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2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统 总被引:1,自引:1,他引:0
阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ). 相似文献
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介绍了2 m比长仪系统的组成,对其采用光电显微镜动态瞄准刻线和激光干涉测长原理进行了分析,研究了提高刻线瞄准精度和激光干涉测长精度的方法及利用现代电子技术实现刻线信号和干涉信号自动同步快速处理方法。自动信号处理系统基于FPGA现场可编程电路技术和计算机技术。通过对金属线纹尺测量的实验表明,依据JJG 331—1994激光干涉比长仪检定规程进行实验,2 m比长仪单次最佳刻线瞄准精度优于10 nm(1σ),对其测量的不确定度分析表明,对于测量高质量的高等别线纹尺,其测量不确定度U=(20+40 L)nm(k=2)。 相似文献
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本文提出一种采用CCD器件作为光学传感器来实现对刻线的自动瞄准方法 ,在对刻线影像数据的处理中首次提出并实现了三种不同的算法。通过对这三种不同处理算法进行了详细有效对比研究试验 ,结果表明 :采用这种自动瞄准算法是成功和可行的 ,它对CCD用于刻线的自动瞄准具有普遍意义 ,将带来广泛的应用。 相似文献
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朱小平 《现代测量与实验室管理》2003,11(1):15-17
本文提出一种采用CCD器件作为光学传感器来实现对刻线的自动瞄准方法,在对刻线影像数据的处理中首次提出并实现了三种不同的算法。通过对这三种不同处理算法进行了详细有效对比研究试验,结果表明:采用这种自动瞄准算法是成功和可行的,它对CCD用于刻线的自动瞄准具有普遍意义,将带业广泛的应用。 相似文献
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以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法。而本介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重复瞄准技术。章对这种高精度的线纹瞄准装置结构,电路特点及瞄准准确度作了介绍。该装置在实际应用中,获得动态可逆瞄准准确度为0.07μm。 相似文献
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对二维线纹标准样板进行溯源测量时,需要对十字刻线进行高分辨力瞄准。利用二维动态光电显微镜,将二维样板十字刻线分别成像在相互垂直的两组狭缝上,狭缝宽度与刻线像的宽度基本一致,方向与刻线像平行,且在像空间上沿宽度方向错开约一个狭缝宽度的距离。当二维线纹样板沿某一方向运动时,对应方向被测刻线的像先后呈现在一组狭缝中,导致通过该组狭缝的光通量依次发生变化,对应的两个光电接收器的电信号存在相位差;信号处理系统根据两路电信号的相位关系,在信号交叉位置发出瞄准脉冲,锁定坐标测量系统,即得到该方向被测刻线的位置;分别对十字交叉刻线的两条刻线进行瞄准,即可得到对应交叉点的坐标。 相似文献
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撰写本文的目的在于提高测量者的测量素质。一、瞄准精度瞄准精度是指测量者通过肉眼视觉使测微计活动分划板的刻线与正方形压痕对准的程度。据分划板刻线形式的不同,对压痕瞄准的部位不同,图1为常见分划板刻线形式。按分划板刻线形式,瞄准方式有两种: 1.尖端瞄准式[如图1(a)、(b)、(c)、(d)所示]:刻线对压痕的尖端瞄准。 2.棱边瞄准式[见图1(e)、(f)、 相似文献
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瞄准定位的形式基本上可归纳为接触式和非接触式两类。这里讨论的是利用被测零件的刻线或几何图形来实现合线或合线套合瞄准定位的一种方法。一、瞄准原理这种方法,是通过棱镜组来实现的。主要原理是利用被瞄准的本身(如刻线)产生两个半影像,然后使两个半影像在分开的断面处彼此重合形成一个完整的影像,从而得到了合线或合线套合的瞄准定位形式。棱镜组的结构很简单(如图1所示),它由三块形状相同的 相似文献
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针对目前大多数采集系统无法实现多通道高分辨率采样及携带不方便等情况,提出了一种基于USB的多路数据采集系统的设计方法。系统利用ARM+FPGA+AD7656的系统组合实现16路通道同步信号采样,FPGA用于实现对A/D转换的逻辑控制,通过ARM7处理器对A/D转换数据进行处理,再由USB接口与计算机进行数据通信。测试结果表明,基于FPGA与ARM的多通道数据采集系统结构简单、控制方便、设计成本较低,能够准确快速地对16路信号同时进行采集。 相似文献
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介绍一种采用“滚动光栅”作为长度标准,通过显微镜瞄准刻线,直接对被检钢卷尺刻线间隔进行检定的装置和新方法,并简要地进行了误差分析。 相似文献
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介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法--单狭缝多点采集系统,详细描述了其设计方案和工作原理,并介绍了确定刻线定中心位置的计算方法、消除随机噪声的数字滤波法及对钟形曲线进行直线拟合的合适区段。实测数据表明,这种新型瞄准方法的测量不确定度有很大的提高。 相似文献
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提高光栅测量精度和分辨率的技术研究与实现 总被引:1,自引:0,他引:1
随着人工神经网络和数字处理技术的发展,从另一角度研究了一种不必增加光栅刻线,仅采用普通刻线的光栅(50刻线 mm),即可实现高精度、高分辨率的光栅测量技术,并用该技术设计了一个测量系统。系统以高速数字信号处理器(DSP)为核心硬件,用单输入单输出模糊小脑神经网络(SISOFCMAC)拟合出光栅信号,再利用FCMAC的泛化能力,实现对光栅信号的连续数字细分,提高光栅测量精度与分辨率。 相似文献