4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列

微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗(IL)进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。     

微电机械系统

２００２０１００３７用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器＝MEMS－basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica－tions犤英犦／MilesMW∥Proc．SPIE．—１９９９．３８７６－２０～２８２００２０１００３８微电机械系统毫米波无线电收发机的结构＝MEMSmil－limeter－wavetransceiverarchitectures犤英犦／ChiaoJC，ChoudhuryD∥Proc．SPIE．—１９９９，３８７６．－１４２～１５２２００２０１００３９微电机械高密度能量存储／快速释放系统＝Microelec－tromechanicalhigh－densityenergystorage／rapidreleasesyst…     

2004年MEMS的市场规模

早在25年前MEMS(微电机械系统)就已问世,但直到90年代才成为活跃的商品,     

微电机械系统MEMS

2001010001用于集成微电机械系统设计的计算机辅助设计=CADfor integrated MEMS design [英]/MukherjeeT … //Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14     

MEMS技术应用日趋广泛

编者按:MEMS(Micro Electro Mechanical System),即微电子机械系统,始于上世纪50-60年代,80年代迅速发展成为一门综合性新兴学科.微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器(如声、光、热、力、电等)、微控制器和微操作器等,集成于一个微小的空间,实现一种或多种设定的功能.     

PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展

PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用，可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等，而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用，并对各种刻蚀法进行分析和对比。     

电网络模型的动力系统模拟应用研究

根据相似原理建立了电系统与其他系统的对应原则,进行了动力系统的电方法分析应用研究。在弹簧机械系统的分析中,建立了相应的电网络拓扑结构,实现了该系统的电网络建模及仿真计算。通过对某段选定的血管拓扑结构建立实现了其电网络建模研究分析。根据电网络方法和工程热力学在某些本质方面的一致性,描述了以热力学参数为描述对象的端口网络和’相应模型。说明了电网络模型可以成为能流系统的通用处理工具,在非电系统的分析优化中将有着广泛的应用前景。     

当前铁电学和铁电材料研究的几个问题

概括分析了近一二年来国际上铁电学和铁电材料研究的发展，提出了发展我国相关研究的一些设想，包括铁电物理学的发展、铁电材料的研究、铁电薄膜、铁电薄膜器件的市场前景分析，以及铁电微电机械系统等．     

总论

Y2000-62082-879 0007201光微电机械系统的计算机辅助设计工具=A CAD toolfor optical MEMs[会,英]/Kurzweg,T.P.& Levitan,S.P.//1999 Design Atitomation Conference.—879～884(P)     

测探术技学光用能性的SMEM

一种基于光压和干涉的激励/探测方法可表征微电机械系统(MEMS)万向反射镜阵列的特性。这种全光技术除能精确地完成非接触式的工艺监控,也使远距离操作微光电机械系统成为可能。光MEMS是一种采取与大型光学元件相同方式进行光控制的微型器件,其在质量、体积、功耗等方面具有明显的优势。但由于各种机械力的作用并非随着尺寸的减小而呈线性比例变化,因此对MEMS的设计提出了新的挑战。AgereSystems公司生产的光开关是由在硅晶片上制作的直径为1mm的微反射镜阵列组成,然后与另一个芯片连接,这一芯片含有以静电方式驱动反射镜旋转的电极。…