仪器化压入测量的计量研究概况

仪器化压入测量中的计量研究是保证测试结果准确性和可靠性的基础。介绍了仪器化压入测量的计量研究概况,讨论了现有国际和国家标准中的关键校准参数和校准方法。在回顾仪器化压入测量发展历程的基础上进一步讨论了该技术的最新发展趋势,依托升温/降温测量、便携式测量和大通量测量等亟需要开展的相应计量研究工作来支持这些新测量方法的研究和应用。     

微压力校准装置测量不确定度分析

介绍了微压力校准装置的工作原理,并对该校准装置在表压模式下工作时的测量不确定度进行了分析评定.     

微纳坐标测量机间接校准方法的探究

针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2μm,探测误差仅为0.125μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。     

仪器柔度对压入法测试结果的误差影响与校准

分析了仪器柔度及其标定精度对压人法测试微机电系统（MEMS）材料弹性模量和硬度结果的误差影响规律，并得出了系统误差公式。通过溯源分析，认为柔度标定误差是压人法测试的3个基本源误差之一。利用间接法对微压人测试仪柔度进行了标定和校准，校准后得到的单晶硅（100）弹性模量和硬度测试值分别为151．5GPa和12．8GPa，与文献值符合较好，而未校准直接得到的测试值明显偏低。理论分析和实验结果均表明：仪器柔度的准确标定和位移校准是获得压人法可靠测试结果的必须步骤。     

投影式测长机分米刻度尺示值误差的校准与修理

介绍了投影式测长机示值误差的曲种校准方法,重点介绍了激光干涉仪校准法,以及校准过程中激光干涉仪的安装设置、光束调整的操作办法;针对校准过程中分米刻度尺乐值误差超差的问题,介绍了具体的修复方法。通过对仪器的校准与修复,有效的提高了仪器的测量准确度。     

直流稳压电源校准技术研究

直流稳压电源为测试设备和测试仪器提供工作直流电压和电流。通过研究直流稳压电源校准技术实现直流稳压电源的直流电压示值误差、直流电流示值误差、电源电压调整率、负载调整率及纹波电压等参数的校准;通过对各参数测量结果不确定度分析和评定,实现直流稳压电源参数量值溯源,保障其量值准确可靠。     

带引压管腔的压力测量系统动态校准技术研究

在动态压力测量领域中,带引压管腔的压力测量系统常被用于空间狭小、工况恶劣等情况下的压力测量,压力信号经过引压管腔传递往往发生畸变,引压管腔是降低压力测量系统频响的首要因素。本文首先介绍了带引压管腔的压力测量系统物理结构模型,阐述管腔动态特性影响动态测量机理。其次,介绍了现有引压管腔主要校准方法和装置,开展新型校准装置和方法研究,研制了一种静态压力及温度可调的校准装置。最后,利用该校准装置对带引压管腔的压力测量系统进行实验,对带引压管腔的压力测量系统的动态计量与补偿技术发展具有借鉴作用。     

高静压差压校准方法分析比较

高静压差压测量的准确度、可靠性对于提高压力测量装置研制质量有很大影响。本文介绍了差压传感器基本原理及其校准过程中存在的主要问题,分析比较了几种高静压差压校准方法,重点介绍了双活塞方式差压校准及分压方式高静压差压校准方法,并结合试验数据对高静压差压传感器静压影响进行了分析。     

用DJM9型补偿式微压仪来标定Y—61型倾斜式微压仪的简易方法

一、前言我国制造的 DJM9型补偿式微压仪是专供测量气体的表压、负压、差压之用的测微压仪器。它的测压范围为0～150mm 水柱,最小分度值为0.01mm 水柱,它的测压精度是由仪器中丝杆的加工精度来保证。据有些资料上介绍,使用这种测微压仪器的最大误差为0.02～0.05mm 水柱。目前,上海气象仪器厂生产的 DJM9型补偿式微压仪经国家鉴定,误差为±0.12mm 水柱。我们曾用高精     

射线图像分辨力测试计的校准方法

近年来,射线图像分辨力测试计在工业无损检测和医学诊断仪器校准中的应用日趋广泛。射线图像分辨力测试计作为测量图像分辨力的专用标准器具,目前国内尚无可依据的计量检定规程/校准规范对其计量性能进行控制。文章详细介绍了射线图像分辨力测试计的校准环境、校准设备、技术指标要求、校准项目和校准方法等,并通过校准实例分析和测量不确定度评定对校准方法进行了验证。提出的校准方法为射线图像分辨力测试计的校准工作提供了参考。     

微压力标准装置研制

详细介绍了一种液体压力计微压标准装置的研制,采用超声波液位定位技术实现液位准确定位,并采用激光干涉技术实现了液柱高度准确测量,同时对温度控制、位移控制、数据采集处理等分系统设计进行介绍,最后对微压标准装置进行了测量不确定度分析和验证,该标准装置填补国防系统5 kPa以下微压量值传递空白,解决国防系统高准确度微压仪器仪表的溯源问题。     

风洞分布测压试验校准技术发展现状

调研了目前国内外表面压力分布测试试验校准技术,分别总结了风洞试验中稳态压力分布和脉动压力分布的测试及校准现状。选取分布测压技术中具有代表性的压力扫描阀及压敏漆(PSP)测试校准技术展开论述,介绍了包括校准原理、试验流程及校准溯源链等校准试验的关键要素。通过对比国内外风洞测压试验校准技术现状,分析了我国测压校准体系存在的问题及相关解决方法,提出了我国风洞压力分布测试校准技术的发展方向。     

脉冲式动态压力溯源方法研究

动态压力测试在工业领域应用越来越广泛,而可靠的校准技术则是动态压力量值准确的保障,溯源问题一直是制约动态压力校准技术发展的瓶颈。本文以基于激光干涉的可溯源动态压力测量方法为研究对象,针对液体脉冲压力的特点,建立基于牛顿第二定律的脉冲压力测量模型,对各影响因素引入的误差进行分析和测试,通过压力传感器校准试验完成激光干涉测量可行性验证和测量不确定度分析,实现脉冲压力的可靠溯源。     

压力计量技术的近期进展

近十年来压力计量技术有了明显的进展。本文介绍了我国微压、中压和高压方面国家基准的改进和我国动态压力校准技术的进展情况。对于活塞式压力计的性能改进以及新型的强制平衡式活塞式压力计和数字式活塞式压力计的研制成功作了不少描述。还介绍了数字式压力控制器的迅速发展及其对压力计量工作的影响。     

高转速标准装置研究与建立

研究建立了高转速标准装置,在转速范围30000～100000r/min内,实现了基于直流无刷空心杯微电机和FPGA转速控制的高精度转速的发生,分辨力1r/min,装置校准不确定度1×10-5,k=3。介绍了装置的结构组成和解决的关键技术问题,描述了双闭环控制的策略,给出了校准的实验数据。高转速标准装置是光电转速测量仪和高精度转速表在30000r/min以上量程有效溯源的重要计量标准装置。     

微流量测量方法及其技术的发展

归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势,即集成两种或两种以上的测量方法,实现优势互补,提高测量精度或扩大量程比。最后基于现有的技术基础,提出了融合科氏效应与差压效应的微流量测量方法,阐述了传感器的工作原理与理论基础,并对其可行性进行了分析与论证。     

微纳米级键合强度分析(英文)

本文主要研究了微米/纳米尺度的键合技术和键合强度,给出并发展了基于MEMS技术的微米/纳米键合分析模型.为提取微米/纳米键合面积的最大剪应力和压应力,设计、制备和测试了一系列单晶硅悬臂梁结构.并使用理论公式和ANSYS有限元模拟对实验结果进行了分析.键合强度可以分为扭转和剪压表征两部分.根据测试值可得,最大抗扭强度为1.9×109μN.μm,最大压应力为68.3 MPa.     

表面微/纳米计量中的光学测量方法综述

微纳检测技术旨在以微/纳米级的精度测量加工表面特征,在加工过程的控制、建立表面特征与功能间的联系等方面具有重要作用。光学测量方法具有高精度、快速和无损的特点,是微纳检测技术研发的重要内容。本文介绍了表面形貌和薄膜的光学测量方法,并对各方法的特点及应用场合进行了对比总结。微纳制造技术加工的表面具有结构日益小型化、特征日益复杂化的特点,因此开发多模式测量系统是微纳检测技术的发展趋势。     

传感器动态校准技术研究的探讨

动态校准技术的难点在于非电量传感器的动态校准,“静标动用”的方法在一定条件下是合理的;温度传感器的动态校准面临着比压力传感器更多有待研究的问题。对动态校准技术的研究,扩展和提升了对计量概念的理解和认知。对于被校系统的特性分析已超越基于溯源的测量,将成为计量学首要的研究内容。动态校准技术的研究与发展应当给予更加充分的关注和投入。