美国真空技术代表团来沈技术交流介绍(下)

美国真空设备制造商贸易代表团第二批四家公司,有ALCA-TEL真空产品公司、CTI空气产品与化学公司、 MILL LANE技术公司、MKS公司于一九八二年六月十三日至十五日在沈阳进行了真空技术交流活动。 交流的重点为旋片真空泵、罗茨真空泵、高真空和超高真空金属油扩散泵、低温泵及其应用、真空阀门、真空镀膜机、真空──压力──流量测量与控制仪器、真空技术标准化和检测技术等。 交流期间还参观了沈阳真空所和中国科学院沈阳五0七厂。 一、各公司概况 ALCATEL真空产品公司建于一九七六年,共有职员一万九千五百余名,下设六十五个公…     

《真空技术》丛书开始编写

以全国政协副主席宋健院士为名誉主任委员、达道安研究员为主编、兰州物理研究所所长邱家稳研究员和东北大学杨乃恒教授为副主编编著的《真空技术》丛书已开始编写。全书共分十五册,依次为真空技术的基础、真空泵、真空计量学、真空材料、真空装置、超高真空、真空检漏技术、真空蒸馏、真空干燥、真空镀膜、真空冶金、真空工业、空间真空科学、空间环境学、真空技术常用数据表等,全书预计500万字左右。由北京国防工业出版社负责出版,预计2006年陆续发行。丛书将突出近代技术进步,在全面、历史、系统地综合真空科学技术发展的基础上,着重实用…     

从第八届国际真空会议看真空获得设备发展动态

最近比较详细的看了一下第八届国际真空会议论文集有关真空获得的文章,在这里概括的谈一下真空获得设备的发展动态。同时兼读一点国内真空获得设备的发展情况和个人的一些粗浅看法。 回顾一下第六届、第七届国际真空会议的情况,当时真空获得的文章发表的很少,给人一停止不前的感觉。而这次会议一反往常发表了许多有关真空获得方面的文章。这说明真空技术又有了新的发展,真空获得设备又出现了新动态,给人以复苏的印象。究其原因不外乎两点,第一在表面科学、真空镀膜、超大规模集成电路等真空技术应用方面有了长足的发展,要求有关的各种真空泵…     

书讯

《真空技术》一书出版发行由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计,包括:稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、容积式真空泵、动量式真空泵、气体捕集式真空泵的工作原理、结构特点和设计方法、真空测量仪器仪表的原理和使用,真空检漏方法、真空系统的组成、真空系统元件、真空密封,真空材…     

国际干式真空泵讲习会在沈阳召开

中科院沈阳科学仪器研制中心与日本真空机工株式会社于 2 0 0 0年 5月 2 4日在沈阳成功的举办了国际干式真空泵讲习会。中科院沈阳金属所、近代物理所、中国科技大学、东北大学、北京大学、电子部 4 7所、沈阳真空技术研究所、沈阳真空设备厂、沈阳蓝菱真空设备制造公司等国内知名真空技术专家 50余人出席了这次讲习会。会上中科院沈阳科学仪器研制中心张振厚总工程师介绍了国内干式真空泵的研制及未来发展前景 ,日本真空机工株式会社技术部部长川崎先生详细介绍了涡旋干式真空泵的工作原理、结构及在日本半导体等行业的应用情况 ,并在薄膜…     

《真空技术》一书出版发行

由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著,杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字,分15章,系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计,包括:稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、容积式真空泵、动量式真空泵、气体捕集式真空泵的工作原理、结构特点和设计方法、真空测量仪器仪表的原理和使用,真空检漏方法、真空系统的组成、真空系统元件、真空密封,真空材料和真空卫生等内容。     

超高真空技术

超高真空技术的研究和它在应用方面的研究在真空技术的全部范围内所占的比重年年增加,这点各位读者是知道的。回顾,在10年前的1953年,D.Alpert在应用物理的杂志上发表了“超高真空”的获得和测量的全部情况,当时我国的真空技术工作者似乎还末注意到。可是作者当时虽然正在研究镀膜,但是,深感这方面的研究对超高真空技术是不可少的,必须尽快设法把这个技术建立起来,进行种种利用以作为表面研究的手段。近十年来国内外对这方面的技术,从物理、表面化学、等离子和宇宙探索等方面引起了注意,作为技术基础进行研究,并且在工业方面也制出起高真空…     

真空获得技术的现状与未来

真空技术作为一门应用性和边缘性的学科,其现状和未来发展是与其它学科的现状和发展密切相关的。随着应用面的不断扩大,真空技术也必须同时得到发展,真空获得技术尤其是如此。就真空技术本身而言,其主要范围仅仅包括:各种类型的真空泵、用于全压强和分压强测量的各种类型的真空计和质谱计及其校准问题、真空系统及其组成材科和元件、真空工艺和检漏技术等。当然,在涉及这些方面的同时,其理论基础是必须包括在内的。上述这     

“超高真空的物理基础”一书简介

由 P.A.Redhead、J.P.Hobson和E.V. Kornelsen三人合写的“The PhysicalBas-isofUltrahighVacuum” (“超高真空的物理基础”)一书,是关于超高真空基础理论的一本好书。 超高真空技术是发展高能物理、空间技术、表面科学、薄膜工艺、电子器件等科学技术的必不可少的手段。因此,自六十年代 起,为了适应上述这些科学技术的发展,超 高真空技术和理论也取得了迅速的发展。为 了进一步发展超高真空技术,必须对超高真 空的基础理论作深入的、系统的研究。为 此,作者结合自己的研究成果,综述有关超高真空基础理论方面的文献,写成了本书。 本…     

开拓超高真空的世界（四）：支撑高技术的基础

七、超高真空(一) 清洁真空的获得清洁真空与超高真空技术本章将要介绍清洁真空的获得问题,它与镀膜技术略有偏离。在超大规模集成电路制作中所要求的镀膜技术必然是生长清洁的薄膜,其不可缺少的条件是清洁真空的获得。清洁真空的获得离不开超高真空技术。清洁真空为什么是必要的?迄今为止,只是偶而提及,下面重新加以说明。无论是真空蒸发还是真空溅射,在基底上每平方厘米的面积上,每秒总有10~(15)个原子堆     

开拓超高真空的世界（五）：支撑高技术的基础

九、不断发展的等离子体离子束应用技术现代半导体工厂第六章介绍了等离子加工中的溅射镀膜技术。第七、第八章介绍了作为清洁真空的基础的超高真空技术,并以表面科学和分子束外延为例说明了超高真空技术的应用。超高真空技术不仅仅是高技术,而且也是不断应用于实际的技术。这一章将介绍半导体工厂的超大规模集成电路生产中使用的硅片刻蚀工艺。超大规模集成电路的制造工序十分复杂,往往需要反复使用多种半导体制造装置才能完     

新版《真空设计手册》（第3版）预购通告

由兰州物理研究所达道安研究员任主编,邱家稳所长任副主编,崔遂先、谈治信为技术编辑的新版《真空设计手册》(第3版)将由北京国防工业出版社于2 0 0 4年6月份出版。第3版是在手册第1、2版的基础上,经修改并增添大量新内容的最新版本。全书共16章,主要内容包括:真空技术基础、真空理论、管道流导计算、真空泵、真空密封、真空测量、真空检漏、真空材料、真空工艺、真空装置、极高真空技术等,其中极高真空技术、真空装置自动控制、航天器用材料质量损失、干式真空泵都是新增内容。附录中提供了大量的技术数据和真空标准目录及主要真空厂、所简…     

我国真空工业的现状与发展

本文论述了我国真空泵生产技术方面的最新进展，并指出了我国真空泵在产品品种和综合性能质量与国外先进水平相比存在的差距。本文还介绍了我国真空技术在国民经济领域中的应用，并提出了我国真空工业今后的发展方向。     

真空技术应用展览会已胜利闭幕

机械工业部在北京举办的真空技术应用展览会,于1983年10月15日开幕。全国各地前来参观、洽商订货、技术交谈的工程技术人员和领导干部,每天超过1000人次。这次参加展出的单位有来自七个省市、机械工业部所属的十六个真空设备厂和沈阳真空技术研究所。各单位展出了近年设计投产的部分产品共238台(件),包括各种真空泵,真空测量仪表,真空镀膜、真空包装、离子束刻蚀、薄膜涂布设备以及罐头封口机、桃子切半挖核机、真空干燥机、混凝土真空脱水机、真空灌装机、制镜机、辉光离子氮化炉、真空治疗机等。有些大型应用设备,如镀膜机、罐头封口机还进行了现场操作表演,更引起了参观者的     

如何经济地使用真空技术

真空技术必须考虑节能、环保和状态监控 众所周知，真空度越高配套设备的价格也就越高。为了能够控制真空技术的运行费用，除了使用非常合适的真空泵之外还需要使用转速可调的真空泵驱动装置，并定期进行真空审计。     

超高真空的获得—泵与抽气系统

在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是：从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵－离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是     

超高真空镀膜机用低温真空泵的设计考虑

低温抽气作为获得超高、洁净真空的手段已众所周知,但只有在一个独立的封闭循环中不用灌液氦就获得深冷的问题解决之后,低温真空泵才在真空技术的广泛领域内使用。在国外将小型深冷致冷机冷却的低温真空系应用于镀膜工艺的试验及商品化已有报导,而我国有关这方面的工作最近才有     

Φ45和Φ50直角式超高真空阀简介

在毛主席的“独立自主、自力更生”方针指引下,我国的电子工业、国防工业、科学技术等方面都有了迅猛异常的发展。为此,超高真空技术也得到了广泛应用。我国电子工业近两年来,对超高真空专用设备的需要越来越迫切,很多兄弟单位都在进行超高真空设备的研制,如超高真空镀膜和排气,以及科研方面所需的超高真空系统等等。在这些排气系统中都需要一套可以烘烤除气的截止阀。七零年在试制超高真空离子泵(包括冷阴极和热阴极)和去年试制超高真空离子泵排气台时,我们对φ45和φ50直角式超高真空间作了初步研制。实践证明这种阀,用铝垫密封,能在200℃…     

工业真空的展望

1.前言 真空技术并不是追求“真正空虚状态”的技术。 所谓真空是什么呢?就目前工业意义而言,世界范围内广泛承认的真空定义如日本工业标准 JISZ 8126(真空术语)所述: “在低于一个大气压的压力下气体充满特定空间的状态”。 因此,所谓真空技术就是能够实现和利用在一个大气压以下产生各种现象的各种技术。 于是,我们的视野便从真空泵、测量仪器、真空容器这种狭义的真空技术向以诸多工艺为中心的广义真空技术扩展。在如何获得高真空方面,置于重点的真空技术至今仍是不够的。例如,最近在处理电子、离子、等离子等带电粒子较多的真空系统中…     

真空容器的制造与清洗技术

一、前言在超高真空条件下进行实验时,需要具备能够获得超高真空的设备。这类设备既可以订购,也可以自己加工制作。无论如何,最重要的是要熟悉制造过程,掌握超高真空技术这种尖端科学技术知识。真空容器的制造技术已不神秘,问题在于如何对容器表面进行加工以及减少出气量。即必须在容器的表面加工和表面清洗上狠下功夫。