数字微镜器件(DMD)

数字式光处理(DLP-Digital light processing)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD-Digital micromirror device)，它是一种基于半导体制造技术，由高速数字式光反射开关阵列组成的器件，采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。叙述了用于DLP投影系统的DMD的原理、制造、性能和特点。     

数字光处理(DLP)投影系统

数字光处理(DLP)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD)，这是一种基于半导体制造技术、由高速数字式光反射开关阵列组成的器件，采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。DLP技术提供了全数字投影显示，在清晰度、亮度、对比度和色彩还原方面能提供高质量的图像。     

数字灰度投影光刻技术

随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。     

数字微镜器件动态红外景象投影技术

动态红外景象投影技术是硬件闭环仿真(HWIL)和成像系统测试及评估的关键技术,随着数字微镜器件的研制成功,应用动态红外景象技术已备受关注。描述了动态红外景象投影技术在仿真和红外成像系统测试中的应用,具体介绍了数字微镜器件的工作原理,讨论了动态红外景象投影系统的关键技术和国内外研究现状。     

数字微镜显示

数字微镜器件(Digital Micromirror Device,早期也有称为Deformable MirrorDevice)是一种新型的全数字化的平板显示器件,它将反射微镜阵列及CMOS SRAM集成在同一芯片上。DMD技术是近年来正在逐步走向实用的微电子机械系统(MEMS)的成功应用之一。采用DMD为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。目前以DMD为基础的数字光学处理技术DLP(Digital Light Processing)在民用和军事方面都有应用,DMD和DLP已成为注册商标。     

一种基于DRAM的新型数字微镜器件设计

为了满足数字光处理系统(DLP)对其核心器件数字微镜器件(DMD)的高性能要求,文中提出了一种基于0.13μm CMOS工艺,采用DRAM存储的新型数字微镜器件。通过对DMD芯片结构、工作原理的分析提出一种新型数字微镜单元电路设计,对电路进行仿真验证并设计电路版图。经测试,该设计基本满足数字微镜器件开关时间、芯片良率、寿命等要求。     

数字微镜显示

数字微镜器件(Digital Micromirror Device,早期也有称为Deformable Mirror Device)是一种新型的全数字化的平板显示器件,它将反射微镜阵列及CMOS SRAM集成在同一芯片上。DMD技术是近年来正在逐步走向实用的微电子机械系统(MEMS)的成功应用之一。采用DMD为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。目前以DMD为基础的数字光学处理技术DLP(Digital Light Processing)在民用和军事方面都有应用,DMD和DLP已成为注册商标。     

红外景象仿真器技术发展概况

描述了当前国际上红外景象仿真技术的发展动态,归纳了各种器件的发展过程,包括前期已应用的Bly电池、液晶光阀、热电阻阵列、DMD数字微镜阵列、变形镜器件、IRCRT、扫描激光器件等。当前正在发展的激光二极管阵列、红外等离子器件、和光子晶体等新型量子/光子红外景象投影器。介绍了目前已应用的红外景象仿真系统,及其存在的问题。指出了当代先进的红外景象仿真器期望的指标和发展方向,分辨率(>1024×1024)、动态范围(16-bit)、实现高帧频(>400Hz)、高温度(2500K),解决多光谱景象仿真技术。介绍了上海技术物理研究所正在开展的红外景象仿真研究工作,重点介绍包括DMD数字微镜阵列红外景象仿真、电阻阵列红外景象仿真和目标与背景红外动态图像建模等方面的研究进展。简要描述了上述技术的基本原理、研究过程和方法,并列出了已达到的性能指标和实验结果,同时给出了已开发成功的128×128元电阻阵列红外景象仿真器的实物照片。     

16×16光开关微镜阵列

设计、制造和测试了一种实现16×16 MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤.微镜.光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%～96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5～90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.     

16×16光开关微镜阵列

设计、制造和测试了一种实现16×16 MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤.微镜.光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%～96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5～90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.