激光退火在背照式CCD图像传感器中的应用研究

激光退火是消除背照式电荷耦合器件(CCD)图像传感器背面势阱的重要工艺。文章研究了激光退火工艺中不同的激光波长、能量密度、光斑交叠率对掺杂杂质激活效率、器件表面形貌、成像质量及紫外量子效率的影响。研究结果表明，在浅结注入的情况下，355 nm波长激光激活效率要优于532 nm激光，但是355 nm激光比532 nm激光更易在较低能量密度时使硅片出现龟裂现象。采用2 J/cm²能量密度、50%～65%交叠率，355 nm激光能有效激活离子注入的硼离子，背照式CCD图像传感器成像均匀性好，紫外量子效率明显提升。     

一种64 GBaud双通道差分线性跨阻放大器

【目的】针对400 Gbit/s双偏振(DP)-16正交幅度调制(QAM)相干光接收机应用的核心线性跨阻放大器(TIA)实现问题。【方法】文章基于先进锗硅异质结双极型互补氧化物半导体(SiGe BiCMOS HBT)工艺实现了一种64 GBaud双通道差分线性TIA。芯片核心由两路完全相同的信号放大通道组成，以输入放大相干接收的I和Q分量。信号放大通道电路采用全差分电压并联负反馈结构作为核心TIA,采用两级差分可变增益放大器(VGA)级联结构实现进一步信号放大，单端输出阻抗50Ω的电流模逻辑(CML)缓冲器作为输出级。在输入两端，分别引入了独立的直流恢复(DCR)环路以消除输入信号直流分量及差分输出直流失调，并引入了全差分直流失调消除(DCOC)以消除工艺失配产生的输出直流失调，提高电路线性度。为了提高输入动态线性范围，引入了自动增益控制(AGC)电路以自动根据输入信号强度调节TIA跨阻及VGA增益，避免信号饱和失真；为了优化输出阻抗匹配，减小静电放电(ESD)二极管寄生电容影响，输出级采用了三端口桥式-T网络(T-Coil)电感峰化负载结构，以改善输出回损，提高带宽。芯片采用先进Si...     

43cm液晶显示器新款——BM-568等10则

43cm液晶显示器新款——BM-568 　　EMC最近推出BM-568 43cm(15in)液晶显示器。 这款液晶显示器与同档次产品相比, 不仅显示品质更加优异, 而且增加辅助设置, 使用户使用时得到了更多的方便。 　　目前, 43cm(15in)液晶显示器的主要技术参数标准为： 像素点距0.279mm×0.279mm; 分辨率1024×768; 亮度140cd/m2; 对比度250∶1; 视角范围120°; 响应时间40ms。 BM-568液晶显示器的像素点距和分辨率与目前的标准一致, 这是由集成工艺的特点决定的, 即使是品牌不同的显示器, 像素点距一般也是相同的; 而它的亮度为200cd/m2, 比标准参数高出60cd/m2, 对比度则为350∶1, 即便在光线较强或露天的环境下, 图像也会非常清晰, 能得到良好的显示效果。 另外, 它的视角范围也与标准参数一致, 足以满足用户的应用要求。 最值得一提的是它的响应时间为20ms, 可称为当今世界同类产品中的一流, 其画面更为流畅自然, 确保最佳显示效果。 　　这款产品在提高技术含量的同时, 还注重增加了一些辅助设施, 使用户操作起来更加便捷。 它在控制键上设了一个智慧型Auto Set-up自动调节及最佳设定功能, 用户在使用时只要对其中一项进行调节, 其他的参数均将自动调节到与之相匹配的数值上, 并且是最佳的参数搭配。 这不仅确保了最佳显示效果, 而且给用户带来了很大的便利。 此外, 它的功能调节采用的也是目前国际上流行的微处理器OSD调节, 并提供了多种国际通用语言可供选择, 用户基本不受语言限制, 真正成为了一种国际化产品。 　　该液晶显示器的外壳颜色为乳白和银灰两种, 其外形则富有现代感。 整体尺寸为475 mm（L）×290mm（W）×560mm（H）（其中包括可倾斜、 可旋转的底座尺寸）, 占用空间仅是58cm(19in)CRT显示器的1/2～1/3, 而净重仅为5.3kg。 手机彩色液晶显示器 　　三菱电机最近开发出用于手机的5.46cm（2.15in）反射式p-Si TFT液晶显示器。 该产品采用低温多晶硅技术, 同时在各像素部分嵌入了保存色彩信息的DRAM, 在液晶显示器周边嵌入驱动电路。 该显示器的像素为132×162, 像素间距为0.261mm, 对比度为30∶1, 反射率为50％, 响应时间为30ms。 对于静态图像, 可在DRAM中记录红、 绿、 蓝各4bit的图像数据, 能够显示4 096种色彩的图像, 其显示静态图像时耗电量为4mW。 液晶电视电脑一体机 　　日前, 索尼公司发布“Airboat”液晶显示电视电脑一体机。 该机的特点是液晶显示器可以与连接电源、 天线、 电话线的主机互相分离, 即用户可以拿着显示器任意走动。 显示器重1.5kg, 可以在约100m的距离内与主机通讯。 因此, 使用者可以离开主机遥控地看电视和上网, 而且显示器可以用触摸笔控制, 用户可用它收发电子邮件和浏览主页。 低电压驱动全息聚合物分散液晶(HPDLC) 　　日本夏普公司和功能器件开发中心新近联合开发出低电压驱动全息聚合物分散液晶(HPDLC)的新技术。 为降低HPDLC元件的驱动电压, 着重在构成HPDLC元件的液晶层和高分子界面上下功夫, 通过在HPDLC中添加氟系羟基化合物(PEBE)降低液晶和高分子的相互作用, 实现了低电压驱动。 　　首先在液晶中添加氟系羟基化合物, 并注入厚5μm的液晶盒中。 然后从盒的两侧用激光照射(干涉曝光), 为固定干涉结构, 进行紫外光照射, 制成HPDLC元件。 实验确定, 随着氟系羟基化合物添加量的增大, 驱动电压逐渐降低。 不加添加剂时, 驱动电压为60V, 当添加剂的ω(PEBE)=13.8%时, 驱动电压降低到30V, 从而实现了低电压驱动。 雨竹　编译 利用垂直取向膜的光控取向技术 　　日本Stanley电气技术研究所和东京农工大学联合开发出利用垂直取向膜的光控取向技术。 实现了89～75°的预倾角。 　　首先将垂直取向膜旋涂在带ITO的玻璃基板上, 烧成后, 在室温下用偏振紫外光照射。 然后将制好的两张基板按反平行取向粘合, 在室温下注入液晶。 　　实验发现, 经过光控取向处理的垂直取向膜的取向特性与液晶材料介电常数的各向异性的大小及其符号有关。 而取向膜的成膜条件是决定光控取向处理垂直取向膜取向特性的重要因素之一。 此外, 还发现, 要想获得低预倾角, 在未进行取向处理状态下, 将垂直取向膜的制备条件设定在弱垂直取向力的状态最为有效。 雨竹　编译 有机EL显示器的发展动向 　　日本野村综合研究所的研究人员浜本贤一新近发表文章预测, 有机EL显示器将可能取代平板显示(FPD)中的主流产品液晶显示器, 作为下一代FPD主体迅速崛起。 目前有机EL显示器的企业化进程正在加速, 东北先锋和TDK两家公司已将有机EL显示器作为产品投放市场, 预计下一个入围公司将是三洋电气公司。 此外, NEC、 日立制作所、 索尼等有实力的显示器生产厂商也积极投入研发活动之中, 实现产业化的可能性已进入计时状态。 　　一旦目前研发中的有机EL显示技术成熟, 那么在显示像质和成本方面将远远优于液晶显示技术, 最终发展成新一代FPD。 因有机EL显示器与液晶显示器相比具有下述五方面的优越之处： 1)易实现动态图像显示; 2)高亮度、 高对比度; 3)不存在对视角的依赖性; 4)薄型、 轻便; 5)成本低。 　　不过要使有机EL显示器真正步入实用化阶段还存在很多尚未确定的因素, 譬如实现全色显示中的RGB三基色亚像素的形成成为技术难点。 此外, 在能产生RGB三基色发光的有机EL材料中, 尤其是延长红光发光材料的发光寿命是非常重要的。 目前正在开发中的红色发光有机EL材料, 发光寿命最长的只有500h。 因此, 必须开发至少具有几千小时, 甚至具有超过两万小时发光寿命的发光材料。 　　未来有机EL显示器的应用领域将非常广阔。 最有前途的应用是车载显示和便携终端。 目前已经形成产品的有装有东北先锋公司和TDK公司生产的显示器件的车载立体显示器和东北先锋公司准备向美国摩托罗拉公司发运的便携电话显示器。 这两种显示器不仅实现了全色显示, 而且是可产生红、 绿、 蓝、 白多色发光的彩色显示。 在显示方式上均采用无源矩阵方式。 尽管这些产品的产量有限, 暂时还不具备与液晶显示器展开全面竞争的条件, 但在亮度、 对比度、 薄型、 视角等方面已令人刮目相看。 对小于7.6cm的应用, 因显示信息量有限, 可使无源矩阵的显示器实现产品化。 因采用无源矩阵方式的要比采用有源矩阵方式的制作方法简单, 在便携终端等方面的应用将会迅速普及。 　　对超过25.4cm的应用, 关键取决于如能在超过25.4cm的基底上形成低温p-Si TFT, 则可在该领域取代目前的液晶显示器市场, 应用于平面薄型电视、 PC监视器等。 若技术成熟, 则实现真正的超薄、 平面、 低耗电量的壁挂式电视将不再是梦想。 雨竹　编译 大型液晶玻璃基板镀膜技术 　　日本上村工业公司和大阪市立工业研究所联合开发出在液晶显示的玻璃基板上制作氧化亚铅导电膜的镀膜技术。 　　对于液晶显示器, 需将导电膜制作在玻璃基板上。 新技术属于湿法成膜的一种, 是将玻璃基板浸入溶有氧化亚铅的溶液中制作导电膜, 从而实现了可使氧化亚铅原子致密地排列在玻璃基板上的新介质。 　　镀膜面积超过3m×3m的大型基板, 若能增大容器, 则还可在超过3m×3m的基板上制膜。 可曲面显示的有机EL薄膜显示器 　　日本先锋公司成功地开发出下一代有机EL显示器。 研究人员利用厚0.2mm的合成树脂取代以往的玻璃基板, 即便是在弯曲状态下仍可显像。 有机EL显示器的尺寸约45mm×22mm, 重量仅为1g, 是采用玻璃基板的1/10。 该显示器为绿色单色显示。 　　若能进一步提高显示器的显示性能, 预计2003年将在便携终端及便携电话机等方面普及应用。 目前, 该公司正在开发像广告画一样贴在墙壁上的壁挂式超薄型显示器。 有源矩阵型彩色有机EL显示器 　　日本先锋公司所属的东北先锋公司研制出采用低温p-Si TFT的有源矩阵彩色有机EL屏。 该试制品为5.3cm, 176×192像元, 实现了4 096种色显。 反射型TFT彩色LCD 　　日本电器公司最近公布由该公司开发的便携终端用反射型TFT彩色液晶显示器已作为产品投入市场。 新产品显示尺寸为9.7cm, 320×240像元。 通过采用自行开发的反射板及制作技术, 实现了产业界最高的反射率(反射率提高了40%), 对比度为40∶1。 自行设计驱动IC, 耗电量控制在40mW。 雨竹　编译