光刻伺服盘媒体微细加工技术

阐述了光刻伺服盘媒体微细加工实验过程，分析了刻蚀工艺影响磁盘光刻图形的不利因素，实践证明利用半导体微细加工技术光刻伺服盘，能大幅度提高磁道密度，增加磁盘驱动器的容量，是一种先进的可行方法。     

光刻伺服盘检测

光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功，通过检测实验，其质量已达到设计要求。     

光刻伺服盘检测

光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.     

微细立体光刻技术

本文介绍了微细立体光刻技术的工作原理、基本加工方法和重要意义,并对此技术进行了初步的实践.     

微细电火花机床及其关键技术研究

为了将电火花加工技术应用到微机械制造中,分析了微细电火花加工中的关键技术,开发了微细电火花加工机床.该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成.该机床具有三轴联动数控功能,各轴的进给分辨率均为0.1μm.主轴的回转跳动<1μm,转速为1 000~25 000 r/m in,可以连续变速.该机床小到可以放在一张桌面上.在这台机床上进行了初步工艺实验,稳定地加工出了直径<15μm的微细轴和25μm的微细孔,还加工出了微三维结构.     

半导体硅材料微细电火花加工技术

为了拓展微细电火花加工技术的应用领域,开展了半导体硅材料的微细电火花加工技术研究,从硅材料的抗腐蚀系数、掺杂浓度、掺杂类型以及硅材料的晶向特性等几方面对硅材料的微细电火花加工性能进行研究;在自主开发的微细电火花加工机床上进行了大量工艺实验,研究了不同加工规准下不同掺杂类型硅材料的微细电火花加工工艺规律,并与加工不锈钢材料的工艺规律进行对比分析;阐述了不同工作液类型对硅材料加工后性能的影响;在此基础上进行硅材料的微结构加工实验,给出加工实例.在N型硅和P型硅上分别加工出了最窄梁宽为23μm和12μm的微细梁,并在P型硅上实现了直径为0.15 mm的微半球以及外环直径为4mm,具有24个微型叶片的微型涡轮盘的加工.     

微细电火花线切割加工装置及应用

开发了一套微细电火花线切割加工装置.主要由精确可控微小放电能量的脉冲电源、加工状态在线检测与控制系统、基于压电陶瓷驱动的精密伺服控制系统和恒张力走丝系统等关键技术构成.利用直径为30μm的微细电极丝,加工出微小槽的最小宽度<38μm,表明放电间隙≤4μm,并且白层厚度<2μm,表面粗糙度Ra≤0.1μm.给出了微小齿轮以及各种各样的异型孔加工实例,证实该设备具有较广泛的实用性.     

微细特种加工组合系统及应用

为了改善微细特种加工工艺,提出并研究了具有实体工具的微细特种加工的组合技术.对几种微细特种加工工艺进行分析,找出其共同特征.将微细电火花、微细超声、微细电解加工组合在同一系统中.采用了模块化设计,针对该系统研制了基本模块,配备了视频显微系统.用微细电火花工艺加工出直径5μm的微细轴和直径6μm的微细孔以及形状复杂的微结构,用倒置式电火花-超声复合工艺加工出深径比25的微细孔,用微细超声工艺加工出直径13μm的微细孔,用微细电解工艺加工出直径100μm的微细孔.这种组合扩大了微细特种加工的范围,提高了加工效率.     

微细电解加工及其复合加工技术

结合近几年微细电解加工技术的发展状况,阐述了常规微细电解加工技术、微细电火花电解复合加工技术、微细超声电解复合加工技术、微细激光电解复合加工技术等方面的最新研究进展,研究表明微细电解加工及其复合加工技术是实现难加工材料或具有复杂特殊结构微细金属零件的理想加工制造方法。     

伺服盘刻制设备中的基准时钟系统的设计

在磁盘存贮器中,磁头定位采用伺服盘定位是当今采用的最广泛的一种方法。磁头定位既然依赖于伺服盘,则在伺服盘上必须要有可供定位用的伺服磁道信息。它是一种特定的具有一定格式标准的磁记录信息。磁盘驱动器本身是无法形成这个信息的,它须依靠伺服盘刻制设备,把伺服磁道信息写入伺服盘面上。而在伺服盘刻制设备中,为刻制伺服图案于伺服盘面上,它必须有一个严格同步的、且物理位置极其精确的基准时钟信号。本文就是叙述如何通过基准盘来设计基准时钟系统的思想及实现过程。     

基于遗传算法的FMT伺服系统性能优化

建立了FMT伺服系统性能优化数学模型 ,构造了其基本遗传算法 ,用于求解该FMT伺服系统的参数Kf 和Tf 的最优解 ,得到了满意的优化结果 ,而且其稳定性和效率大大提高     

纳米管、纳米线电子器件的研制

介绍了利用微加工方法制做单根纳米管和纳米线电子器件的过程,实现了几百纳米电极间距的器件制做,为进行单根纳米线电子器件的电子输运测量提供了可能。     

FANUCαi系列进给伺服驱动系统典型故障诊断与维修

通过对FANUCαi系列进给伺服驱动系统的原理和特点的分析,结合进给驱动系统维修中的具体实例,分析了产生故障的原因、诊断思路、维修方法等。     

含界面裂纹的GFRP沥青混合料巴西盘断裂力学分析

为研究GFRP沥青混合料界面裂尖力学特性,对混合料进行强度分析,设计了含预制界面裂纹的双材料巴西盘试件,实测了加载角度在25°90°之间27个巴西盘试件断裂荷载、裂纹扩展路径和断口形式等试验数据,结合试验数据建立了考虑GFRP正交异性双材料巴西盘有限元模型,采用数值外插法反算了界面应力强度因子,进行了GFRP沥青混合料巴西盘断裂力学性能的理论分析和试验研究.结果表明,含预制界面裂纹的双材料巴西盘试件能全面地反映GFRP沥青混合料的断裂形态,是一种有效的试验方法;以界面应力强度因子作为力学评价指标,能够很好地解释试验现象;含预制界面裂纹的GFRP沥青混合料巴西盘符合椭圆强度准则.     

疲劳试验机电液伺服系统的研究

用阀控液压缸位置反馈电液伺服系统改装已有的WE-60型材料试验机，对系统进行了设计、研究及仿真，据其动态特性对系统进行校正，校正后系统的动态性能可以完全满足激光熔覆层抗冲击碰撞载荷的疲劳试验要求。     

移动介质引导平台研究

为解决裸机系统恢复中的移动介质引导问题,提出了一种基于WinPE的USB移动介质引导平台方案.该方案在USB介质引导扇区写入引导加载器,实现操作系统加载功能;对WinPE环境进行精简,提高移动介质引导的性能;增加通用驱动库和特殊硬件驱动,实现WinPE对广泛硬件平台的支持;最后通过实现定制工具（WinPEusb-maker）,实现USB引导介质的自动生成.实验结果表明该平台硬件兼容性好、启动速度快、使用方便、定制灵活.     

直驱电机多信号采集测试系统研究

直驱伺服电机因高精度、高速度的性能是目前机电设备替代传统传动驱动的重要元件,也是伺服驱动技术的发展方向.开发了应用于直驱电机的测试系统,调理电路为多路传感器提供电源、信号接入、调理并送至数据采集系统进行数据处理和记录.该调理电路可被力矩电机(伺服系统)和直线电机(伺服系统)试验台通用,具有不少于16路硬件通道,并可复用接入更多传感器信号.     

基于PLC和伺服控制的液压装缸机控制系统设计

详细阐述了位置伺服控制的原理以及伺服拧紧轴在装缸机中的应用.针对油缸装配过程中自动锁螺母工艺要求,设计了一种由PLC、伺服驱动器、伺服电机、轴控制器及拧紧轴构成的卧式装缸机控制系统.实践表明,该设备具有稳定的螺母锁紧功能,提高了装配效率和产品质量.     

Hypertext Technique and its Application to Engineering Data Management

ＨｙｐｅｒｔｅｘｔＴｅｃｈｎｉｑｕｅａｎｄｉｔｓＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｔｏＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＤａｔａＭａｎａｇｅｍｅｎｔＷＡＮＧＹａｎ；ＧＵＯＦｕｓｈｕｎ；ＬＩＬｉａｎｚｈｉ；ＷＥＩＬｉｎｇ（王岩）；（郭福顺）；（李莲治）；（魏玲）（Ｄｅｐｔ．ｏ...