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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
刘月明  田维坚  刘君华 《半导体光电》2003,24(6):389-391,414
采用电热激励、压电拾取方法对硅微机械悬臂梁的谐振性能进行了实验研究。成功实现了对硅微悬臂梁谐振器前三阶振型的实验测试。电热激励利用在硅微机械悬臂梁表面优化设计的热激励电阻加以实现。为拾取硅微悬臂梁的微弱谐振信号,在硅微悬臂梁表面优化设计并制作了压敏电阻全桥,利用压敏电阻的压电效应实现对谐振微弱信号的拾取。  相似文献   

2.
本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器,其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热作用下产生谐振,被测物理参数使谐振频率发生改变.文中给出了用单晶硅制作桥型微谐振器的方法,研究了微型谐振器在光激励下产生振动的机理.  相似文献   

3.
分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ,验证了谐振频率计算模型的正确性。  相似文献   

4.
本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器,其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热艇下产生谐振,被测物理参数使谐振频率发生改变,文中给出了用单晶硅制作桥型微谐振器的方法,研究了微型谐振器在光激励下产生振动的机理。  相似文献   

5.
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作。模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等。  相似文献   

6.
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作。模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等。  相似文献   

7.
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作.模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等.  相似文献   

8.
李炳乾 《半导体光电》2005,26(2):105-107
设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程,并制作了器件样品.对真空中器件的幅频特性进行了实验研究,研究结果表明,在粗真空范围内,保持激励功率不变的情况下,微悬臂梁的振幅、谐振频率与真空度之间具有明显的依赖关系,可以用来设计、制作MEMS粗真空谐振式传感器.  相似文献   

9.
提出一种以电阻发热实现梁激励的单梁硅基谐振型压力传感器结构。利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术的研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出热激励硅基谐振型压力传感器样品。该器件在常压下测试,其品质因子Q值达到1362.5,证实了该谐振型压力传感器结构是可行的。这为研制硅基谐振型压力传感器提供了一种新的方法。  相似文献   

10.
现阶段,硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器,在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果,对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述,分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构,对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析,希望能够增加对硅微机械谐振压力传感器技术的了解。  相似文献   

11.
为了提高储能电站分布式能源输出控制能力,需要进行储能电站分布式能源孤岛检测,提出基于主被动结合的储能电站分布式能源孤岛检测方法。首先分析储能电站的实时负荷优化分配模型,采用配电增益调度的方法,进行储能电站的实时负荷预测,利用储能电站的能量负载实时调度的方法进行输出转换控制。然后根据储能电站群的总负荷进行储能电站分布式能源信息评估,采用主被动结合的方法进行储能电站分布式均衡控制,最后通过电站三层负荷开销进行输出负载调节,实现储能电站分布式调节和总发电负荷指令控制,实现储能电站分布式能源孤岛检测。  相似文献   

12.
郭杰  姚彦鑫 《电讯技术》2017,57(8):861-968
在能量采集型无线传感器网络中,虽然有能量吸收,但是因能量依然非常珍贵,如何优化路由协议,提高能量利用率,延长网络寿命仍然是值得研究的问题.为求解高能效的路由,提出了一种采用遗传算法的高能效路由算法,建立考虑节点的吸收能量、剩余能量、消耗能量和浪费能量的适应函数,用遗传算法寻找全局最优路径.将该适应函数与3种其他适应函数作对比,其他3种适应函数分别为只考虑路径能耗最小的适应函数,考虑路径能耗与路径上节点的吸收能量、剩余能量的适应函数以及考虑路径能耗与网络中所有节点的浪费能量的适应函数.采用遗传算法解出4种路由,通过仿真分析可知,所提出的路由算法能量利用效率最高.  相似文献   

13.
公共建筑成为建筑中的用能大户,其空调系统高能耗问题逐渐突出。通过对商场、宾馆、办公楼和综合性建筑等类型的公共建筑的能耗调研,对公共建筑空调系统能耗状况及空调系统运行管理的现状进行分析。认为公共建筑集中空调系统用能水平和运行管理水平较低是空调系统能耗在建筑运行过程中高能耗的原因,合理的采暖空调能耗管理制度是公共建筑节能的关键环节。  相似文献   

14.
针对配备太阳能采集设备的无线传感器网络节点,以如何合理使用采集到的能量使得时间期限内点对点传输的数据量最大为优化目的,结合必要的约束条件(能量获取电池只有有限的能量存储能力以及能量因果关系),建立了数据传输的能量通道优化模型,通过能量通道策略优化算法得到了最优传输功率策略。与当前普遍使用的能量即到即用方法进行了性能对比,仿真发现系统累积传输了更多的数据量,性能提升明显。在此基础上,考虑了实际太阳能获取量与预测值的偏差,提出了改进的能量通道算法,使得其更加适应于实际场景中。  相似文献   

15.
After the Fukushima disaster, European politicians began to reassess the energy strategy for their countries. The focus is now on renewable energy sources and as a result on decentralization. The decentralized generation, storage, and of course the consumption of energy is the central point. Now with the new developments under the roof of energy turnaround the way back from the centralized architecture of our energy system to a more decentralized one is predetermined. Decentralization implies the change in the role of today's consumers. They become energy prosumers. This is the basis for the crowd energy concept. In this position paper the crowd energy concept is introduced and necessary research fields are identified.  相似文献   

16.
根据夏热冬冷地区的气候特征与公共建筑的能耗特点,为减少空调和照明系统能耗进行了相关的节能方案设计.由于空调系统能耗是建筑总能耗中最重要的一个部分,重点分析了与空调系统能耗密切相关的围护结构的节能方案,包括外墙设计、窗体设计和外遮阳设计;简述了新风系统的热回收技术;提出了用LED技术代替现有节能灯的方案.改造后的能耗分析结果显示,提出的节能设计方案针对性强,对夏热冬冷地区公共建筑节能有着巨大的推动作用,并进一步强调了节能理念的重要性.  相似文献   

17.
为完成环境能量向电能的转化,设计了一种利用压电元件转化环境能量的能量转换装置。该装置利用风力驱动悬梁臂式压力发电组件旋转,同时使压电片振动而产生电能。依据压电材料的基本理论建立了装置的输出模型,并采用基于状态空间模型的进化算法对装置进行优化设计。开展了能量转换装置的实验测试,实验结果表明,该装置可高效地完成环境能量向电能的转化。本装置的设计为清洁环境能源的收集提供了新方法,也指出了振动能量采集装置的研究前景。  相似文献   

18.
我国第一产业能源消费终端不断升高,化工产业作为第一产业的一部分,在能源消耗方面占有很大比重.节能降耗技术的价值主要体现在其能够节约能源,降低耗能.在化工工艺中使用节能降耗技术,其目的是为了节约能耗,实现化工产业可持续发展.文章中针对节能降耗技术在化工工艺装置、化工反应工艺技术方面的运用进行论述.  相似文献   

19.
主要介绍了流体能量的采集,即将采集到的能量转化为电能以实现传感器及低功耗电子器件的自供电。流体能量采集器能有效地解决能源短缺的问题,从而提高电子设备的适用性。分析了流体采集能量的原理,详细介绍了流体能量采集器的各种结构,针对提高流体能量采集器的环境适应能力和工作效能,分析了各种能量采集器的优缺点和能量采集特性,最后通过对比介绍了国内外在流体能量采集器方面的最新研究进展,指出未来流体能量采集的发展趋势,为流体能量采集研究提供参考和技术支持。  相似文献   

20.
大口径高能量激光测量中后向散射能量研究   总被引:4,自引:2,他引:2       下载免费PDF全文
锥形吸收腔高能量激光能量计测量过程中的后向散射能量分布是影响测量准确度的一个关键参量.依据锥形腔能量计内表面与入射激光相互作用的光学定律,推导了能量计内入射激光光束能量的分布函数;并结合复化辛普森数值计算方法,计算分析了当能量计反射系数一定,而入射激光光束直径与吸收腔直径之比不同时,锥形吸收腔开口处光功率密度分布和后向散射总功率.计算结果表明,对于大口径高能量激光,后向散射能量损失将达到0.5%至2.5%左右.根据后向散射光功率密度分布计算得到后向散射总能量,对测量结果进行修正,将有效改善高能量激光能量测量准确度.  相似文献   

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