一种用于光学薄膜表面无损表征的原子力显微镜

研制了一种用于大面积光学薄膜表面无损表征的新型原子力显微镜(AFM)。利用开放式样品台及探头系统可检测大尺寸、大重量的样品。样品最大尺寸可达600 mm×1000 mm。利用X、Y方向上的步进电机可实现探头在大尺寸样品表面任意位置的定位。另外还设计了优化的光点跟踪光路以实现大范围扫描成像,在扫描范围和反馈范围增大的同时,保持了较高的精度。利用步进电机和扫描器配合扫描,可得到序列图像,通过序列图像的拼接可获得更大范围的扫描图像。本文中测试了三种大面积薄膜样品,实验结果表明,单幅扫描图像最大范围达20 μm×20 μm,同时保持高的横向及纵向分辨率。     

100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展

阐述了100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的功能与构成，并通过对国内外100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的技术现状的分析，总结出了100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台所包含的各项关键技术，为100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的研制奠定了基础。     

激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统研究

介绍了激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统,为了提高激光扫描器的定位精度,在系统中提出采用基于闭环象素时钟发生器的检流计振镜所固有的扫描非线性失真补偿方案,减少输出图象的枕形畸变,实现行扫描空间位置的均匀性。在以细分梯形波电流驱动反应式步进电机情况下,根据实测θ-i曲线,用反插法求得与步进电机运行非均匀性相补偿的相电流波,从而获得在小电流情况下高角度均匀的步进电机细分运行特性。     

画幅扫描红外成像实时拼接中的光束法平差

光束法平差是遥感图像实时拼接系统的关键步骤,它需要消耗大量的运算时间,同时也决定了系统的拼接精度。针对画幅扫描红外成像实时拼接系统中的光束法平差算法,提出了一种实用的光束法平差策略,利用相邻扫描行图像的配准平差,将最新扫描行图像依次配准到已拼接图像中,为拼接图像的实时更新奠定了基础。同时利用GPGPU对光束法平差算法进行了并行加速,在保证精度的情况下,提高了拼接算法速度。通过画幅扫描成像的实时平差实验,验证了算法的精度和实时性。     

激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统研究

介绍了激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统，为了提高激光扫描器的定位精度，在系统中提出采用基于闭环象素时钟发生器的检流计振镜所固有的扫描非线性失真补偿方案，减少输出图象的枕形畸变，实现行扫描空间位置的均匀性。在以细分梯形波电流驱动反应式步进电机情况下，根据实测θｉ曲线，用反插法求得与步进电机运行非均匀性相补偿的相电流波，从而获得在小电流情况下高角度均匀的步进电机细分运行特性。     

圆锥扫描正负频率步进雷达角度信息提取方法

在实际雷达系统中,通常采用正负频率步进信号代替常规频率步进信号,以解决该体制对速度的敏感性。圆锥扫描频率步进雷达的角度信息完全体现在目标回波的幅度信息中。文中给出了圆锥扫描正负频率步进雷达角度信息提取方法,推导了详细公式,并从噪声、泄漏、弹体旋转等多角度分析了影响测角精度的因素,给出相应的解决办法。理论分析和仿真结果表明,圆锥扫描正负频率步进信号的角度信息提取方法是切实可行的,角度测量精度虽受到诸多非理想因素影响,但可以通过适当的处理方法得以改善。     

夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)

随着先进光学系统设计与制造的发展,大口径光学系统得到了广泛的应用。然而,大口径平面镜高精度面形的检测手段不足,限制了大口径平面镜的制造与应用。为实现大口径平面反射镜的高精度面形检测,提出一种夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜面形的方法。对扫描拼接原理、波前重构算法进行了研究,建立了微透镜阵列成像的数学模型,验证了夏克哈特曼扫描拼接检测原理的可行性。针对一口径为150 mm的平面镜进行了扫描拼接检测实验,拼接得到的全口径面形为0.019λ RMS(λ=635 nm);与干涉检测结果对比,检测精度为0.008λ RMS,结果表明该方法能够实现大口径平面反射镜的高精度检测。     

光学扫描全息系统中提高光电探测系统测量精度的方法

给出了光扫描全息术的基本原理,记录时用实时ＦＺＰ与物理强度透射率发生卷积从而产生扫描全息图,再现时用与记录时相对应的ＦＺＰ与全息图信号发生卷积即可再现出物理的信息,提出了单光源、双光路的光源补偿光路,以消除由于光源的不稳定带来的实验误差。     

二维PSD动态响应误差分析

针对光源连续扫描位置敏感器(PSD)时,PSD产生的动态响应误差随扫描速度的不同而发生变化的问题,基于二维四边型PSD,建立光源扫描照射下PSD动态响应模型,仿真分析得到了不同光源扫描速度下,PSD动态响应误差的分布,光源扫描速度越快,PSD动态响应误差越大。最后对影响动态响应误差分布的两个主要因素进行了分析。建立的二维PSD动态响应模型及仿真结果为PSD器件的实际工程应用提供了一个有效的依据。     

频率步进与脉冲多普勒复合兼容性设计

研究基于圆锥扫描体制下，频率步进与脉冲多普勒（PD）复合的兼容性设计．从理论上分析了频率步进与脉冲多普勒信号的选择方法，探讨了两种体制转换的工程算法及其实现，并通过外场试验对毫米波导引头系统在频率步进和脉冲多普勒模式下分别对静止目标和运动目标的最大作用距离与圆锥扫描测角进行实验验证，结果表明频率步进与脉冲多普勒复合体制下的静动目标距离分辨与测角是可行的．     

A Novel Method to Orient Semiconducting Polymer Films

We present a new technique for orienting polymer semiconductor thin films. In our technique, polymer chains are rigorously oriented without using any mechanical tools and with minimal risk of film contamination. The technique is based on the mechanical force resulting from the in‐plane shrinkage exerted by a shrinker (top layer) that is used to orient the semiconductor beneath an intermediate layer; the latter acting as a force mediator. The chain orientation is demonstrated by several techniques such as crossed‐polarizer microscopy, atomic force microscopy, grazing‐incidence X‐ray diffraction, and polarized absorption. The orientation geometry is controlled by the shrinking process and the shrinker area. The semiconductivity of the film only stems from the transistor device structures under study, and the method can therefore be generalized.     

一种gshare分支预测器的低功耗设计方法

功耗与性能在高端嵌入武计算系统中都是非常重要的设计指标。基于深度流水处理器中所使用的动态分支预测器的微结构特点，提出了一种利用分页技术来有效的降低gshare分支预测器的功耗的设计方法，详细分析了分支预测器的大小、分页数以及功耗、面积之间的内在关系。     

High Definition Digital Fabrication of Active Organic Devices by Molecular Jet Printing

We introduce a high resolution molecular jet (MoJet) printing technique for vacuum deposition of evaporated thin films and apply it to fabrication of 30 μm pixelated (800 ppi) molecular organic light emitting devices (OLEDs) based on aluminum tris(8‐hydroxyquinoline) (Alq₃) and fabrication of narrow channel (15 μm) organic field effect transistors (OFETs) with pentacene channel and silver contacts. Patterned printing of both organic and metal films is demonstrated, with the operating properties of MoJet‐printed OLEDs and OFETs shown to be comparable to the performance of devices fabricated by conventional evaporative deposition through a metal stencil. We show that the MoJet printing technique is reconfigurable for digital fabrication of arbitrary patterns with multiple material sets and high print accuracy (of better than 5 μm), and scalable to fabrication on large area substrates. Analogous to the concept of “drop‐on‐demand” in Inkjet printing technology, MoJet printing is a “flux‐on‐demand” process and we show it capable of fabricating multi‐layer stacked film structures, as needed for engineered organic devices.     

Reliable Monolayer‐Template Patterning of SnO2 Thin Films from Aqueous Solution and Their Hydrogen‐Sensing Properties

We demonstrate a novel lithographic technique utilizing a solvent to fabricate a chemically based semiconductor microdevice from an aqueous solution. According to this technique, SnO₂ thin film could be integrated onto predefined sites on a SiO₂/Si wafer. A patterned octadecyltrimethoxysilane self‐assembled monolayer (ODS‐SAM) was prepared by vacuum ultraviolet (VUV) irradiation through a photomask to use as a template for the fabrication of a micropatterned SnO₂ thin film on the SiO₂/Si surface. A Sn‐based thin film was then deposited onto the entire surface of the ODS template from an aqueous solution containing 0.03 mol L^–1 of SnCl₂·2H₂O at 60 °C for 16 h in an ambient atmosphere. The thin film deposited on the methyl‐terminated area of the template was then peeled using an ultrasonic rinse in anhydrous toluene for 30 min, while the film deposited on the silanol area remained intact and undamaged. Rinsing in hydrophilic solvents did not facilitate peeling of the thin film from the methyl‐terminated area. We succeeded by this process in obtaining a high‐resolution, micropatterned Sn‐based thin film on an ODS‐SAM template on Si. The as‐deposited film was composed of fine Sn‐based particles. The sensitivity of this SnO₂ thin film to H₂ gas increases linearly with improving crystallinity. The effectiveness of anhydrous toluene as a rinse in solution lithography is discussed from the viewpoint of the high hydrophobic affinity between the rinse solvent and the terminal groups in the monolayer template.     

Cover Picture: High Definition Digital Fabrication of Active Organic Devices by Molecular Jet Printing (Adv. Funct. Mater. 15/2007)

A new method for direct patterning of organic optoelectronic/electronic devices using a reconfigurable and scalable printing method is reported by Vladimir Bulovic and co‐workers on p. 2722. The printing technique is applied to the fabrication of high‐resolution printed organic light emitting devices (OLEDs) and organic field effect transistors (OFETs). Remarkably, the final print‐deposited films are evaporated onto the substrate (rather than solvent printed), giving high‐quality, solvent‐free, molecularly flat structures that match the performance of comparable high‐performance unpatterned films. We introduce a high resolution molecular jet (MoJet) printing technique for vacuum deposition of evaporated thin films and apply it to fabrication of 30 μm pixelated (800 ppi) molecular organic light emitting devices (OLEDs) based on aluminum tris(8‐hydroxyquinoline) (Alq₃) and fabrication of narrow channel (15 μm) organic field effect transistors (OFETs) with pentacene channel and silver contacts. Patterned printing of both organic and metal films is demonstrated, with the operating properties of MoJet‐printed OLEDs and OFETs shown to be comparable to the performance of devices fabricated by conventional evaporative deposition through a metal stencil. We show that the MoJet printing technique is reconfigurable for digital fabrication of arbitrary patterns with multiple material sets and high print accuracy (of better than 5 μm), and scalable to fabrication on large area substrates. Analogous to the concept of “drop‐on‐demand” in Inkjet printing technology, MoJet printing is a “flux‐on‐demand” process and we show it capable of fabricating multi‐layer stacked film structures, as needed for engineered organic devices.     

不同光阑面积比值高精度测量方法

直接观测太阳的星上定标方案中,设计了直径分别为20 mm和0.5 mm的光阑用于切换观测地球和太阳,两个光阑面积比的高精度测量是保证定标精度的关键。论述了光阑面积的测量原理,基于光阑面积测量的特点,利用激光点阵扫描法和通量比较法分别测得两个光阑与参考光阑的面积比,最终得出Φ20 mm和Φ0.5 mm光阑的面积比值为1604.381,评估合成不确定度为0.046%。为光阑大面积比的高精度测量提供了可行方案,支持直接观测太阳的星上定标方法。     

基于多时相遥感影像的天津市中心城区生态环境质量评价

针对城市扩张使得城市生态环境质量下降的现象， 基于2014、2016、2018 年三个时相的Landsat8 OLI_TIRS 卫 星数字产品影像数据， 运用遥感生态指数 (RSEI) 对天津市中心城区生态环境质量变化进行了评价与分析。研究结果 表明RSEI对于城市化程度高、城市房屋集中且紧凑的天津市中心城区有较好的适用性， 能够对环境质量进行监测， 也 对空间变化的研究起到了重要的作用。具体表现为： 2014、2016、2018 年天津市中心城区的RSEI 均值分别为0.547、 0.463、0.478； RSEI地理位置上从北至南、从西至东呈现出低-高-低的倒U型趋势。天津中心城区的各指数相关性分析 表明， 干度指标 (NDBSI) 是影响研究区生态环境质量最大的指数， 有很大的消极影响， 是天津市中心城区未来改善生 态环境的重要参考。在天津市中心城区的成功示范， 表明RSEI在生态环境质量评估上的应用可为掌握城市生态环境 质量、监测治理区域环境和规划建设城市提供积极的参考。     

无线局域网技术及应用

无线局域网技术是目前发展迅速的技术，相对于有线局域网有许多优点。随着无线网络产品性能的提高和价格的不断下降，无线局域网技术有着广泛的应用前景。据此对无线局域网的基本概念、特点及其技术作了简单的介绍，提出了无线局域网面向应用的几种解决方案，并对发展前景作了预测。     

基于AI的突发人流聚集区域识别与预警方法

本文提出了一种突发人流聚集区域智能识别与预警的方法,采用神经网络算法对小区未来用户数进行预测,依靠K-MEANS聚类算法和阿波罗尼奥斯定理确定小区的基准值,并通过线性回归算法对预测值和基准值进行对比,确定预警小区并根据预警小区的经纬度,构建Delaunay三角网,确定预警小区基站的覆盖区域,结合邻区关系、经纬度信息对周边站点汇聚,并借助网络爬虫技术获取基站的覆盖边界,输出预警区域。     

局域网仿真技术的发展

介绍了一种传统局域网接入异步转移模式（ＡＴＭ）网中广泛使用的技术——局域网仿真（ＬＡＮＥ）,从ＬＡＮＥ的基本思想、ＬＡＮＥ１．０和ＬＡＮＥ２．０三个方面进行了论述。说明ＬＡＮＥ既可以保护现有局域网的资源,又能享受ＡＴＭ的高带宽优势,是一种具有生命力的技术。