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分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据. 相似文献
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化学气相淀积是在微电子、光纤通讯、超导等新技术领域里广泛用于制备各种具有特殊性能的薄膜的工艺过程。该过程的机理和气固相催化反应十分相似。本文以该过程在微电子器件生产中的应用为背景,概述了化学气相淀积的优点,分析了化学气相淀积反应器中传递过程和化学反应的相互关系,介绍了运用数学模型方法研究化学气相淀积反应器的进展。 相似文献
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建立了冷壁化学气相淀积反应器的数学模型,用Galerkin有限元方法对模型予以求解.计算中考虑了温度对物性参数的影响及自然对流因素,计算值和实验结果基本上一致. 相似文献
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化学气相淀积反应器中成核与成膜控制 总被引:5,自引:1,他引:4
基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对钛酸丁酯高温裂解过程中成核与成膜的影响.用成核与成膜竞争判据——H准数,研究了CVD反应器中成核与成膜的控制策略. 相似文献
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重点陈述近年来固体催化剂制备的新趋势、新方法和新进展,包括纳米技术、微乳化技术、气相淀积和膜催化剂;简要阐述固体催化剂在组成和使用性能研究方面的新进展、新趋势;介绍分子筛催化剂开发和应用的一新进展. 相似文献
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<正> 对于应用气相淀积方法来制备半导体光电材料的技术,以往我们并没有认识到它与化学反应工程学科的关系。但是近年来对两者间联系日益得到了注意。事实证明,用化学反应工程的基本原理来指导光电材料的制备特别是大规模的工业生产,已取得了可喜 相似文献
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无机微粉合成技术进展 总被引:1,自引:0,他引:1
评述了亚微粉和超微粉(SFP)的合成技术进展。简介了我国开发的配合共沉淀和沉淀氧化工艺,合成SFP Fe_2O_4和α'-FeOOH,用于磁性流体和磁记录介质;等离子气相淀积工艺(PCVD),合成SFP'α-Fe_2O_3,用作气敏材料。 相似文献
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本文论述了AIN陶瓷粉末的三种典型制备方法—铝粉氮化法、还原氨化法和化学气相淀积法,总结了AIN粉末的生成机理以及影响AIN粉末质量的主要因素,理论分析了AIN粉末制备过程中的有关实验现象.评述了AIN粉末制备方法的优缺点,给出了大量工艺参数. 相似文献
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本文报导了以钛酸丁酯[Ti(OC_4H_9)_4]为反应源物质,采用化学气相淀积技术制备粒径大小为50~130 nm的TiO_2超细粒子,考察了反应参数对生成粒子性能的影响规律,以及后处理温度、时间对粒子粒径的影响,并提出了TiO_2粒子的生成机理。 相似文献
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继续以前亚麻仁油—马来酸树脂的电极淀积研究,现叙述紫胶从水体系的淀积。在异戊醇和胺的帮助作用下,紫胶溶解和分散。已得出结论:以适当溶解和分散的紫胶水溶液体系,在软钢上制成粘附的淀积物是可能的。电压高于临界值,通过电流时,紫胶分散体系产生热效应而受热。已经发现;加入0.2—0.5%巯基苯并噻唑,可以克服在电压高于临界值时溶液的热效应。 相似文献
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五氯酚钠在黄土性土壤中的吸附与解吸 总被引:2,自引:0,他引:2
采用静态与动态两种方法,探究了淀积层黄土中五氯酚钠(PCP-Na)的吸附和解吸特性。结果表明,PCP-Na在淀积层黄土中的静态吸附平衡时间为2.5 h,吸附速率为21.4 mg/(kg·h),吸附量为53.6 mg/kg。pH 4~7,对淀积层黄土中PCP-Na的吸附有影响,但影响不大;氯化钠浓度0~0.4 mol/L,PCP-Na的吸附量与离子强度呈正比。在实验温度下,吸附等温线均为L-型。淀积层黄土中PCP-Na的动态吸附结果表明,当流出液体积大于750 mL时,PCP-Na在土柱内的吸附达到饱和;吸附饱和的土柱放置2 h以后,用蒸馏水解吸,当解吸液流出体积超过800 mL时,流出液中几乎无PCP-Na。由此可见,淀积层黄土对水溶性PCP-Na的滞留能力较差,PCP-Na可轻易穿过黄土,对地下水造成不可避免地污染。 相似文献
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苯酐生产中固定床反应器模型的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
固定床气相反应器是苯酐生产中的主要设备,通过对比苯酐生产中不同固定床气相反应器操作法的优缺点,选择了低空气比率法作为固定床气相反应器研究对象。引入苯酐固定床气相反应器的反应动力学模型、转化率及温度分布模型、固定床反应器传热系数模型,并通过计算机对数学模型进行模拟计算得到数据,绘图得到相关曲线。通过对曲线进行分析,得出了与实际数据相符合的结论,该模型的建立不但可以优化固定床气相反应器的设计、生产,而且对苯酐生产中固定床气相反应器控制起到了指导作用。 相似文献