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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 220 毫秒
1.
用In_(0.5)Al_(0.5)P作发射区的新型GaAsHBT近年来,异质结双极晶体管(HBT)在高速电路中的应用已引起广泛重视。据《IEEEEDL》第15卷1期报道.J.M.Kuo等用气源分子束外延(GSMBE)技术首次生长出了In0.5Al0.5...  相似文献   

2.
用常压MOVPE系统,采用AsH3、国产TMGa和TMAI生长了AI0.35Ga0.65As/GaAs多量子阱结构.在11K下,宽度为10A的阱PL半峰竞最窄为12meV,表明量子阱结构具有陡峭的界面.光致发光(PL)测试结果显示,较低的生长速率和适当的生长中断时间有利于改善PL半峰宽.  相似文献   

3.
采用PECVD技术,以TEOS为源,对In0.53Ga0.47As材料进行表面钝化,研究了SiO2/In0.53Ga0.47As的界面态,提出降低界面态密度的方法,使其降低到8.5×1010eV-1cm-2.  相似文献   

4.
本文首次报道了在GaAs衬底上采用新的双层InGaAsP限制层和InGaP光限制层工艺制作无铝应变云子阱In0.2Ga0.8As激光器。得到的宽条激光器的阈值电流密度低至58A/cm2,就作者所知,对用MOCVD生长的0.98μm激光器来说,该阈值电流密度是已有报道的最低值。  相似文献   

5.
本文简要报告我们气态源分子束外延实验结果.材料是GaAs(100)衬底上外延的晶格匹配的Iny(Ga1-xAlx)1-yP(x=0~1,y=0.5),InGaP/InAlP多量子阱;在InP(100)衬底上外延的InP,晶格匹配的InGaAs、InAlAs以及InP/InGaAs、InP/InAsP多量子阱,InGaAs/InAlASHEMT等.外延实验是用国产第一台化学束外延(CBE)系统做的.  相似文献   

6.
新结构高性能In_(0.3)Ga_(0.7)As/In_(0.29)Al_(0.71)As/GaAsHEMT研究证明,InGaAsHEMT的结构优于GaAsMESFET和习用的AlGaAs/GaAsHEMT。在GaAs上制备的赝配结构HEMT(PM-HE...  相似文献   

7.
用MOCVD在(100)、GSMBE在(100)和(111)BGaAs上生长了GaInP外延层.PL测试表明,(100)衬底上GaInPPL峰的能量比计算的带隙分别小43(GSMBE生长)和104meV(MOCVD生长).用Kurtz等人的模型对MOCVD和GSMBE生长的GaInP中有序度的不同进行了解释.并讨论了衬底晶向对GaInP中有序程度的影响.  相似文献   

8.
GaInP材料生长及其性质研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
用X光双晶衍射、Hall和光致发光研究了MOCVD生长的GaxIn1-xP(x=0.476~0.505)外延层.发现Ga组分随V/Ⅲ比的增大略有下降,认为是由于Ga-P键比In-P键强所造成的.77K下电子迁移率达3300cm2/(V·s).Ga0.5In0.5P的载流子浓度随生长温度升高、V/Ⅲ比的增大而降低,提出磷(P)空位(Vp)是自由载流子的一个重要来源.17K下PL峰能和计算的带隙最大相差113meV,这可能与GaInP中杂质或缺陷以及其中存在有序结构有关.  相似文献   

9.
浅离子注入InGaAs/InGaAsP SL-MQW激光器的混合蓝移效应   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用300keV的P+离子对InGaAs/InGaAsP应变层多量子阱(MQW)激光器外延结构实施浅注入,经H2/N2混合气氛下的快速退火,结构的光致发光(PL)峰值波长蓝移了76nm,所作宽接触激光器的激射波长蓝移了77.9nm.发现具有应变结构的InGaAs/InGaAsPMQW,在较低的诱导因素作用下即可产生较大的量子阱混合(intermixing)效应  相似文献   

10.
用电荷控制及热电子弹道运动模型计算InAs/InP0.7Sb0.3热电子晶体管的截止频率fT及最高振荡频率fmax。结果表明,fT、fmax分别达到280GHz及600GHz。并指出,通过生长GaSb中间层,InAs/InP0.7Sb0.3HET可在GaAs衬底上实现单片集成。  相似文献   

11.
本文报道采用液相外延(LPE)生长和传统光刻制管工艺研制出引入多层(三层或三层以上)中间能带隙过渡的吸收区、倍增区分离的InGaAs(P)/InP雪崩光电二极管(简称InGaAs(P)/InPSAGMAPD),其技术指标为:击穿电压VB=40~90V;0.9VB时的暗电流Id最小可小于10nA;1.3μm时光响应度Re=0.6~0.8A/W,倍增因子M≥20(Mmax>40),过剩噪声因子F≌5和较宽频带响应特性。  相似文献   

12.
本文研究了不同阱宽的In0.6Ga0.4As/InP应变量子阱的光致发光,通过量子尺寸效应和压缩应变引起的峰值能量位移判断了不同谱峰的跃迁.在一定的温度范围内,相应量子阱的发光强度随着温度的升高而增加,当温度高出此范围,其光强随温度的升高而减小,此温区不仅与阱宽有关。且随激发光强而变化.我们用量子阱的限制效应和激子的转换机理,初步探讨了此温度范围的形成和消失.  相似文献   

13.
In_xGa_(1-x)As/InP应变量子阱中激子跃迁能量随In组分的变化   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文研究了InxGa1-xAs/InP应变多量子阱中激子跃迁能量随In组分的变化.用国产GSMBE设备生长了五个样品,这五个样品的阱宽均为5nm,垒宽均为20nm,唯一的不同之处是阱层中的In组分不同,In组分从0.39变化到0.68.用X射线双晶衍射及计算机模拟确定出了各样品阱层中实际In组分.用光致发光谱(PL)、吸收谱(AS)、光伏谱(PV)确定出了样品中的激子跃迁能量.对量子阱中的激子跃迁能量随In组分的变化进行了理论计算.结果表明:对给定阱宽的量子阱,随着In组分的增大,量子阱中11H和11L激  相似文献   

14.
利用卢瑟福背散射(RBS)、X光电子谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究了Si0.5Ge0.5合金在1000℃下湿氧化所生成的氧化物的特征.结果表明:这种氧化物为双层结构.靠近表面的一层为(Si,Fe)Ox混合层,在其下面是纯的SiOx层,Ge被排斥并堆积在SiOx/Si0.5Ge0.5界面附近.在本实验条件下,(Si,Ge)Ox层的厚度约为2500A,它的形成时间不足5分种.当氧化的时间延长时,SiOx的厚度随之增加,但(Si,Ge)Ox的厚度几乎不变.还发现:在这些氧化物中,Si2p和Ge3  相似文献   

15.
研究在外加电场0~50kV/cm范围内,In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48AS宽量子阱电透射光谱中11h激子跃迁的谱线宽度(FWHM).它可分解为由温度及界面粗糙度引起的非均匀展宽(高斯型)和由外场引起的均匀展宽(劳伦兹型).用线性叠加的近似公式代替高斯和劳伦兹方程的卷积,再与实验光谱拟合.谱线总宽度、高斯展宽成份及线性叠加系数η均作为拟合参数得到,从而可得劳伦兹展宽.将与外场的关系曲线与理论作比较,在数量级上一致.  相似文献   

16.
丁国庆 《半导体学报》1997,18(8):592-597
本报告了InP系列多薄层异质结构材料变温光致发光谱的正常及异常温度特性;观测到InGaAsP单层单量子阱室温下光致发光峰以却比10K下光致发光峰能高的实验事实。提出了外延层分为岛状,短程有序起始生长区,过渡区,多元均匀混晶区模型来解释PL谱低温下局部温度特性异常问题;认为PL谱反常温度特性与晶格驰豫有关。  相似文献   

17.
首先从理论上研究了在应变情况下量子阱中能级的计算,然后利用LP-MOCVD研究了InGaAs/InP组份的控制及生长条件,最后生长伸张应变为0.5%的四个量子阱InGaAs/InP结构材料,利用PL光谱测量得最小阶宽为1.8nm。  相似文献   

18.
首先从理论上研究了在应变情况下量子阱中能级的计算,然后利用LP-MOCVD研究了InGaAs/InP组份的控制及生长条件,最后生长伸张应变为0.5%的四个量子阱InGaAs/InP结构材料,利用PL光谱测量得最小阶宽为1.8nm。  相似文献   

19.
用金刚石对顶砧压力装置在液氮温度下和0~4GPa的压力范围内测量了不同阱宽(1.7~11.0nm)的InxGa(1-x)As/Al(1-y)Ga(1-y)As(x,y=0.15,0;0.15,0.33;0,0.33)多量子阱的静压光致发光谱,发现在In0.15Ga0.85As/GaAs多量子阱中导带第一子带到重空穴第一子带间激子跃迁产生的光致发光峰能量的压力系数随阱宽的增加而减小,在In0.15Ga0.85As/Al0.33Ga0.67As和GaAs/Al0.33Ga0.67As多量子阱中相应发光峰的压力系数随附宽的增加而增加.根据Kroniy-Penney模型计算了发光峰能量的压力系数随阱宽的变化关系,结果表明导带不连续性随压力的增加(减小)及电子有效质量随压力的增加是压力系数随阱宽增加而减小(增加)的主要原因.  相似文献   

20.
InGaAs(P)/InP应变量子阱和超晶格的光电性质   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用低压金属有机化合物化学汽相沉积(MOCVD)生长技术在InP衬底上生长InGaAs/InP应变量子阱,超晶格和InGaAsP/InP量子阱结构材料,利用77K光荧光(PL)测量这一应变量了阱和量子阱的光学性质,利用双晶X光测量应变超晶格的性质。  相似文献   

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