氦-氖气体激光器件排气充气工艺

气体激光器件从广义上来说,是属于离子器件的一种,在总成工艺的最后一道工序,包括两个步骤;第一步排气,第二步充入一定压强的工作气体。下面就我们在实际工作中的一些体会来谈谈对氦-氖气体激光器件排气充气工艺问题的考虑。     

一种先进的气体激光管无油排气充气装置

本文介绍一种目前国内较先进的气体激光管全金属无油排气充气装置,它具有无油蒸汽、抽气速率大、极限真空好,能进行动态气体半定量分析以及可分别设定四种气体流量同时充气,达总气压值时各路阀门适时自动关闭等特点。该机具有无油排气充气、气体分析、配制混合气体三项功能。     

电子束管内残余气压的测定

一、引言电子束管在排气、封离后的管内残余气体是影响管子寿命的一个决定性因素。这种残余气体的来源主要是由于排气不良、封接部分慢性漏气以及真空材料在使用时放气,等等。因此研究残余气体的成分和压强以及在使用过程中它们的变化具有极为重要的意义。它有助于确定最佳的排气规范和阴极分解激活规范,鉴定电真空工艺和卫生的有效程度,研究消气剂的吸气量及其持续作用,合理选择管内零件的材料等。     

红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究

实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.     

真空双排气系统在正柱型He-Cd激光器制造中的应用

本文提出了一种制造正柱型Ｈｅ－Ｃｄ激光器的排气工艺新方法－真空双排气法。文章从理论和实验两方面证明了制造正柱型Ｈｅ－Ｃｄ激光器,真空双排气法比真空单排气法优越。真空双排气法可有效地除去阴极和Ｃｄ金属中所含杂质气体,改善激光器的寿命。     

真空双排气系统在正柱型 He－Cd激光器制造中的应用

本文提出了一种制造正柱型Ｈｅ－Ｃｄ激光器的排气工艺新方法－真空双排气法。文章从理论和实验两方面证明了制造正柱型Ｈｅ－Ｃｄ激光器，真空双排气法比真空单排气法优越。真空双排气法可有效地除去阴极和Ｃｄ金属中所含杂质气体，改善激光器的寿命。     

排气红外抑制装置红外辐射场数值仿真

为了准确地评价舰船动力排气红外抑制装置的抑制效果,从气体辐射传输方程和含气体的热空腔的辐射方程出发,采用SLG模型描述气体辐射,在此基础上建立了排气红外抑制装置红外辐射仿真模型.通过模型实验,对排气红外抑制装置仿真模型的计算结果进行了验证,结果显示:仿真模型的预测结果与实验测量结果在3～5μm波段吻合较好,而在8～12μm波段与实验测量结果存在一定偏差.仿真模型并未考虑不完全燃烧产生的碳黑颗粒对气体辐照造成的影响,这可能是造成偏差的主要原因.     

乘用车排气系统NVH分析及优化

排气器噪声是汽车中最主要的噪声源。它的噪声要发动机整机噪声高10-15dB。排气噪声主要形成原因是:排气系统各零部件工作时候的机械噪声,车身振动通过吊耳传递到排气管道的振动噪声,废气对管道内壁的冲击噪声,排气基频噪声,尾管紊流噪声,管道内气体共振噪以及辐射噪声等。     

基于红外测温的柴油机排气温度不均匀度诊断

设计了柴油机排气红外监测试验台,利用红外热像仪在不同运行工况下测量6135柴油机歧管表面温度,得到了由排气管表面温度确定柴油机排烟气体温度的计算方法。分析了各缸排气歧管表面温度不均匀度与排烟温度不均匀度的关系,研究了表面发射率随温度变化的关系,验证了红外监测技术在柴油机排气不均匀度诊断和预测上的可行性和有效性。     

发动机进气道的优化仿真

通过对进气道内气体流动的三维数值模拟计算,可获得流量系数,气道内压力、流速等参数的空间分布,并建立气道形状、安装位置与气体流动特性(包括流量系数等)的关系,为汽车发动机进、排气道的设计与改进提供依据。     

延长千瓦级CO_2激光器工作气体使用时间

ＪＫ－１３型２ｋＷ横流式ＣＯ_２激光器,在每天漏气速率为０．４ｋＰａ～０．５３ｋＰａ的条件下,采用排气逐步降低工作气压和更新部分工作气体的方法,工作气体使用时间达５００ｈ以上,激光器的输出功率平均为１．６ｋＷ,电光转换效率平均为 １５％,工作气体还能继续使用。     

用于减少军用车辆可见光和红外特征的装置

摄像机和热传感器等技术的发展,使得人们在陆地环境中能从远处探测到诸如发动机排气和冷却气体之类的热源。为了提高军用车辆的秘密性,就必须降低由军     

FLK 150型反应离子刻蚀机

本文详细介绍了FLK-150型反应离子刻蚀机的工作原理、设计计算、性能指标、结构特点及实验结果,并对气体流型、排气系统等进行了讨论.     

真空中预击穿传导和X射线发射的研究

Ⅰ引言已发表的关于测量真空中预击穿稳态电流的大部分文章,都根据Fowler-Nordheim场致发射方程加以说明。提出利用大“场强化因子”β来解释击穿前所观察到的高电流。然而,却很少讨论例如由于排气方法而引起的有机污染的程度。也未确定阳极轰击时所放出的气体的作用。下面叙述的在用油泵排气和离子泵排气的两个真空器室里所作的一系列实验,是为了证明在不同工作条件下预击穿电流的组成成份     

舰用燃气轮机排气系统远程红外成像多尺度多线组宽带k分布模型数值仿真研究

针对现有的宽带k分布模型不适合温度和参与性组分比例剧烈变化的气体的辐射特性计算的问题,建立了多尺度多线组宽带k分布模型（MSMGWB）,并针对舰用燃气轮机排气系统远程辐射特性计算面临的高温燃气与环境空气热力学参数,对MSMGWB模型的光谱吸收系数分组进行了优化。一系列一维气体辐射传输算例的计算结果表明:当高温燃气与低温空气的温度和水蒸气、二氧化碳、一氧化碳摩尔比差别巨大时,多尺度多线组宽带k分布模型对3~5 m波段气体辐射传输特性的预测精度远高于原始宽带k分布模型和窄带模型,并且与灰体固壁保持了很好的兼容性。最后,对不同相对风速下舰用燃气轮机引射排气系统的流场、固体温度场及其近、远距离红外成像进行了数值计算,结果表明:气体重力和燃气中的一氧化碳对其3~5 m波段红外成像的影响不能忽略。     

法国研制汽车排气传感器

法国科学家研制出一种小型光学排气传感器．可以降低燃料消耗．帮助改进空气质量。它由一系列激光二极管抽运的微腔发射器与一宽带探测器组成．可以快速选择性地监视发动机运转时排出的各种气体的浓度。     

单片机控制的准分子专用组合电磁阀门

介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动配气。整体结构紧凑、性能稳定,简化了充配气操作,还可以用它实现自动微调激光气体成分,达到延长工作气体寿命的目的。     

示波管内残余气体的研究

通过用回旋质谱计对示波管寿命过程中管内残余气体的分析,找出了示波管在排气封离前后、吸气剂蒸散前后、老炼过程中以及整个寿命过程中残气的变化规律。为改进工艺提供了依据。     

巡航导弹排气系统红外辐射数值模拟

巡航导弹排气系统的红外辐射严重影响其红外隐身突防能力。首先建立导弹发动机排气系统计算模型,对其巡航状态下的流场进行了计算;其次,基于逆向蒙特卡洛法编写的红外辐射特性计算程序模拟了导弹排气系统空间探测点的红外辐射特性;最后分析了空间红外成像及光谱辐射强度分布情况。结果表明：巡航导弹红外辐射具有从正前向到正后向气体辐射向固体辐射逐渐过渡的特点,正后向45°锥形空间辐射较强;模拟红外辐射对指导改进导弹隐身突防能力具有较强的军事应用价值。     

排气方式及工艺参数对等离子体刻蚀a-Si均一性的影响

本文对在等离子体刻蚀工艺中,功率、压强、气体比例重要参数对a-Si刻蚀均一性的影响进行了研究。采用PECVD成膜、RIE等离子体刻蚀,并通过台阶仪和光谱膜厚测定仪对膜厚进行表征。结果表明压强在10~15Pa,功率在5 500~6 500 W的参数区间,a-Si刻蚀均一性波动不大,适合工业化生产。a-Si刻蚀速率及刻蚀均一性对气体比例较为敏感,SF6∶HCl=800∶2 800mL/min时a-Si刻蚀均一性为最佳。四角排气方式对维持等离子体浓度作用明显,有利于刻蚀均一性的提升。四周排气方式会破坏等离子体浓度进而破坏a-Si刻蚀的均一性。