一种新型的二维向量进给工作台系统

提出一种适用于超精密切削的新型二维微进给工作台系统，工作台的Ｘ，Ｙ方向分别采用三个弹性变形盘的非对称新型结构形式，使刀具安装面位于工作台面的一个角落上。并对这种新型结构形式进行了理论和实验分析，分析表明这种结构形式的微进给工作台不仅在Ｘ，Ｙ，Ｚ三个方向具有较高的刚度，而且其它动静特性满足超精加工的要求。     

金刚石刀上与精密超精密加工技术

论述了精密超精密加工技术发展的重要意义,以及其发展现状;分别介绍了几种金刚石刀具,并讨论了它们在精密超精密加工领域的作用。     

超精密切削加工技术的现状与发展

本文对超精密切削加工技术研究的现状进行了系统的概述和分析，提出了该研究领域中尚存在的问题及发展前景。     

金刚石刀具与精密超精密加工技术

论述了精密超精密加工技术发展的重要意义 ,以及其发展现状 ;分别介绍了几种金刚石刀具 ,并讨论了它们在精密超精密加工领域的作用。     

研磨机床几何误差对金刚石刀面粗糙度的影响

为探究研磨机床几何误差对金刚石刀具后刀面粗糙度的影响规律,建立研磨机床精度与刀具后刀面表面轮廓的数学模型. 借助多体系统理论对研磨机床的误差传递进行建模;基于样条滤波算法建立机床误差与刀具后刀面粗糙度之间的定量关系;分析主轴、摆轴的端面和径向跳动误差以及往复轴的直线度误差对刀具后刀面粗糙度的影响规律. 结果表明:主轴、摆轴和往复轴几何运动误差对刀具后刀面粗糙度的影响占比分别为98.18%、1.59%和0.23%;主轴的端面和径向跳动误差是影响后刀面粗糙度的主要因素,研究结果为研磨机床的设计制造与金刚石刀具研磨工艺的优化提供理论指导.     

精密,超精密加工时PCD刀具后刀面错位熨压的理论模型及实验研究

对精密、超精密加工时ＰＣＤ刀具后刀面的熨压作用进行了分析，建立了后刀面错位熨压的理论模型，并通过实验研究了后刀面的错位熨压作用，对提高加工表面质量有指导意义。     

超精密加工技术

本文介绍了我院在超精密加工技术研究方面的一些工作,主要有超精密车削、超精密铣削、超精密固着磨料研磨及磁性磨料研磨。     

超精密驱动机构比较

介绍了滚珠丝杠、静压丝杠、直线电机、摩擦驱动等超精密驱动机构，比较分析了各机构的优缺点及其在超精密加工领域中的应用前景。     

超精密机床研究现状与展望

对国内外超精密机床研究现状和进展进行综述,对超精密机床技术发展趋势进行展望,分析我国在超精密机床研究领域存在的主要问题以及与国外的差距,提出我国超精密机床领域基础研究、技术及产业发展策略与对策。     

超精密加工技术的发展

主要论述了精密加工中的加工方法、基础技术的发展,并指出了该领域存在的一些问题.     

飞切多棱镜分度装置及其误差分析

本文提出了一种新的分度方法,设计了适于超精密加工多棱镜的分度装置,并进行了误差分析。所设计的分度装置结构简单,与准直仪配合可进行精密分度。用该装置进行超精密加工多棱镜试验,多棱镜相邻面角度误差小于5.7″。     

精密、超精密加工时 PCD 刀具后刀面错位熨压的理论模型及实验研究

对精密、超精密加工时ＰＣＤ刀具后刀面的熨压作用进行了分析,建立了后刀面错位熨压的理论模型,并通过实验研究了后刀面的错位熨压作用,对提高加工表面质量有指导意义。     

高精度微量进给机构设计原则的探讨

本文对机床进给系统的定位精度问题进行了理论分析,导出了表征进给系统定位精度的理论公式,提出了高精度微量进给机构的若干设计原则。这些基本原则在本文作者所参加研制的超精密微量进给机构中得到了实际应用和实践验证。     

超精密加工技术

本文介绍了我院在超精密加工技术研究方面的一些工作, 主要有超精密车削、超精密铣削、超精密固着磨料研磨及磁性磨料研磨。     

超精密加工表面特性的功率谱密度表征与分析

为了了解加工方法和参数对加工表面特性PSD表征结果的影响规律,采用功率谱密度方法(PSD)对超精密磨削加工表面进行了表征与分析.应用Dimension 3100原子力显微镜对超精密加工表面进行测量,得到三维微观形貌和数据,以空间波长为横坐标,功率谱密度为纵坐标输出PSD图像,简单直观地分析了加工表面空间波长分布及不同波长在表面所占的比重,对比分析了加工方法和参数对PSD表征结果特征的影响.实验结果表明,超精密加工表面PSD图像的主导频率、波长分布特点以及各波长的PSD值大小等参数不仅可以同时体现横向尺寸及高度尺寸特性,而且能够得到表面误差的空间频率分布和方向特性信息.     

扫描探针显微镜在超精密加工中的应用

对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述。介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用。指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化。只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展。