SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)

由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术.本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处.     

SPC在多品种小批量生产线的应用研究

统计过程控制(SPC)是一种有效的质量管理工具,但由于半导体制造工艺过程的复杂性,常规的SPC模型已经不能对工艺过程状态进行有效的监控。着重论述了SPC在多品种、小批量半导体生产线上的实际应用;根据工艺特点,选取正确的SPC模型,通过采集数据、绘制控制图和数据分析,对图中异常点采用5M1E进行分析,既可及时发现工艺异常并进行纠正,又可排除非工艺原因造成的异常。该方法对提高工艺稳定性和产品质量有着非常重要的意义。     

SPC参数控制限和规范限的定义

介绍了定义SPC控制限和规范限的一套方法.在多品种小批量的化合物半导体前道工艺线推行SPC的过程中,针对不同参数的性质不同,分别总结出了三种不同的定义方法,从而对前道工艺流程的全部参数实行了SPC监控,并在实际的控制中证明该方法是有效的.该方法解决了困扰SPC使用者如何定义控制限和规范限的难题,尤其对于刚开始推行SPC的生产线有借鉴意义.     

采用SPC技术控制半导体器件的工艺质量

统计过程控制(SPC)技术已广泛用于半导体器件生产,采用SPC技术可以提高半导体器件的质量和可靠性。利用控制图可以监控生产过程状态,对生产中出现的异常及时进行分析、改进,使半导体器件工艺的生产过程处于受控状态。介绍了SPC技术的基本概念和技术控制流程、常规控制图及其分类以及引用的国家标准。给出了目前的工序能力指数(Cp)的控制水平、工序能力指数和工艺成品率及不合格品率的对应关系,以及几种在常规控制图基础上扩展的适合半导体器件工艺的其他控制图技术,分析了国内某半导体器件生产线SPC技术的利用情况及存在的问题。     

SPC在半导体生产中的应用

统计过程控制(statistic process control,SPC)是一种科学有效的方法,该技术的应用改变了以往靠经验来进行调整生产的模式。以M IM电容为例,首先通过对电容容值数据连续采集,进行定量的数理统计分析,评估该工艺的工艺控制能力。然后绘制控制图,对工艺进行监控。通过分析控制图,最终对工艺过程的能力水平以及是否处于统计受控状态作出定量结论。在工艺过程中当发现统计数据异常时,及时采取纠正措施,使工艺状态始终受控。通过运用SPC技术对数据进行分析,能有效改进工艺,提高产品质量。     

SPC在电缆外护套挤出工艺中的应用

统计过程控制(statistic process control,SPC)与传统的产品控制方法不同,具有诸多优点,是一种科学有效的方法。以某电缆外护套挤出工艺为例,阐述了如何应用SPC技术来分析产品质量数据,实施SPC的工作程序及实施SPC之后的效果。以定量的数理统计方法评估工艺的控制能力,最后通过对生产过程连续监控保证产品质量的稳定性。     

半导体工艺线CAM及SPC的应用

探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。     

SPC技术在键合工艺中的应用

采用统计过程控制(SPC)技术,提高微电路产品的质量和可靠性,监控键合工序的生产过程状态。通过连续采集的25批键合强度数据,绘制了标准-偏差控制图,并对控制图处于非受控状态的批次进行了具体分析。根据分析结果,改进工艺方法,使生产过程处于受控状态。     

工艺提高的重要途径——SPC

从所周知,SPC(Statitical Process Control统计过程控制)是质量管理的重要途径。随着生产技术规范的严格化,越采越多的有识之士意识到,SPC也是解决制造性问题的重要一环。从具体方法上讲,是从公司的技术工程部门入手,确立工艺参数的最高、最低控制极限,操作者在操作过程中收集数据,绘制SPC图,反馈给技术部门,进行监控、调整。 每一个工艺项目需要有三项准确确定的因素:发现其变化趋势,DOE(Design Of Exper-     

用统计过程控制技术监控孵化机箱板生产质量

本文介绍了统计过程控制(SPC)技术,重点阐述了应用SPC技术对孵化机箱板生产质量实际进行监控的过程与方法.     

SPC法--未来电子组装产品质量的保证

统计过程控制（ＳＰＣ）是一种通过监控制造过程来确保产品质量的方法,利用它有助于提高产品的质量和生产能力。本文介绍了ＳＰＣ法及共在表面贴装工艺中的应用。     

The mathematics of success and failure [SPC]

The use of statistical process control (SPC) to improve quality is discussed. Mathematical tools and techniques for SPC are reviewed. How to decide when a change in an indicator is statistically significant is addressed. An approach to SPC in which one attempts to reduce process sensitivity to external variations rather than control these variations more tightly is discussed     

Statistical process control in semiconductor manufacturing

The author presents a brief survey of standard SPC (statistical process control) schemes, and illustrates them through examples taken from the semiconductor industry. These methods range from contamination control to the monitoring of continuous process parameters. It is noted that, even as SPC is transforming IC production, the peculiarities of semiconductor manufacturing technology are transforming SPC. Therefore, the author describes novel SPC applications which are now emerging in semiconductor production. These methods are being developed to monitor the short production runs that are characteristic of flexible manufacturing. Additional SPC techniques suitable for in situ multivariate sensor readings are also discussed     

Run by run process control: combining SPC and feedback control

The run by run controller provides a framework for controlling a process which is subject to disturbances such as shifts and drifts as a normal part of its operation. The run by run controller combines the advantages of both statistical process control (SPC) and feedback control. It has three components: rapid mode, gradual mode, and generalized SPC. Rapid mode adapts to sudden shifts in the process such as those caused by maintenance operations. Gradual mode adapts to gradual drifts in the process such as those caused by build-up of deposition inside a reactor. The choice between the two modes is determined by the outcome from generalized SPC which allows SPC to be applied to a process while it is being tuned. The run by run controller has been applied to the control of a silicon epitaxy process in a barrel reactor. Rapid mode recovered the process within 3 runs after a disturbance. Gradual mode reduced the variation of the process by a factor of 2.7 as compared to historical data     

应用SPC技术监控过程质量

统计过程控制（SPC）技术就是选用适宜的统计技术或方法对生产过程实施控制,通过统计分析,科学地区分出生产过程中的随机波动与异常波动,从而实现对生产过程的预防。达到保证产品质量的目的;SPC技术的种类很多,适用于不同的过程控制;选择适宜的SPC技术监控过程质量,是进入SPD（统计过程诊断）和SPA（统计过程调整）必不可少的一步。文章简单介绍统计过程控制（SPC）技术的设计原理和判断准则,重点阐述如何应用SPC技术监控生产质量的过程与方法,并给出应用和分析实例。