共查询到20条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
2.
利用低温(8K)远红外吸收技术,研究了硅单晶中氮杂质对热施主及浅热施主形成的影响,指出氮原子有抑制硅中热施主形成的能力,而微氮硅中的浅热施主和氧-氮复合体直接相关。 相似文献
3.
研究了微氮硅单晶在600~900℃温区的新施主形成特性,发现氧、氮杂质对新施主有重要影响.明确提出含氮直拉硅中存在不同于传统新施主的以氮硅氧复合体为成核中心的新型氮关新施主NND,其热处理行为类似于普通新施主,但形成特性受氮杂质的较大影响.对其形成机制也作了初步探讨 相似文献
4.
5.
6.
7.
本文对含氮CZ硅单晶中的氧施主进行了探讨,测试样品是650℃下处理的含氮CZ硅单晶在700℃的温度下继续热处理。通过变温霍尔测试发现,材料中除了热施主外,还存在一种浅施主能级。这种浅施主在650℃下不能完全消除,700℃下继续处理浓度减少而引起电阻率上升。 相似文献
8.
9.
10.
研究了不同气氛(N2、O2、Ar)下高温快速热处理(RTP)对热施主形成和消除特性的影响.研究发现无论在何种气氛下进行高温RTP,对热施主的形成均无影响.扩展电阻的分析结果表明,热施主在硅片纵向的分布是均匀的.根据高温RTP后硅片的空位特征,认为点缺陷对热施主的形成特性无影响.同时研究了高温RTP预处理对热施主消除特性的影响,发现氧气和氩气高温RTP的样品其生成的热施主经过650℃退火即可消除,和普通的热施主消除特性相同.而N2气氛下高温RTP的样品,650℃退火后仍有部分施主存在,经950℃退火才能彻底消除,这可能是由于RTP处理中发生氮的内扩散,在后续热处理中形成氮氧复合体浅施主中心所致. 相似文献
11.
12.
利用光热电离光谱方法研究了氮气气氛下生长的含氮Si单晶中浅热施主的热退火行为.结果表明,氮气氛下生长的Si单晶,原生样品中就存在与N、O有关的浅热施主(STD).在450℃退火条件下,STD浓度最大;650℃退火后,部分STD消失;在900℃高温下作较长时间退火,由于氧的浓度降低,STD完全消失 相似文献
13.
本文对中子嬗变掺杂直拉硅(NTDCZSi)中辐照施主(ID)的退火行为和性质进行了研究,并探讨了不同中子辐照剂量和氧、碳含量对辐照施主形成的影响。首次报道了低于750℃热处理所产生的施主平台现象,并分别利用低温Hall测量和透射电镜对其进行了研究。结果表明,ID在禁带中产生~20meV的浅施主能级,其电活性起源于硅和二氧化硅沉淀的界面态。 相似文献
14.
15.
研究了不同气氛(N2 、O2 、Ar)下高温快速热处理(RTP)对热施主形成和消除特性的影响.研究发现无论在何种气氛下进行高温RTP ,对热施主的形成均无影响.扩展电阻的分析结果表明,热施主在硅片纵向的分布是均匀的.根据高温RTP后硅片的空位特征,认为点缺陷对热施主的形成特性无影响.同时研究了高温RTP预处理对热施主消除特性的影响,发现氧气和氩气高温RTP的样品其生成的热施主经过6 5 0℃退火即可消除,和普通的热施主消除特性相同.而N2 气氛下高温RTP的样品,6 5 0℃退火后仍有部分施主存在,经95 0℃退火才能彻底消除,这可能是由于RTP处理中发生氮的内扩散 相似文献
16.
17.
研究了不同含氮量的类金刚石薄膜(DLC:N)的导电性能,发现随着氮含量的增加,薄膜的电导率增加较缓,当氮含量达到一定值(12.8at%)后,薄膜电导率反而随氮含量的继续增加而下降。将薄膜在300℃下退火30min,结果表明低参氮的薄膜退火后导电性能有了较大的提高,而高掺氮的薄膜退火后电导率有所下降。Raman和XPS光谱研究表明,当薄膜中的氮含量达到一定值后,在薄膜中会出现非导电(a-CNx)的成分,因此高掺杂的类金刚石薄膜的电导率下降。FTIR光谱表明,充当施主杂质中心的氮原子在薄膜退火过程中存在被“激活”的现象,从而提高了电导率。因此氮对高掺杂和低掺杂薄膜导电性能的影响是不同的。 相似文献
18.
报道N型含氮直拉硅单晶的光热电离光谱(PTIS)除观察到P的谱线系列外,还观察到三个与氮、氧有关的复合型浅施主中心D(N-O)的谱线系,首次报道了它们3p_±以上的谱线位置,并精确测定了其电离能为36.16meV、36.41meV和37.37meV。变温分析表明,它们不是源于同一化学中心的基态分裂,而是独立的复合施主中心。 相似文献
19.
本文研究了介电常数失配对CdTe/ZnTe应变量子阱中浅施主杂质结合能的影响.在有效质量近似下,利用变分方法计算了阱宽、杂质位置及应变对结合能的影响,得到了介电失配使结合能减小的结论 相似文献
20.
在0.3-4.2K温度范围,测量了n-Hg1-xCdxTe(x=0.195)在磁量子极限后的横向磁阻,纵向磁阻和霍尔系数,观察到了磁致金属-绝缘体相变和相变发生前的霍尔系数下凹“Hqalldip”。基于电子在浅施主杂质上磁冻结的模型,讨论了磁致金属-绝缘体相变的机理及其温度效应和“Halldip”的起因。 相似文献