微光机电系统及其应用

微光机电系统（MOEMS）是在微机电系统（MEMS）基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。     

微光机电系统的应用领域及近期进展

对微光机电系统（MOEMS）兴趣的惊人增长吸引了包括众多戌中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇，如光通信（光开关，交叉连接矩阵，DWDM系统等）、数字图像处理、自适应光学以及工业维护、环保、生物医疗等等。本文简述MEMS（微机电系统）和MOEMS的概念后，着重介绍MOEMS的应用领域和几种典型器件。采用MEMS工艺技术制备出诸如DWDM通信系统用的可调谐F－P干涉仪或用于障碍物探测的二维扫描器等器件。已开发出多种专用技术，制备成功应用于障碍物检测的二氧化硅一维扫描器件。另外，一些器件是微机械与集成光学相结合的MOEMS：例如通信系统中作为网络保护和重组应用的微光开关，用作电动机转动机械部件检测的微振动传感器等。     

MEMS/MOEMS在光通信中的应用

微机电系统（MEMS）在光学领域中的应用是其最重要的应用之一，其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能，还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求。本文以MEMS光开关等为例，讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势。     

微光机电系统国内外研究进展

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距,还需多方面的努力。     

用于光波网络的微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)

硅微型机械是个新兴领域，它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中，如化学，汽车，细胞和光通讯工业，硅微型机械正成为许多问题解答的选择，本文介绍什么是微机电系统，它们如何制造以及它们对光波网络系统革命有怎样的潜力，正如光开关，可变吸收体，主动平均器，加/减多路传输器，光交叉互连，增益倾斜平衡器，数据传送器和许多其他元件，正开始在先进光波系统中寻找无所不在的应用，本文将给出这些器件的例子，并描述这种技术可能有数十亿美元市场中所面临的一些挑战。     

基于微光机电系统的微感知技术

微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一.由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景.首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战.通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议.     

微机械光学器件

微机械光学器件是利用MEMS技术制作的光学元件及器件，目前制备出的微光学器件主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等。     

国内微型器件装配技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)以飞快的速度发展成为一个集微型机械、微传感器、微能源、微致动器、微控制器、微执行器、信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域。微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展，吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究。本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响，然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果，最后阐述了微装配系统的发展趋势。     

中国光通信产业发展现状

２０世纪正迈入光子时代,目前应用最多的是光通信。专题首先从光通信入手,介绍了我国的光电产业及光电器件的发展状况,之后从实用角度介绍了维护光器件的一些经验,举例介绍了光纤模块的布局规则。接下来,放远眼光介绍了正在兴起的微光机电系统,晨曦微露的光计算机技术。     

用于光网络的MEMS技术

互联网的爆炸式发展使得对宽带通信的需求急剧增加，这种需求只能通过光网络来满足，因此导致人们对光学微机电系统产生了空前的研究兴趣。从光纤光学研究的早期开始，人们就已经意识到微光学是MEMS的一个具有广阔应用的领域。在光网络中应用中，包括光开光、可变衰减器、可调激光器和其他器件，以MEMS为基础的产品具有明显的价格和性能上的优势。本综述了用于光网络的几种类型的MEMS技术。     

微光机电系统

<正>微光机电系统(MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术,制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。     

微机械电子学在传感器方面的应用

微机械和光器件集成的新的技术领域,叫做光微动力学.它的目的是利用光的非接触和遥控操作功能为微机械提供新的光传感器和光驱动机械.具体的有用光的热作用起振的微小振子,用光的直接力作用(光压)的微动控制技术等方案.传统的光(激光)是光通信、光存储、光信息处理、光计测等,主要是利用空间控制和时间控制的观点来应用.这里是以微领域为对象的,利用光具有的能量.     

航空航天Mems传感器应用及其发展现状

前言微机电系统(microelectro-mechanicalsystems,Mems)是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统.微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格...     

微光机电系统技术的研究与应用(下)

二光学研究和应用 　　微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子,它主要用于光学测量和实验.传统的光学系统平台体积大,系统中的元件是先分开制造然后组装而成,装配量很大,成本很高.而微光学平台体积小,系统中的元件可集成加工在单一芯片上,对准精度高,可成批生产,成本低.这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势.所以,该方面的研究是微光机电系统研究的最基本部分.研究包括各种微铰链(图7(a))、微反射镜(图7(b))、微衍射透镜(Fresnel,多阶二元微透镜(图7(c))、微折射透镜(图7(d))、光束分离器和光栅等.图8所示为美国加州大学洛杉矶分校提出的微光学平台样机.该微光学平台由微透镜、分束器、反射镜和光栅等元件通过铰链组装技术集成在一个芯片上. 　　……     

微机电系统关键技术及其研究进展

微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.     

微光机电系统技术在光通信中的应用

微光机电系统(MOMES)的横空出世,似有席卷光通信设备之势,而今却多了些许惆怅。它到底将走向何方,如何才能更好地稳步发展,MOMES在光通信领域的应用及其最新进展,两篇文章将带您寻找答案。     

微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景

微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械，微光学，微声学，微流体技术，微反应技术等领域的微型化和集成化问题，其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来，微技术已尼形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场，预计未若干年仍会高速增长，由于人们对医疗保健，信息，可移动性和可持续发展的渴望，刺激了对微技术产品的需求，一些高技术生产工艺和材料应运而生，而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器模拟器件功能，生产工艺和综合优化过程中的软件显得到关重要。此外，微器件的应用正在扩展至信息，自动化和医学技术领域，同时也为未来由微小型化在化学工程，生命科学，工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。     

硅基微型系统的应用

简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械，电沉积和键合技术。给出了许多躲开系统设计，生产和应用的实例，并对以下微型系统２分别进行了详细介绍：（１）小型化化学分析系统；（２）空间研究用的微型仪器；（３）小型流体控制系统；（４）扫描探针系统；（５）静电和超声波微电机；（６）躲开光－机械系统。     

基于硅结构的微流体控制系统

基于硅结构的微流体控制系统（μFCS）是微机电系统（MEMS）中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。     

微机械加工及其在光器件方面的应用

近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述.