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如何对半导体工厂运行中的晶圆传输设备进行监测也成为半导体厂商面临的主要问题之一。针对现有晶圆传输的振动监测问题,结合MEMS传感器和无线传输特点,提出了基于无线MEMS加速度传感器的晶圆传输过程的振动监测系统。系统以MEMS电容式加速度传感器为测试载体采集振动数据,通过蓝牙无线传感器网络将采集到的数据传输到主服务器,在监控PC上实时显示和处理,从而获得晶圆传输过程的振动信息。最后通过仿真验证可得,采用MEMS传感器可以满足轻负载的晶圆传输过程的测试需求,而且采用蓝牙无线传输方式也可以避免监测系统中的布线复杂,成本高等不足。系统实现了半导体工厂中的晶圆传输全过程的在线实时监测,可以及早发现生产线中设备的故障。 相似文献
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通过研究MEMS技术、传感器技术、无线通讯技术、电池安全性能技术及电子产品防爆性能设计等相关国际、国家标准,结合产品实际认证测试经验,对无线微功率MEMS传感器安全性能要求进行了全面的阐述.微功率无线传感器安全要求主要包括射频安全性能、电磁兼容安全性能、安规、防护性能、发热性能、机械性能、电源安全性能及产品安全标记.本文可作为工程技术人员进行无线微功率电子产品设计或认证测试时的参考. 相似文献
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设计了一种基于ZigBee技术的实时贮运状态监测系统。系统通过MEMS传感器实现特种装备贮运状态的采集,采用CC2530模块实现数据的无线传输,以ARM微处理器STM32F407为核心实现数据的实时存储、分析与显示,并应用数字滤波算法对数据进行滤波处理,提高了检测数据的精确度。系统测试结果表明该系统对于节点信息的采集和无线传输具有较高的可靠性和稳定性,具有推广应用价值。 相似文献
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为实现仓储导弹装备的故障预测和健康管理(PHM)系统,研究基于MEMS传感器的导弹状态监测节点。以整合射频模块的微功耗单片机CC430F5133为核心,由微传感器模块采集状态信息,并经无线射频传输与上级ARM控制器实现实时通信,解决了节点长期稳定供电、复合传感器立体结构设计和安装等关键技术。该节点具有体积小,布置灵活,对监测对象无影响,功耗低,连续监测时间长等特点,能实现长期无人值守下的信息采集与实时上传,较好地完成了状态信息采集终端的功能。 相似文献
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针对高精度低成本可穿戴式人体动作捕捉,采用MEMS微惯性传感单元(IMU)设计实现无线体域网系统.系统由六轴微惯性单元MPU-6050、三轴地磁仪AK8975、微处理器及射频模块CC2530构成.首先,详细讨论系统硬件构架和基于Z-Stack的软件构架,然后通过上位机Matlab用户程序进行数据采集与实验验证.实验结果表明,与其他微惯性传感器系统相比,本设计采用高集成度的芯片和无线通信方式,在减小硬件体积的同时能够获得较高精度的数据(角度传感器零漂<1.5°),对实现可穿戴无线惯性测量有着积极的作用. 相似文献
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基于无线传感器网络的水质监测系统设计 总被引:8,自引:2,他引:6
在研究无线传感器网络及Zigbee协议标准的基础上,对远程实时水质监测系统进行了分析.提出了基于Zigbee无线传感器网络与互联网结合的远程实时水质监测系统架构.设计了基于无线传感器的水质监测网络体系结构,实现了水质监测参数的荻取及传输. 相似文献
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随着通信技术、传感器技术的发展,新型的桥梁健康监测技术不断涌现。基于无线传感器网络的桥梁结构健康监测是将无线传感器网络技术与结构健康监测相结合,应用频率法通过加速度传感器测得一段时间内的桥梁拉索张力,经过无线传感器网络将数据传输到监测平台,从而达到对桥梁健康状况的监测。 相似文献
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针对电机运行状态监测系统的特点,结合无线传感器网络,采用实施简便、性能可靠的定向洪泛路由策略,设计了新型的电机运行状态无线网络监测体系。应用Atmega128和CC2420设计了无线传感器网络的硬件系统,并使用该网络对异步电机定子的温度进行监测,实验结果表明该系统能对温度信号进行实时有效的采集。 相似文献
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由于传统基于电池供电的无线传感网络的能量受限,制约该技术在水利监测方面的大范围应用,而能量获取型无线传感网络技术是实现长期、大范围、持续性信息化监测的关键技术。分析当前水利监测网络架构及发展趋势,阐述水利监测应用面临的新问题,分析能量获取型传感网络技术研究进展,对能量获取型传感网络技术在水利监测中的应用前景进行探讨,得出能量获取型传感网络在监测周期和效用方面较传统传感网络的技术优势,并给出具体的应用需求场景及未来进一步需要研究的技术内容,为其应用部署提供理论参考。 相似文献
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无线传感网络作为一种新型的网络技术是当今国内外深受关注的热点研究领域。它是一种新型的网络技术,能够实时地采集分布在网络中的数据信息,并将这些信息传输到网关节点,最终完成复杂的网络监测和跟踪目标的工作。为了解决无线传感网络所面临的挑战,对无线传感网络目标覆盖问题,考虑到随机事件参数未知的指数分布,对随机事件的监测质量进行统计分析,在无线传感网络的背景下对其覆盖问题进行优化。首先,对无线传感网络的背景及现状进行介绍,引出本文的研究目的是对无线传感网络的监测质量进行分析。其次,对无线传感网络的覆盖进行优化调度建立相应网络的模型,设计优化的模拟退火算法,结合统计知识分析,利用参数估计研究其监测质量。最后,通过仿真实验验证本文方法的合理性以及有效性,最终达到延长网络寿命的目的。 相似文献