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精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法 总被引:1,自引:0,他引:1
气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构.为了消除气体微振动对精密测量的影响,提出了气浮工作台区分两种工作模式:运动模式和测量模式.在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上,提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法,实现其运动模式和测量模式的平稳过渡.气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250 nm,排气过程中的偏移不大于200 nm,且经历时间在0.3 S左右.该方法的提出提高了气浮工作台的性能,使之成为测量系统中优良的大范围位移系统. 相似文献
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《IEEE transactions on instrumentation and measurement》1968,17(4):308-313
The Hewlett-Packard computer-controlled network analyzer performs fully automatic rapid characterizations of passive and active networks through their scattering parameters. It is extremely flexible in both measurement capability and presentation results, and provides standards laboratory accuracy. System operation is discussed, and in particular, the sources of error involved in making such measurements are dealt with: imperfect standards used for calibration, instrumentation, and signal source accuracy and repeatability errors. Total system accuracies and some measurement results are given. 相似文献
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根据国内外高精度图象测量系统方法的文献资料,对各种细分方法的优缺点、适用范围作了详细的比较对照.在此基础上,提出一种适用于实际离线对准系统的细分方法一自适应权重5点拟合细分算法(AWS),分析其理论基础和创新点,并给出仿真结果。 相似文献
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