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真空检漏事业的发展和展望 总被引:1,自引:0,他引:1
氦质谱检漏仪发展于 2 0世纪 40年代 ,历经半个多世纪的应用和发展 ,取得了辉煌的成果 ,从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷 ,可以说是无处不在。真空检漏就其发展来说有两个方面 ,即一方面是检漏仪器本身 ,另一方面是检漏工艺技术的发展。我国的检漏仪器制造开始于 60年代初期 ,当时的中科院科仪厂等十几家单位走仿制的道路 ,有单聚焦和双聚焦 ,普通型和超高灵敏度型等各式检漏仪 ,60至 70年代是我国仪器发展的鼎盛时期 ,真空检漏的应用领域也不断扩展 ,对仪器的品种、质量、需求量都有了很大的增… 相似文献
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比较了现行国军标中氦质谱检漏固定法与灵活法标准判据,在相同条件下,2种方法的判据有数量级上的差别。相同内腔体积的半导体分立器件、电子及电气元件和微电子器件,由于器件种类不同,封装、工艺等不同,细检漏的判据仍然存在较大差别。分析了美军标中氦质谱检漏标准判据,指出国军标和美军标氦质谱检漏标准判据存在一定的不适用性,建议元器件氦质谱检漏的标准判据应进一步改进。 相似文献
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真空氦质谱检漏原理与方法综述 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法。 相似文献
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汽轮机凝汽器真空差一直是电力生产中长期未能很好解决的大问题,是火力发电机组实际供电煤耗远远高于设计的重要因素之一。解决真空严密性问题对降低火电机组供电煤耗和优化冷却系统参数都有重要现实作用。大量数据证明,氦质谱检漏技术是满足火力发电厂“不停机”的真空系统检测的唯一方法。它具有快速、准确、重复性好,无毒、安全、动态检测灵敏度高等优点,是值得向全国推广的节能先进技术。 相似文献
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ZLS-23型氦检漏仪是成都仪器厂的新近产品,该产品具有灵敏度高、操作方便、不需用冷却系统(只用液氮)就能方便的进行检漏,根据该产品说明书所述,其灵敏度可达5×10~(-10)~1×10~(-12)乇升/秒,因此使用该检漏仪作电真空器件及其他零件的检漏是一台比较理想的仪器。由于成都仪器厂出品的ZLS-23型氦质 相似文献
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卢思佳 《电子产品可靠性与环境试验》2016,(4):39-43
对金属-玻璃封装集成电路的小漏率检测技术进行了研究.首先,介绍了充压式氦质谱检漏法、破坏性内部气氛含量分析法和累积型氦检漏法的原理和流程;然后,分别利用这3种方法,对某试验样品的小漏率进行了检测;最后,根据试验结果,对3种方法的优缺点和适用范围进行了总结,对于金属-玻璃封装集成电路的小漏率的检测方法的正确选择具有重要的指导意义. 相似文献
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国内外普遍认为,现行军用标准有关氦质谱细检漏的测量漏率判据,对于筛选后内部水汽含量小于5 000 ppm的要求过于宽松.但标准改进中,加严判据与检测条件之间的矛盾,使人们处于困窘的局面.作者主张以氦气交换的时间常数τHe为主要变量,以严密等级τHemin为基本判据,简化了氦质谱细检漏测量漏率公式,选择了一条可更为简捷分析和处理问题的技术途径.进而推演提出了压氦法和预充氦法的最长候检时间公式,小内腔容积时再辅以二步检测法和贮存法,可从几倍到几个数量级地拓展最长候检时间,从而破解了候检时间过短这一技术瓶颈,为降低吸附漏率创造了条件,为设计加严判据要求的压氦法和预充氦法的固定方案和灵活方案,为全面改进密封性氦质谱检测方法标准提供了理论依据,对控制密封元器件长期贮存后的内部水汽、提高其可靠性有重要意义. 相似文献
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《Electron Devices, IEEE Transactions on》1958,5(1):28-34
The development of closures for electron devices often requires that leaks far below the usual range of the helium mass spectrometer-type leak detector be localized and measured. It has been possible, by using new techniques, to extend the sensitivity of detection several orders of magnitude beyond the normal limit of the instrument. Two highly sensitive methods with similar techniques but separate sensitivity ranges are discussed. In seals similar to those of color television picture tube closures, it is noted that the character of small leaks is such that long times are required to reach a constant maximum rate of helium leakage. Methods for predicting this maximum rate from early observations are discussed. Methods for establishing procedures necessary for sensitivity requirements for any particular seal type are given. Time and sensitivity limitations are discussed. Increases in the sensitivity of detection of the order of 40,000 are attained easily. Leaks as small as 1.5 × 10-10µliters/second have been detected and measured in 22-inch rectangular color television picture tube closure seals. In one year, a leak of this size would only cause an increase in pressure in an ungettered tube of 10-7mm Hg. This represents an increase in the sensitivity of detection of about one million. 相似文献
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以“氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间”为基础,分析了密封电子元器件内部水汽不超过5 000 ppm的可靠贮存寿命,确定了细漏检测的严密等级THemin分级,界定和拓展了适用内腔容积并进行了分段,设计了压氦法和预充氦法的固定方案,验证了固定方案规定的最长候检时间可以满足去除吸附氦的要求.从而突破了国内外相关标准改进中难以或无法实施的技术瓶颈,为加严密封性判据改进相关标准,提供了可行的技术方案. 相似文献
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密封电子元器件在长时间存放后,会存在无法检测的现象.当超过密封件细漏检测的最长候检时间时,应再次压氦,然后进行细检漏.按现行的各种规范的规定,压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同,但分析表明,这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差,有时会出现大漏的漏检和细漏的错判.推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式,给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间,从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题. 相似文献
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《Advanced Packaging, IEEE Transactions on》2009,32(2):440-447
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基于内外气体交换的分子流模型,采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法,规定了检测判定程序。内部气体质谱分析,需要时辅以粗漏检测,能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测,可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测。 相似文献
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本文系统地介绍了凝汽器真空系统氦质谱检漏原理和方法。它简便、快速、准确,是一项具有重大现实意义的节能技术。 相似文献
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从电子元器件气密性封装的原理入手,介绍了常用的检漏试验方法,阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展,分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求,并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。 相似文献
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以日盲紫外光通信系统多采用激光器或汞灯作为光源、紫外光电二极管作为探测器,整体系统体积大、操作复杂,难以满足电子通信工程的实验教学需求,因此急需建立一种新型光通信创新实验教学平台。文中设计并构建了一套新型紧凑化日盲紫外光通信系统,其采用紫外LED作为光源、可见光PIN管为探测器,以下转换荧光玻璃为光谱转换器,实现了远距离、高灵敏度的日盲紫外光信号传输与探测。该系统不仅增大了输出信号的幅值,还将最大日盲紫外探测光电流提高到了23.3 μA。通过实践教学,发现该创新实验平台对提高学生综合能力和对日盲紫外光通信实验仪器设备的理解与高效率使用,发挥了重要的促进作用。 相似文献