集成电路工厂的洁净室装置

一、超大规模集成电路与对洁净室的要求 1、有害的尘埃粒子直径与洁净度在半导体制造过程中,有害的尘埃粒子直径一般认为是精密加工尺寸的1/5～1/10。现将其与对象产品一同示于图1。在超大规模集成电路为256千位或1兆位产品的时代,为了谋求提高产品的成品率、质量和可靠性,由图可知有必要以0.1微米代替过去以0.5微米尘埃粒子直径为对象进行洁净度的     

洁净室高效空气过滤器现场检漏方法的实验研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之七

高效空气过滤器现场扫描检漏测试是保证洁净室工程质量的必要措施之一,但在实际工程测试时常遇到将高效空气过滤器边框及安装框架处含尘浓度偏高误判为存在漏点的问题,介绍了IEST给出的相关测试方法及部分洁净室施工人员采取的非扫描检漏测试方法,通过理论分析及大量实验研究,提出了科学合理的高效空气过滤器扫描检漏测试方法。     

高效滤料的研制及其捕集性能

1.前言随着近代技术的高度发展和生活方式的变化,需要洁净室的地方正在急剧增加。具有各种固定散尘源的工作空间,大型建筑物或地下街道,需要高洁净度的医院手术室,检验室或微生物实验设施,尤其在工业领域内除胶片厂、发酵厂之外,特别是最近在大规模集成电路(LSI)制造工艺中,要求高度的洁净空间。为形成这种洁净空间的大部     

关于GB13554—92标准中高效空气过滤器的分类

空气过滤器是过滤空气中悬浮粒子的设备。《高效空气过滤器 GB13554-92(简称高效过滤器)是指按国际规定的方法检验,其效率达到99.9％以上的过滤器。当对≥0.1μm的粒子计数效率达到99.99％以上时,亦称超高效过滤器。高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关     

超高效静电HEPA-过滤器

提高HEPA-过滤器效率,特别是对0.1微米粒子的效率,已成为重要问题。一,达到0.1微米的HEPA-过滤器为实现10级洁净室,对0.1微米粒子的过滤是基于以下方式: (a)应用双倍过滤介质的普通HEPA-过滤器。 (b)应用新的高性能过滤介质的过滤器。 (c)与静电现象相结合的新系统,称为“静电HEPA-过滤器。第一种(a),HEPA-过滤器有高压降的缺点,而且当聚积的灰尘量增加时,压力     

洁净室设计中的几点分析

简单地分析了高效空气过滤器流量-阻力特性,并用实例阐述了作者对高效空气过滤器选型中的一些经验.同时对洁净室系统送风量的计算提出了自己的经验算法.作者观点仅供参考.     

高效空气过滤器的密封

目前,空气洁净技术已经发展成为一门新型的科学。高效过滤器是空气洁净技术的核心设备。它的密封好坏,与洁净室的洁净度密切相关。由于高效过滤器前后压差很大,如果安装不严密,脏空气就很容易渗漏到洁净室内,使室内含尘浓度急剧增加,严重地破坏洁净室的洁净度。因此,全面分析高效空气过滤器空气渗漏原因,确保过滤器的制造质量及其安装施工的密封问题是非常必要的。     

两种高效空气过滤器送风口特性分析比较

为了研究高效空气过滤器送风口对非单向流洁净室气流组织的影响及其特性,本文用模型试验的方法,对两种高效空气过滤器送风口性能进行了研究.获得了工作区的悬浮粒子浓度数据,将实验数据进行了分析对比.结果表明:带扩散孔板的高效空气过滤器送风口性能比带新型扩散孔板的高效空气过滤器送风口性能好得多,并对此结果进行了分析.最后给出这两种高效空气过滤器送风口的适用条件,并提出其选型的建议.     

电子芯片厂房华夫板奇氏筒施工技术应用

华夫板是电子芯片厂房洁净室常用的结构形式,可为洁净厂房提供无尘的结构基础层,同时保证洁净室的排风与除尘通道通畅,还可以满足厂房防微振的要求。文章以格芯(成都)集成电路制造项目洁净室华夫板的施工为例,通过BIM技术的应用,对施工人员进行三维图像交底,并通过三维模型对华夫板支模架进行深化设计。通过对现浇模板的选型、模板支架搭设、钢筋绑扎、混凝土浇筑等问题进行分析,总结出了一套可供参考的施工工艺。     

钢筋混凝土建筑施工时使用高质量混凝土以及各种新施工方法

1.前言日本电信电话公司在神奈川县厚木市建设厚术电气通信研究所,计划1983年竣工开业。该研究所是超大规模集成电路研究所。设计条件要求如下: 1)设置超净化的大规模洁净室; 2)大量使用多种多样的化学药品;     

0.1微米超高性能10级洁净室

由中国建筑科学研究院空调所与天津医药净化设备厂共同研制的0.1微米超高性能10级洁净室达到了以下技术指标: 洁净度:直径为0.02微米以上的尘粒平均浓度为2.83粒/英尺~3;温度调节范围:20～25℃,精     

空气过滤器

空气过滤器属于过滤集尘装置的一种,它和表1所列举的袋式过滤器不同。从集尘机构来讲,袋式过滤器是通过充填率较高的布和粉尘层进行过滤,而空气过滤器由于采用充填率低于10％的纤维状过滤材料,因此在集尘装置中空气过滤器从理论分析方面发展极为迅速。随着原子能和洁净室的需要,空气过滤器的性能正在日益提高。表2是说明纸过滤器的滤纸特性,后三种是高效滤纸。     

如何评价和提高层流流型气流速度场的均匀性

在洁净工程设计中,由于考虑节能问题,在层流型洁净室的送风墙上,高效空气过滤器所占的面积,由大于80%下降到40%左右,因此,按常规的评价方法,在洁净室整个断面上,风速均匀率要达到小于±20%是很困难的。本文认为,在评价速度场风速均匀性时,不应简单地对整个洁净室断面上的风速进行评价,而应在与送风墙有效送风边界区相对应的断面上来进行评价。另外还认为断面速度场的均匀性不宜以断面平均风速与最大(最小)风速差的百分比来表示。本文还提出了几项提高断面速度场均匀性的具体技术措施。     

日本池森龟鹤先生西安讲学小记

日本大学名誉教授、工学博士池森龟鹤先生应西安冶金建筑学院和陕西省土木建筑学会暖通空调学术委员会邀请,于一九八五年六月十六日至二十二日来西安进行讲学访问。来自高等院校、科研、设计等方面的专业技术人员参加了听讲,讲座内容是《粗尘用空气过滤器》(粗尘用),《高效过滤器及洁净室》(高性能     

磁场形式及参数对单纤维捕集钢铁行业粉尘中PM_(2.5)性能影响

目前钢铁行业已成为大气污染防治的重点,为解决现有钢铁行业对于PM_(2.5)细颗粒难以捕集的难题,实现粉尘的超低排放.基于CFD-DPM(computational fluid dynamics-discrete phase model)方法对磁性纤维产生的磁场以及高梯度磁场等不同磁场形式下单纤维对钢铁行业捕集PM_(2.5)性能的影响进行研究,通过X射线衍射图谱分析可知钢铁行业生产过程产生的粉尘因含有Fe_3O_4以及单质Fe而具有磁特性,进而提出了利用磁场来增强单纤维捕集PM_(2.5)性能的方法.计算结果表明,在运动轨迹方面,磁性纤维产生的磁场会在纤维周围形成引力区,高梯度磁场会在纤维周围形成2个引力区和2个斥力区;在捕集性能方面,当粉尘粒径dp为0.5～1.0μm,入口风速v≤0.2 m·s~(-1)时,高梯度磁场下磁性纤维的捕集能力要强于单一磁性纤维的捕集能力,若磁场强度H=0.5 T,磁感应强度B=0.01 T,v=0.1 m·s~(-1),高梯度磁场可以使单纤维的捕集效率提高为传统单纤维捕集的28.32倍,若B=0.01 T,v=0.1 m·s~(-1),磁性纤维产生的磁场可以使捕集效率提高为传统单纤维捕集的4.037倍;在磁性纤维产生的磁场中,当磁感应强度B≥0.03 T时,磁性单纤维对PM_(2.5)的捕集效率随着入口风速的增加而减小,后趋于稳定,当B<0.03 T时,捕集效率随入口风速逐渐减小;捕集效率随粉尘粒径的增加而增大.而对于高梯度磁场,单纤维对PM_(2.5)捕集效率同样随着入口风速的增加而减小,当v>0.4 m·s~(-1)时,捕集效率为0,B越大,捕集效率下降越快;捕集效率随着粉尘粒径增大呈现先增加后减小的趋势.     

JM公司推出生物可溶性玻璃微纤维

美国佳斯迈威公司（简称JM）最近宣布推出其Micro-Strand品牌玻璃微纤维的一个新品种XP^TM。这是用以制造高效空气过滤器、超高效空气过滤器和ASHRAE（美国采暖、制冷和空调工程师学会）过滤器所用滤纸的一种新材料。它用一种获得专利的新玻璃配方制成。据称该配方通过了欧盟严格的生物可溶性标准，并且在制造和贮运过程中，只需使用标准的防护措施，就能防止纤维对人体的刺激。[第一段]     

CRAA430～433《空气过滤器》行业标准修订启动会召开

<正>2014年11月29日,由中国制冷空调工业协会洁净室技术委员会牵头组织的CRAA 430~433《空气过滤器》标准修订启动会在南京天加空调设备有限公司顺利召开。参加本次启动会的企业有80多家。中国制冷空调工业协会副秘书长于学顺,洁净室技术委员会主任、天加空调设备有限公司总经理蒋立出席了此次会议并致辞。CRAA 430~433—2008《空气过滤器》标准组织人、中国电子学会洁净技术分会副秘书长、全国洁净室与相关受控环境标准化技术委员会SAC/TC319副主任     

空气过滤器玻纤滤料纤维排布对初始过滤性能的影响

应用格子玻尔兹曼方法(LBM)研究了亚高效滤料(F6)中2种不同直径纤维排布方式对过滤效果的影响,寻找最易穿透粒径(MPPS),比较了这2种排布方式对应的压降与捕集效率,并用解析解对模拟结果进行了验证。结果表明,对于直径为0.10~0.90μm的颗粒物,模型1(小纤维在后、大纤维在前)的捕集效率比模型2(小纤维在前、大纤维在后)低,最大差值可达17%;当增大纤维的行间距时,捕集效率会增大50%以上;在扩散、惯性和拦截效应下,前方纤维的捕集数量明显高于后方纤维,前一半纤维捕集的颗粒物数量超过总捕集数的83%;F6滤料的MPPS值为0.20~0.40μm。     

无尘华夫板施工工艺

洁净室亦称为无尘室,洁净室的空调送排风系统,是空气经过滤器进入室内,由洁净室的高架地板或两侧隔墙回风,将人、机器等发生的尘埃迅速排出室外,使室内洁净度、温湿度及静电等控制在洁净室级别需求的范围内。     

空气中负离子浓度对过滤器捕集效率的影响

空气过滤净化器能够提高建筑空气品质,在越来越多的建筑安装了空气过滤器。因此,有必要对过滤器捕集效率的影响因素进行讨论。本文通过实验的方法,分析了空气中负离子浓度与过滤器捕集效率的关系。实验结果表明,空气中负离子浓度对过滤器存在增效的作用,这种增效作用在粒径小于0.5μm时很显著。本文实测条件下(风速0.6～1.5m/s),均存在10%左右的增效。