基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨

为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法.首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核.其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法.最后,使用自行研制且经过溯源的线距标准样片对扫描电镜在100K倍下的示值误差进行了校准实验,结果表明:自行研制样片的指标可以达到校准电镜的要求,被校电镜的示值误差在2％的范围以内,校准方法有效.     

电子束在超大规模集成电路测试中的应用

近十年来,扫描电镜(SEM)一直用在复杂集成电路的失效分析这个毫无疑义的质量控制中。但这些应用大多是作金属布线的连续生、线宽、金属膜厚度和结深的半定量测试,以及电压对比法和电子束射感应电导率(EBIC)的定性测量或桥接线的观察等。由于复杂集成电路的图形尺寸正在缩小,为了得到比     

PMT光子计数系统光电特性反常效应的实验观测与研究

光子计数技术是目前微光检测中最有力的实验手段,因而在分子物理学、光生物学、微光Raman光谱学、非线性光学及天光测光、大气测污等领域中得到了广泛的应用。近年来,光子计数技术还在PMT单光电子脉冲响应宽度的测定,光谱仪器杂散光的测试以及扫描电镜SE信号的检测等方面,越来越显示出其它光电检测技术所无法比拟的优越性。     

扫描电镜立体图象对特征点匹配算法

本文研究了在扫描电镜中基于双目成象原理获取立体图象对以计算断口号表面三维参数的过程中，立体对图象的对应特征点的匹配问题，提出了基于不变矩度量的扫描电镜立体对图象的对应特征点模板匹配算法，经实际匹配验证，结果令人满意。     

低质量扫描电镜图像增强设计及实现

扫描电镜是研究微观结构的一种常用的科研手段,但由于荷电效应、边缘效应、样品损伤等原因,易生成低质量的电镜图像,从而影响对样品的分析。总结了低质量图像的规律,针对扫描电镜图像的特点设计了适合的增强算法,提高了图像的质量,并进一步设计了勾勒样品边缘的方法,拓展了电镜图像分析功能。基于SoPC技术的嵌入式平台,实现了整个电镜图像处理流程。DEII开发板实验表明,提出的方法可有效提高低质量电镜图片的质量,给科研工作者提供了一种更准确、轻松的从扫描电镜图像中获取所需信息的途径。     

并联式四自由度定位平台性能优化

为了扩展扫描电镜的用途,实现微结构物性在线检测,本文基于4 PUU并联机构设计了一种扫描电镜定位平台．其结构简单,便于集成微操作装置．为优化平台机构的性能,本文建立了4 PUU机构的空间尺寸模型,绘制了机构性能图谱,分析了机构参数对机构可达工作空间、灵巧性、速度性能的影响,得到了具有良好性能的平台机构参数．     

聚苯胺纳米线／聚丙烯酸层层组装及其电化学传感性能研究

该文通过层层组装技术实现了聚苯胺纳米线(PANI)与聚丙烯酸fPAA)可控固载,组装过程通过紫外可见光谱(UV-vis),扫描电镜(SEM)以及电化学方法进行了表征.实验表明,纳米结构的PANI和P从的多层复合膜性质稳定,PAA能够掺杂在纳米结构的PANI中并能有效的使其在中性pH条件下保持电化学活性.并且对过氧化氢(H2O2)有着非常好的电催化活性.     

进口塑封集成电路键合点分层现象的识别

军用电子设备中进口塑封集成电路得到普遍的使用.但因为采购渠道的限制使生产的产品质量时好时坏,参差不齐,那么甄别其质量的好坏在产品使用过程中很重要.在进行破坏性物理分析时可以通过X射线、金相、扫描电镜光学扫描电镜(SEM)分析表明,在销轴上有一层连接点,分为上、下两层.此外,我们还分别用电子能谱分析了键合点和键合丝的组成...     

纳米二氧化硅的制备及表征

纳米二氧化硅具有奇异的物理、化学特性,它在生命科学与环境科学等领域有着广泛的应用.以水玻璃为原料,采用微乳液法和正丁醇共沸蒸馏法制备纳米级二氧化硅粉体.并通过扫描电镜、红外光谱分析,X射线衍射等手段对制备的纳米二氧化硅进行了表征.表征结果显示:制备的二氧化硅用扫描电镜观察,形态为近似球形,单体颗粒的粒径在几十纳米左右;X射线衍射图显示制备的纳米二氧化硅为无定形纳米二氧化硅.     

HEC/PVDF作为光纤湿度传感器感湿材料性能研究

制作了一种基于以聚偏氟乙烯(PVDF)/羟乙基纤维素(HEC)共混物为感湿材料的折光率变化型光纤湿度传感器.对共混物感湿膜的膜厚度、皮层长度以及共混物的配比进行了考察,并用扫描电镜(SEM)对感湿膜进行了表征.结果表明:用PVDF和HEC共混物合成的感湿膜具有抗人为涂层误差、常温下无需温度补偿等优点;材料PVDF:HEC为1:2制备的感湿膜性能最优,具有宽检测范围和高灵敏度.     

表面激元共振传感器的发展及应用

结构分析测试技术多种多样, 但经典方法很大程度上是静态的, 只能在某个固定的时间 产生关于相互作用过程的瞬时情况& 原子力电镜及隧道扫描电镜虽然在分子水平上原位观 察分子结合的形貌, 但不能做较长时间的测量, 也不能直接给出有关反应动力学过程的参 数& ? () 及? + ) 虽然能够较灵敏地给出有关固体表面的元素的价态以及成分分析, 但在直 接反应分子结合动力学过程方面也是较为困难的, 且往往要求在高真空的条件下操作并不 有利&     

中国微米纳米----氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究

喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点.利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO2多孔薄膜.根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250 ℃时,打印的SnO2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10-6,响应和恢复时间均在3 s左右.     

聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM瓦斯气体传感器*

在10℃条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟(PANi/In2O3)复合薄膜,并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平(QCM)制备了PANi/In2O3气体传感器,常温下研究了其对瓦斯中主要成分CH4和CO气体以及常见干扰气体NH3的敏感特性。结果表明,PANi/In2O3复合薄膜对CH4和CO均呈现出较好的线性敏感性能,而对NH3则表现为非线性。     

聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM气体传感器

在10℃条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟(PANi/In2O3)复合薄膜,并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平(QCM)制备了PANi/In2O3气体传感器,常温下研究了它对瓦斯中主要成分CH4和CO气体以及常见干扰气体NH3的敏感特性。结果表明,PANi/In2O3复合薄膜对CH4和CO均呈现出较好的线性敏感性能,而对NH3则表现为非线性。     

我国山楂属一些主要种花粉形态的研究

本文研究了分布在我国的山楂属8种3变种的花粉形态。每种都进行了光学显微镜和扫描电镜的观察和照相;试图在此基础上对山楂分类提供一些参考资料。     

扫描电镜的模糊--非线性积分控制

本文提出了一种模糊──非线性积分调节器,采用具有38．1°相位滞后的非线性积分器,以提高系统的瞬态响应性能,消除稳态误差。并将它用于扫描电镜的控制问题。仿真结果表明,这一方法得到了较好的效果。     

扫描电镜表面电位电信号引出器

本文介绍的扫描电镜表面电位信号引出器可以代替计算机，以模拟减法将表面是民位信号引出，引出器的分辨率为６ｍＶ，可提供的测量范围为６ｍＶ－８Ｖ。     

扫描电镜的计算机解耦控制设计

本文设计了以8098单片机为核心的数字控制系统，实现了扫描电镜的解耦控制；并进一步设计了串联非对消解耦控制器和状态反馈即极点配置解耦控制器。本系统具有实际参考价值。     

新型缓控释肥料的研制及其缓控释性能研究

以水性聚氨酯和水性丙烯酸的不同浓度配比溶液为包膜材料,添加粘结剂,采用流化床包涂的方法制备了新型缓控释肥料.用扫描电镜研究了包膜肥料的截面形貌.用水浸泡法、土壤淋溶法研究了包膜肥料的释放特性.     

扫措电镜的模糊—非线性积分控制

本文提出了一种模糊－非线性积分调节器,采用具有38．1°相位不事后的非线性积分器,以提高系统的瞬态响应性能,消除稳态误差,并将它用于扫描电镜的控制问题,仿真结果表明,这一方法得到了较好的效是要。