电子级多晶硅生产技术分析

电子级多晶硅是电子工业生产中的重要内容,在现代工业生产中的应用比较广泛.电子级多晶硅生产企业需要加强对产品质量的保障,提升工业生产效率,优化生产工艺.从我国当前电子级多晶硅生产技术开展情况来看仍然存在很多的不足,需要进一步对电子级多晶硅的生产技术进行改良,促进我国电子工业的稳定发展,提升工业生产效率.主要对电子级多晶硅...     

电子级多晶硅生产技术

电子级多晶硅是多晶硅经过高度提纯所获得的一种材料,广泛应用于高纯硅制品,是人类现代高科技所不可缺少的一种原材料。而随着人类科学技术的发展,对于原材料质量和纯度的要求也不断提升,对此,也产生了对于电子级多晶硅生产技术的探讨。以全球发展技术状况的阐述作为基础,充分探讨了当前能够获得高质量、高纯度电子级多晶硅的相应生产技术。     

浅析多晶硅杂质引入因素及解决方案

如何进一步降低卤硅烷中杂质含量,使国内多晶硅的质量达到国外电子级水平一直是行业关注的话题。本文首先阐述了改良西门子法生产多晶硅流程中杂质的主要来源,其次概述了近些年国内外关于痕量硼、磷等杂质高效去除的技术方案,着重探索了络合法、吸附法、部分水解法等杂质去除机理;最后提出了电子级多晶硅国产化进程中应侧重的提纯技术研究方向。     

集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践

国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展.江苏鑫华半导体通过在超痕量杂质提纯技术、非接触硅料精制技术等瓶颈问题的突破,成功构建了5000 t/a电子级多晶硅生产体系,在高等级硅料产品实现、新工艺体系构建、高效产品评价等方面填补国内空白,达到了国际领军企业...     

电子级多晶硅的清洗液选择

对于电子级多晶硅产品而言,其质量判断的关键在于材料表面金属杂质含量情况。就目前来看,当前电子级多晶硅为去除附着在表面的金属杂质,一般都采取以酸为主的清洗工序。通过妥善选择清洗液来控制电子级多晶硅表面金属杂质含量,以提升产品质量。基于此,本文就围绕电子级多晶硅,对其清洗液选择展开重点探讨,并分析影响电子级多晶硅清洗质量的因素,以供参考。     

超快激光在多晶硅还原炉的应用技术优化研究

针对电子级多晶硅还原炉底盘附着的残留物，研究超快激光技术在电子级多晶硅还原炉的应用。通过超快激光电子级多晶硅还原炉清洗设备结构，分析其清洗电子级多晶硅还原炉设备过程。选取试验材料、试剂和设备后，分别制备含有无定形硅粉、氯硅烷水解物、二氧化硅粉尘、甲基硅油油脂、多晶硅颗粒等污染物的基板作为还原炉污染样本；并以制备的还原炉污染样本为基础，设定初始条件和边界条件后，展开电子级多晶硅还原炉污染试件清洗试验。结果表明：污染物基本被去除；在不同清洗次数下，超快激光清洗时的重复频率和扫描速度越高，其清洗电子级多晶硅还原炉污染试件效果越好。     

浅析电子级多晶硅的清洗工序

电子级多晶硅产品的质量指标之一就是表面金属的杂质含量高低,而我国当下的电子级多晶硅清洗工序还是以酸洗为主导去除表面金属杂质含量,通过不同标准的化学刻蚀控制表面金属杂质含量,以达到产品的标准要求。文章就电子级多晶硅材料的化学清洗工序进行论述,讲述多晶硅的化学清洗工序中所涉及的化学试剂等因素的影响,提供清洗工序经验。     

自主多晶硅技术示范效应显著

年产1000吨多晶硅高技术产业化示范工程项目通过国家相关部门组成的专家组验收。这是我国唯一一条完整改良西门子工艺闭路循环电子级多晶硅生产线,标志着拥有自主知识产权的多晶硅生产技术进入千吨级规模量产阶段,在我国多晶硅产业发     

多晶硅生产中尾气分置回收及应用

多晶硅生产中，还原转化效率一般为13%左右，因此大量的尾气需要回收利用才能获得较好的经济效益与环境效益。介绍了一种多晶硅生产中各类尾气分置回收工艺流程，在节能的同时确保了产品质量要求，尤其对于电子级多晶硅的生产具有重要意义。     

中硅高科年产2000吨多晶硅项目通过国家验收

截至10月30日,建成并连续稳定试运行365天的洛阳中硅高科技有限公司年产2000吨多晶硅高技术产业化项目,已经生产出1016.7吨多晶硅,其中50%为电子级多晶硅。昨日,该项目顺利通过国家发改委委托的专家组验收。     

太阳能级多晶硅制备技术与发展方向

介绍了太阳能级多晶硅的制备技术,分析了国内外太阳能级多晶硅的供需状况,指出今后太阳能级多晶硅生产技术的研究方向和太阳能级多晶硅产业亟需解决的问题.     

以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

介绍电子级磷酸的生产方法,以及在原料(工业级磷酸)处理阶段的脱砷原理和工艺流程。湿法工业级磷酸经脱砷及后续的结晶、重结晶处理后,w(As)由75×10-9降至10×10-9,产品质量达到SEMI—C7标准。     

西门子工艺制备多晶硅体系的热力学分析

利用吉布斯自由能理论对西门子体系进行了热力学分析,梳理了体系中可能发生的系列化学反应。结果表明,多晶硅生产主反应为裂解反应而非还原,SiHCl3裂解生成SiCl2(g)和HCl(g),进而生成Si和SiCl4(g)。这不仅合理地解释了实际生产中副产大量四氯化硅等问题,而且为优化还原工艺提供了有价值的科学依据。     

太阳能级多晶硅制备进展

多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原材料,是全球电子工业和光伏产业的基石。综述了太阳能级多晶硅的制备方法（包括化学法和冶金法）以及中国多晶硅的生产现状。指出冶金法和化学法中的钠还原法,由于具有能耗低、无有毒气体排放的特点,将是今后中国具有发展前景的太阳能级多晶硅的生产工艺。     

治金法制备太阳能级多晶硅技术发展动态

前言 太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的相对广泛性和充足性、长寿命性以及免维护性等其它常规能源所不具备的优点。世界光伏产业以每年30％以上的增长率保持着高速发展,2007年总产量超过4000MW,成为世界新能源领域开发利用的一大亮点,且发展潜力较大。     

多晶硅气相沉积反应器的研发与应用

基于多晶硅的化学气相沉积技术与工艺,运用计算流体力学（cFD）的气体运动的组分运输和表面反应动力学模型,NAnsys—F1uent对多晶硅的生长过程进行模拟计算,运用有限元应力分析（FEA）方法,对复杂设备结构进行热应力计算和强度安全性校核,研发并设计一系列大型高产能、低能耗的多晶硅反应器。该系列的反应器广泛应用于国内外多晶硅生产线,产能达500t／a,能耗低至45kW／kg。     

电子级磷酸的生产工艺及发展现状

电子级磷酸常用于高精度、大规模集成电路以及精密电子元器件等生产过程中的清洗以及蚀刻阶段。随着各类高精度电子元器件的更新换代速度加快,对电子级磷酸控制微粒的要求也更高。已经工业化的MOS以及BVI级磷酸已经实现了工业生产,但是更加精细化的电子级磷酸市场依旧在发达国家垄断下,进口依赖度高,我国尚未有相应的工业化生产线,配套的检测设备以及分析方法也不甚健全。本文主要介绍电子级磷酸生产工艺及其市场应用,同时对电子级磷酸工业化发展战略进行了分析。     

冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较

对多晶硅生产中的冷氢化工艺做了简单介绍,重点介绍了冷氢化工艺中四氯化硅的4种汽化方式,包括电加热汽化、导热油汽化、直接混合汽化和强制混合汽化,并对这4种汽化方式的优缺点进行了比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考。     

多晶硅行业生产节能有效途径探讨

为了进一步降低多晶硅企业的生产成本,提高其市场竞争力,针对目前国内外改良西门子法生产多晶硅的主要装置工艺进行了考察。通过对多晶硅生产中工艺装置的能耗分析,从能量耦合利用、能量回收综合利用和新高效节能工艺的角度出发,提出采用多效精馏、还原热能综合利用系统和冷氢化工艺来代替原有多晶硅的生产工艺。结果表明:通过采取上述措施后,能够大幅度降低多晶硅行业的生产成本,为今后再建多晶硅企业和挖潜改造提供一定的指导作用。     

全球饲料磷酸盐生产技术与发展趋势

介绍了全球饲料磷酸盐生产技术现状,包括主要产品区域分布、生产量、生产商。着重介绍了饲料磷酸盐生产技术中的脱氟工艺技术（包括湿法磷酸的浓缩汽提脱氟工艺和沉淀脱氟工艺,湿法磷酸稀酸沉淀脱氟工艺）以及生产磷酸二氢钙（MCP）、磷酸一二钙（MDCP）、磷酸氢钙（DCP）、脱氟磷酸钙（DFP/TCP）等各类饲料磷酸盐产品的生产工艺技术。分析了可持续的饲料磷酸盐生产技术发展趋势。