用于低温压力传感器校准的低温工作环境的研制

针对航天液体发动机试验用低温压力传感器的真实工况下校准等问题,设计了用于低温压力传感器校准的低温工作环境装置。该装置采用PID控制技术和低温、高压、真空耦合环境密封技术,可以提供温度可控、温区连续、超大温度范围的低温环境(-196～20℃)。实验结果表明,该环境装置能够达到设计要求,可同时对多个低温压力传感器校准。     

低温压力传感器自动检定/校准装置设计

设计研制了一套可在低温环境下检定/校准压力传感器的装置.该装置采用模块化设计方法,各模块可独立使用,从而提高了低温压力传感器自动检定/校准装置的使用效率.该装置的工作温度可以从室温到-196℃,期间温度可连续变化,压力范围为0～ 20MPa,检定/校准装置的扩展不确定度为0.1％(k=2).该检定/校准装置的建立,有效地保证了我国航天液体火箭发动机试车所用低温压力传感器液氧管路系统压力测量的准确性,也保证了发动机性能评估的可靠性及故障诊断的准确性.     

低温压力传感器校准系统研制与应用

介绍了一种用于低温压力传感器校准装置,该装置能在试验室对低温压力传感器进行校准,可满足压力传感器复杂低温环境的要求,准确、客观地反映低温压力传感器的性能指标,具有较高的测量精确度.利用该校正装置在20 K、77 K条件下成功对某压力传感器进行标定,证明此套校验装置的有效性和可靠性.     

试飞测试系统压力参数在线校准方法与装置

当前试飞测试系统压力参数的校准主要采取拆卸后在实验室校准的方式,存在校准时间长,多次拆装容易造成接口损坏的问题。为了解决这个问题,研究一种压力参数的在线校准方法,实现了真实工况下的原位比对校准。通过实验获得了标准压力传感器在温度复合情况下的量值特性规律,构建了温度补偿模型,实现了标准压力值的准确获取。研制了由三个不同量程标准压力传感器、环境温湿度和大气压传感器以及在线校准软件等组成的校准装置,通过初步实验验证了校准方法和装置的合理性。该方法可以作为实验室校准的有效补充,降低校准的人力和时间成本,提高飞行试验的效率。     

高温环境下压力传感器动态校准技术研究

针对目前我国压力传感器动态校准存在的问题,通过对激波管装置进行改进,加入温度控制环节,使其能够得到压力传感器的温度响应特性,同时能够模拟压力传感器实际工作状态下的校准环境,以实现高温环境下压力传感器的动态校准。     

波纹管正弦压力发生技术研究

针对压力传感器在低温环境下的动态校准需求,以波纹管为核心元件,设计了一种正弦压力发生器,其在常温和低温环境下都具有良好的密封性,生成的正弦压力范围能够覆盖正压与负压。通过改变正弦压力发生器的各项结构参数并进行实验,经分析验证,最终得到了计算正弦压力幅值的经验公式,确定了波纹管作为正弦压力发生器的可行性。     

气体传感器的自动标定校准系统研究与设计

气体传感器在不同温度不同浓度下的标定与校准,需要变换高低温交变实验箱温度、设置流量控制参数、建立气体浓度与传感器输出的映射关系,获得并整理数据,因此需开发标定校准系统。该系统结合高低温交变实验箱、流量控制器、气路电磁阀等硬件,完成设置高低温交变实验箱工作温度,配置流量控制器参数、开关气路电磁阀,从而实现自动控制温度、自动配气、自动获得传感器数据、自动整理数据,为传感器的标定和校准提供了有力保障。     

基于Labview2011的光纤压力传感器自动校准系统

介绍了一套基于Labview语言开发的光纤压力传感器自动校准系统。本系统集成了压力控制器、环境试验箱、光谱分析仪等设备,可以实现不同温度、不同压力下对光纤压力传感器输出数据的采集、分析;根据光谱分析仪的输出计算出波长和压力的关系;给出了同一温度点不同压力循环的下的波长值集合,通过这个集合得出压力传感器的温度性能指标,包括非线性、迟滞、重复性误差、准确度、系统误差、随机误差等。通过完善的全自动化设计,可以在无人工干预的情况下实现外接设备的控制、被检传感器数据的采集、数据的存储处理等整个流程。     

20—80K低温压力传感器校准系统的研制

针对低温压力传感器的精确测量,设计并搭建了一套20-80 K低温压力传感器校准系统,介绍了系统中恒温试验腔的原理、结构及连接方式,验证了恒温试验腔内温度场的均匀分布。恒温试验腔完全浸没在液氢中,通过温度控制系统调节腔内电加热丝功率,来实现对测试环境温度的控制。试验结果表明,该系统结构紧凑,安全可靠性高,性能稳定,测试温区内变温有良好的温度梯度,温控精度在±0.2 K以内,可通过压力标准源对安装在恒温试验腔内的低温压力传感器进行精确校准。     

湿度传感器响应时间校准规范的制订

湿度传感器响应时间在不同的环境温度、环境风速下,其测量结果会有很大的差别,特别是环境温度对湿度传感器响应时间的影响更大,在-20℃条件下与+50℃条件下其响应时间相差达四倍多。因此,有必要制订用于统一湿度传感器响应时间校准的技术标准,并对湿度传感器响应时间校准时的测量环境条件与校准方法做出规定。     

一种在片薄膜铂电阻温度传感器的校准方法

在片薄膜铂电阻温度传感器以铂作为感温薄膜,采用半导体工艺制造,可以有效地监测晶圆片上的半导体器件温度。为了校准该类型温度传感器,根据其工作原理和结构特点,参考JJG 229-2010对校准装置的要求,提出了一种利用高低温探针台、八位半数字多用表以及直流探针组建校准装置的方法;通过组建校准装置,测量温度传感器在不同温度下的电阻值,得到电阻-温度特性的分度表;并对在片薄膜铂电阻温度传感器在25℃和 125℃2个温度点进行校准。校准数据及校准结果验证表明,该方法切实可行,可有效解决无连接引线的在片铂薄膜电阻温度传感器的校准问题。该校准技术也可为其他类型感温元件的在片温度传感器校准提供参考依据。     

基于碳纤维复合材料的柔性复合式触觉传感器

分析了碳纤维复合材料的敏感特性,基于该种材料良好的压力/温度敏感特性,设计了一种具备压力和温度同时检测功能的新型柔性复合式触觉传感器。利用2种碳纤维复合材料各自具有的不同压力和温度敏感特性构建了求解压力和温度的数学模型,基于该模型设计并制作了柔性复合式触觉传感器。通过对传感器标定及实验结果的误差分析表明,该传感器设计解决了压力和温度同时检测时存在的交叉干扰问题,实现了传感器的复合式功能。     

Low Temperature Performance of Miniature Capacitive Pressure Sensor with Submicron Gap

No Heading Recent development of micromachining techniques enables us to make tiny sensors, which are tempting for use in low temperature studies. We tested a miniature capacitive pressure sensor which was designed specially for a commercial sphygmomanometer, and report the low temperature performance. This sensor can distinguish a change of 0.05 Pa in the pressure of helium vapor estimated from a long term stability at 4.0 K. This type of miniature pressure sensor should be useful as a research tool at cryogenic temperatures.PACS numbers: 07.07.Df, 07.20.Mc     

Microhotplate Temperature Sensor Calibration and BIST

In this paper we describe a novel long-term microhotplate temperature sensor calibration technique suitable for Built-In Self Test (BIST). The microhotplate thermal resistance (thermal efficiency) and the thermal voltage from an integrated platinum-rhodium thermocouple were calibrated against a freshly calibrated four-wire polysilicon microhotplate-heater temperature sensor (heater) that is not stable over long periods of time when exposed to higher temperatures. To stress the microhotplate, its temperature was raised to around 400 °C and held there for days. The heater was then recalibrated as a temperature sensor, and microhotplate temperature measurements were made based on the fresh calibration of the heater, the first calibration of the heater, the microhotplate thermal resistance, and the thermocouple voltage. This procedure was repeated 10 times over a period of 80 days. The results show that the heater calibration drifted substantially during the period of the test while the microhotplate thermal resistance and the thermocouple-voltage remained stable to within about plus or minus 1 °C over the same period. Therefore, the combination of a microhotplate heater-temperature sensor and either the microhotplate thermal resistance or an integrated thin film platinum-rhodium thermocouple can be used to provide a stable, calibrated, microhotplate-temperature sensor, and the combination of the three sensor is suitable for implementing BIST functionality. Alternatively, if a stable microhotplate-heater temperature sensor is available, such as a properly annealed platinum heater-temperature sensor, then the thermal resistance of the microhotplate and the electrical resistance of the platinum heater will be sufficient to implement BIST. It is also shown that aluminum- and polysilicon-based temperature sensors, which are not stable enough for measuring high microhotplate temperatures (>220 °C) without impractically frequent recalibration, can be used to measure the silicon substrate temperature if never exposed to temperatures above about 220 °C.     

微机电系统热式流量传感器计量原理的数值研究

采用计算流体力学仿真手段,根据MEMS热式流量传感器的计量原理进行机理建模,对不同流速下微机电系统传感器表面的温度场分布进行数值模拟与分析,考察了传感器温差输出信号与标准流速之间的关系,所得结论与理论相符。同时,通过与实验数据比较,验证了仿真模型的正确性。此外,通过分析热式流量传感器在不同温度和压力下的热场特性,发现其存在一定的温度和压力效应。当工作温度、压力波动较大或严重偏离标定状态时将带来较大的测量误差。     

一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法

针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法。该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补偿。通过对传感器进行实验标定和误差分析,并与常用的单一温升样本采集并进行数字补偿的方法进行对比,结果表明该方法能有效降低传感器因热迟滞效应引入的误差,提高传感器在全温区内标定点和非标定点的测试精度。同时,该方法校准参数少,计算量相对较小,对于硬件要求较低,达到在性能和成本之间的良好平衡,是一种实用性较强的在线补偿方法,具有较强的工程应用价值。     

Sound-Speed Sensor for Gas Pipeline Applications

A sensor, based on a small cylindrical acoustic resonator that may be suitable for measuring the speed of sound in natural and other process gases under pipeline conditions is described. The resonator is physically robust and requires minimal calibration. The speed of sound is obtained from the resonance frequency of a single longitudinal mode of oscillation that is isolated in the frequency spectrum of the cavity and can therefore be located and measured automatically. The design and acoustic model of the sensor are discussed. The performance of a prototype device was validated by means of measurements on three pure gases: argon, nitrogen and methane. The results of these measurements agree with the predictions of the most accurate equations of state with an absolute average deviation of about 0.02% and a maximum absolute deviation of 0.06% at temperatures between 293.15 K and 333.15 K and at pressures between 0.1 MPa and 10 MPa. Additional design features have been tested that may facilitate the deployment of the sensor in a pipeline system by: (a) preventing problems with condensate when operating near or below the dew temperature and (b) ensuring that the sensor is filled with a representative sample of the pipeline gas. Finally, we discuss how the design methodology may be applied to optimize the sensor dimensions for different operating conditions, such as high or low gas pressure.