晶片干燥技术综述

在各类晶片中,尤以衬底抛光片的干燥最为困难,容易出现颗粒和水痕等缺陷。以设备为依托的干燥技术发展迅速,离心甩干技术,IPA Vapor干燥,Marangoni干燥和HF/O3干燥是其中较为成功的。     

绿色二氧化碳超临界清洗设备

半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳.以超临界流体为媒体的清洗技术是克服以上缺点的最佳途径.提出并研制了一种绿色二氧化碳超临界清洗设备,它利用超流体二氧化碳来进行硅片的清洗和无张力的超临界干燥,而且该设备还可以对微细结构进行无粘连的牺牲层释放.设备的成本低,二氧化碳使用量少,并且可以循环使用,属于绿色无污染的新型半导体清洗设备.     

改善隧道式微波干燥设备均匀性的研究

隧道式微波设备在干燥过程中存在物料温度不均匀的问题。本文采用在现有隧道式微波干燥设备中增加热风机,结合热风干燥温度均匀的优势,选用生物质颗粒作为研究对象,将热风干燥技术和微波干燥技术联合使用,从而改善微波设备干燥不均匀的现象。     

绿色二氧化碳超临界清洗设备

半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳.以超临界流体为媒体的清洗技术是克服以上缺点的最佳途径.提出并研制了一种绿色二氧化碳超临界清洗设备,它利用超流体二氧化碳来进行硅片的清洗和无张力的超临界干燥,而且该设备还可以对微细结构进行无粘连的牺牲层释放.设备的成本低,二氧化碳使用量少,并且可以循环使用,属于绿色无污染的新型半导体清洗设备.     

硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势

简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等.并就清洗技术的发展需要,阐述未来清洗设备的发展趋势.     

多孔硅新的表面处理技术

对多孔硅施加阳极氧化表面处理技术,可有效解决多孔硅干燥时出现龟裂及坍塌,破坏原有多孔硅的形貌和本质的问题.阳极氧化表面处理技术就是使用少量的负离子作用于多孔硅表面,满足SI分子化合价的需要,消除悬空键,促使多孔硅表面性能稳定,避免结构重组产生分子间的不均匀内应力,从而获得性能稳定、可靠、在空气中可以长期干燥保存的多孔硅.     

远红外辐射加热技术

加热和干燥是工农业生产中许多部门不可缺少的工艺,所滑耗的能源很多.据估计,仅加热干燥物料一项,消耗的能源约占工业化国家燃料消耗的10～15%.因此采用新技术,制造高效低耗的加热设备具有十分重要的意义.六十年代后期出现的远红外加热技术,和常用的热风加热相比,具有能缩短工件热处理(或加热到所需温度)的时间、减少加热工件单位面积的能量消耗、能控制辐射功率的空间分布等优点.实践证明,采用远红外加热干燥和热风干燥相比,烘烤时间可缩短到1/10左右;电能消耗可降低1/2～1/3;烘烤场地面积可减少到1/3～1/10.     

电晕风干燥实验的研究

在自制的电晕风干燥装置上,对水进行了干燥实验.通过改变放电间隙、针状电极的数目和放电电压,对影响电晕风干燥速率的因素做了初步的研究.实验结果表明:放电间隙越小,针状电极数目越多,输出电压越高,干燥速度越快.在此基础上,又对土豆片进行了干燥试验.     

锗抛光片干燥技术研究

在锗加工工艺中,干燥技术对于加工的成品率和抛光片表面质量有着重要的影响。介绍了异丙醇脱水干燥技术的原理,分析了异丙醇脱水技术对超薄锗抛光片的适用性。采用湿法清洗技术,有效去除了表面沾污和抛光后的表面氧化产物,控制了抛光片表面GeO_2的生成。采用异丙醇脱水技术成功实现了140μm厚锗抛光片的干燥。     

机场航站楼用蒸发冷却空调系统初探

通过对我国机场航站楼空调系统现状的调查研究,总结了机场航站楼空调系统设计中遇到的问题,研究了我国西北干燥地区的气象参数,结合蒸发冷却空调技术在我国西北干燥地区的优越性,对蒸发冷却技术在西北干燥地区机场航站楼的适用性进行分析,为今后西北干燥地区机场航站楼的空调系统设计提供了参考。     

金属与导电材料

0205849纳米氧化锆的制备及其干燥技术[刊]/温立哲//广东工业大学学报.—2002,19(1).—63～69(E)纳米氧化锆是一种新型的高科技材料,由于其具有很多特殊的性质,因而有着广泛而重要的用途。本文根据国内外研究制备纳米氧化锆的最新进展和其发展趋势,综述了纳米氧化锆的各种制备的方法和干燥技术,并提出目前制备中存在的问题,参40     

负压远红外人参干燥技术的实验研究

人参由于采收季节性较强,因此,干燥成了人参加工工艺中的重要环节之一。本文应用远红外干燥技术对人参加工进行了探讨和实验研究,证明原理正确,方法可行,不但缩短了人参干燥时间,而且还能回收人参干燥过程中损失的有效成份。     

低压下木材的红外干燥

一、引言为了干燥特殊用途的硬质难干木材,如石栎、桦木鞋楦、梔木梭坯及钟表、仪器、工艺美术等行业使用的硬质厚木料,根据真空干燥和红外干燥的原理,我们研制出“负压电热远红外木材干燥炉”。所谓“负压干燥”,即是将物料表面的空气压力降低到大气压以下的干燥方式,当其中引入远红外辐射源时,我们便称之为“负压远红外干燥”(本文统称为低压红外干燥),它综合了红外干燥和低压干燥两种技术的特点。在低压(低于标准大气压)状态,水的沸点降低(见表1),有利于木材表面水份的蒸发。     

多孔硅的干燥方法

研究了多孔硅的阴极还原表面处理技术,通过该技术获得了表面平滑度良好、稳定度高、抗压强度高和耐高温性能好且在空气中可以长期干燥保存的多孔硅样品.在其表面上可以进行光刻、镀金等工艺,因此,可应用于制作器件甚至电路集成.     

论红外加热技术

红外加热与干燥是利用热物体源(通常使用各种红外加热器)所发射出来的红外线,照射到被加热干燥的物料上,并且被吸收后转换成热能,从而达到加热与干燥目的的一门技术。由于它具有耗电少、加热干燥物料的速度快和质量好、以及较易实现生产过程的连续化、自动化等优点,已在国内外被作为一门节能技术而得到广泛应用。我国国务院1978年第42号文件将它列为国家重点推广项目;在美国,有人把红外加热列为120种节能措施中的第3种;日本于1978年制订了有关节能工作的月光计划,陶瓷材料的红外辐射节能技术也作为一项重要内容被列入。几年来推广应用这门技术的实践表明,它已为国家节能作出了很大的贡献。前些日子,曾有少数人议论,指责红外加热干燥技术中出现的弊病,甚至提出要赶快限制远红外加热技术的推广。本文仅就此谈谈我们的看法。     

光纤有线电视网的施工、调度与维护

光缆的敷设与施工应考虑的事项与电缆工程大致相同.但光纤抗张力、抗侧压性能差,容易折断,因此在施工方法、工艺要求、工序流程等方面技术要求较高;对测试仪器仪表、机具工具、辅助材料等要求精度高、干燥清洁,还要求操作人员有较高的技术知识和操作技能.     

“远红外干燥木材”质疑

利用红外加热技术烘干木材,究竟能不能收到经济效果?作者认为,目前提出的几种观点,过分强调了以下两点: 1.干燥过程中辐射传热占主导地位。2.接受辐射的材料,其内部温度高于外部温度。     

抛光片IPA干燥技术研究

以Marangoni效应为基础的IPA干燥技术在衬底抛光片的干燥中遇到了瓶颈,即干燥后出现水痕缺陷。Marangoni干燥过程中,抛光片表面的水符合重力场下的杨方程模型,其脱离效果与晶片提拉速率和IPA流量密切相关。研究中发现,IPA流量在20L／min、提拉速率在lmm／s时干燥效果最佳;另外,Marangoni干燥过程不能完全去除晶片底部的残水．需要营造合适的蒸发环境,减压排风下供给适量的IPA蒸汽有助于底部残水的去除。晶片与花篮在干燥过程中有相互影响,完全分离的模式可以消除这种影响,但同时会使干燥时间增长。     

纸浆饭盒红外辐射与对流干燥实验研究

以发泡饭盒为主的“白色污染”被世界认为 2 0世纪最大公害之一。治理难度较大 ,目前市场“以纸代塑”的纸餐盒生产工艺耗能大、产量低、售价高 ,市场应用受阻。采用红外辐射干燥工艺 ,能耗费用可由 0 .0 8元 只降低为 0 .0 0 7元 只 ,从而达到节能、降低成本的目的。纸浆饭盒红外辐射干燥周期比对流干燥快 2 .8(6 .5 2 .3)倍 ,平均干燥速率大 2 .6 4(2 .4 5 0 .93)倍。     

低压下木材的红外干燥试验

实验表明,采用红外加热技术干燥木材具有较好的节能效果。但在实际应用中,有取得较好节能效果的,也有效果不显著的。为了探索新的技术途径,我们进行了低压(又称负压)条件下的红外干燥木材试验,取得了较佳的结果。