提出的方法可以在制作闪耀光栅的过程中实现对闪耀角的精确控制,获得的实验结果与理论计算结果符合较好。利用该方法能够在大尺寸基底上获得衍射效率75%的紫外闪耀光栅。 相似文献
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研究了制备闪耀凹面光栅的离子束刻蚀工艺,提出了用“解析分区法”设计闪耀凹面光栅的衍射效率.该方法能通过确定离子束入射角,在实验前定量给出平行离子束刻蚀后光栅衍射效率的设计结果.经过理论设计计算出所需波长衍射效率较高的凹面闪耀光栅中心闪耀角,利用刻蚀模拟软件BLAZING计算出离子束刻蚀参数及光刻胶掩模参数;以计算结果为依据,利用全息-离子束刻蚀工艺制作出尺寸为45 mm×40 mm2,曲率半径为224 mm的凹面闪耀光栅,其中心闪耀角约为9.21°,峰值衍射效率为54.8%@300 nm,250 nm处衍射效率为50%,与“解析分区法”计算结果符合较好.实验结果表明,利用“解析分区法”进行凹面闪耀光栅衍射效率设计的方法简单易行,能够有效指导平行离子束刻蚀闪耀凹面光栅工艺,完成高衍射效率凹面闪耀光栅的制作. 相似文献
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本文根据Namioka全息凹面光栅设计的几何理论,叙述了Seya—型单色器全息凹面光栅设计以及Ⅳ型消象差环面全息光栅设计,并建立了设计程序。经光线追迹计算表明,所得到的全息光栅单色器设计,确实提供了较为理想的象质。 相似文献
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为了评价全息凹面光栅的成象质量,我们同时采用了两种方法:一是通过光线追迹,求出它的点列图,在理论上进行分析和评价;二是采用拍照该光栅的谱线,在实际上进行核对和最后评价.在设计全息凹面光栅时,得出不同的仪器结构参数(rA、rB、ρ、α、β)和记录参数(rO、rD、γ、δ),我们根据它们的点列图,在制造之前,就能判断出那些结果使用效果最佳,还能利用它修正记录参数,选定最佳值.然后在制造时实测谱线,并改正各种参数,使它达到优良的谱线质量.本文参照文献着重讨论点列图. 相似文献
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为了降低全息聚合物分散液晶光栅的驱动电压并提高其对比度,基于偏振原理设计了一种新型电调谐光栅。对传统的全息聚合物分散液晶(HPDLC)光栅进行了基板表面取向处理,加强液晶的均一排列程度,消除了液晶区域内的散射;然后,在光栅前面放置扭曲向列(TN)偏振调谐器,通过调节入射光的偏振方向,实现光栅内液晶折射率的变化,进而改变与聚合物折射率的差别,实现衍射强度的调谐。实验结果表明:光栅的阈值电压降低到了0.75~0.8V,对比度提高到了245:1,是传统HPDLC光栅的6~7倍,同时也大幅降低了散射损失且稳定性良好,可满足高端光学设备及显示产品方面的需求。 相似文献
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1.前言全息光栅通常是用双光束干涉系统制造在光敏的位相型材料上。干涉条纹是正弦强度公布的,但是槽形不一定是正弦形的,因为存在曝光和显影条件的变化。Sheridon指出,当干涉场的波节面与光敏层倾斜时,显影后获得锯齿轮廓的槽形。这样的平面全息光栅具有和刻划光栅那样好的闪耀效率。从原理上来讲,全息光栅是没有任何周期误差,并且制造时间比刻划光栅短得 相似文献
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本文探讨了一种用全息透射式衍射光栅作分束器的斜入射干涉方法和装置,该装置主要用于检测非光学表面。实验检测了毛玻璃表面、照相乳剂面和金属钢、铜、铝板表面。通过选择不同衍射效率的光栅或选择光栅不同衍射级次的衍射光进行干涉可改善干涉图的条纹对比度。该装置简单易调,且调好后具有很好的稳定性。 相似文献
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为了讨论交叉效应对无源矩阵驱动的光栅光调制器的影响,建立了无源矩阵驱动光栅光调制器的电学模型.介绍了光栅光调制器的工作原理和驱动电压.利用基尔霍夫的电流定理和电压定理,对该无源矩阵驱动阵列的电学模型进行化简分析,得到了交叉效应中半选点像素、非选点像素与全选点像素之间的电压关系.实验测得器件的驱动电压,并对加工的阵列器件进行交叉效应验证,得到这3种像素的±1级衍射光强与全选点像素驱动电压的关系.最后,提出两种抑制交叉效应的方法.实验结果显示:光栅光调制器的工作电压为8 V,吸合电压约8.5 V时;对于加工的16×16阵列,半选点像素电压约为全选点像素电压的1/2,且远大于非选点像素电压,结论与交叉效应理论分析一致.结果表明:交叉效应会降低阵列的光学对比度和光利用率,而器件较低的驱动电压有利于与有源矩阵电路实现单片集成,消除器件的交叉效应. 相似文献
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本文根据Namioka 全息凹面光栅的象差理论,叙述了装架于Seya-Namioka 成象系统的Ⅳ型消象差全息凹面光栅的设计,求得了这种光栅的装架参数和拍摄它的记录参数,并给出了实验结果。 相似文献