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应用LB技术制备了厚度为20-100nm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)超薄高分辨率电子束抗蚀层。应用改装的日产S-450扫描电子显微镜(SEM),研究了PMMA LB膜的曝光特性和刻蚀条件。结果得到线宽0.15μm的铝掩模光栅图形,表明此种超薄膜具有良好的分辨率和足够的抗蚀性。 相似文献
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本文介绍了Au-Si LMIS的结构以及源的发射特性,利用E×B质量分析器,获得了Au-Si LMIS的质谱图,对实验误差进行了理论分析。 相似文献
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MBE生长的PM—HEMT结构中深电子陷阱及其钝化/消除 总被引:1,自引:1,他引:0
应用DLTS、SIMS和PL技术详细研究MBE生长的PM-HEMT结构中深能级。样品的DLTS谱表明在PM-HEMT结构的n-AlGaAs层里存在着较大浓度和俘获截面的深电子陷阱,其能级位置分别位于导带下的0.64eV和0.79eV处。SIMS和PL谱表明深电子陷阱与ALGaAs层时原氧含量和光致发光(PL)响应有直接的联系,它们影响PM-HEMT结构的电性能,应用氢等离子体对深电子陷阱进行处理, 相似文献
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应用DLTS、SIMS和PL技术详细研究MBE生长的PM-HEMT结构中深能级.样品的DLTS谱表明在PM-HEMT结构的n-AlGaAs层里存在着较大浓度和俘获截面的深电子陷阱,其能级位置分别位于导带下的0.64eV和0.79eV处.SIMS和PL谱表明深电子陷阱与AlGaAs层里的氧含量和光致发光(PL)响应有直接的联系.它们影响PM-HEMT结构的电性能.应用氢等离子体对深电子陷阱进行处理,结果表明,在一定条件下,PM-HEMT结构样品里的深电子陷阱能有效地被钝化/消除. 相似文献
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主客掺杂聚合物材料薄膜介电性的研究 总被引:3,自引:3,他引:0
制备了3-(1,1-二氰基噻吩)-1-本-4,5-二羟羟基-H-噻唑(DCNP)与聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)组成的主客掺杂聚合物薄膜DCNP/PMMA,用DCS测量了该体系的玻璃化温度。在玻璃化温度以上30℃测量了温区范围内该材料的介电常数的实部和虚部随频率的变化曲线,测试频率范围为50Hz~10MHz。由以上各介质谱曲线所对应温度下的特征弛豫时间τ,结合Adam-Gibbs模型,模拟计算出了玻璃化温度以下该聚合物的弛豫时间。 相似文献
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通过阳极氧化电压谱图(AVS);I-V特性和Fiske台阶电压测量,我们研究了Nb超导量子结构中AlOx-Al厚度对其特性的影响。发现AVS中AlOx-Al与Nb电极之间的界面陡度和I-V特性取决于AlOx-Al厚度,Nb|A|Ox-Al|Nb结的最小最佳沉积Al层厚度为7nm。由Fiske台阶电压,AVS中的Al峰和I-V特性的畸变,证实了结中Al/Nb间由常态Al而引起的亲近效应的存在,并用McMillan理论作了讨论。 相似文献
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推拉型有机化合物的非线性特性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
合成一种新的推拉型偶氮化合物并将掺入PMMA中制成光学薄膜器件,用Z扫描技术测量了该材料的非线性折射率,用DFWM装置研究了该材料在可见光长波区光存储特性,获得了良好的实时和短时存储信息,存储功率密度小于0.1W/cm^2。分析了这种非共振吸收区光存储机理。 相似文献
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Mach—Zehnder干涉仪法测定染料掺杂高聚物薄膜复数电光系数 总被引:3,自引:2,他引:1
本文介绍了一种使用Mach-Zehnder干涉仪同时测定染料掺杂高聚物薄膜电系数张量实部和虚部的方法,用该方法测量了掺染料1号(DR1)有机玻璃到(PMMA)膜的复数电光系数张量分量r13和r33并讨论了膜内多重反射效应对测量精度的影响,给出了修正公式和实验结果。 相似文献
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我们用Henke型软X射线源完成了栅网的接触式成像,采用Talystep台阶仪测量了不同曝光时间PMMA光刻胶的溶解速率。由测量曲线可知光刻胶在显影开始时速率较快,随着时间的增加,溶解速率逐渐趋缓,最后达到所有的曝光时间下的样品的溶解速率都相同。这与理论分析十分吻合。 相似文献
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用化学和电学研究测试了6H-SiC与元素金属(Ni,Mo)和硅化物(MoSi2,TaSi2和TiSi2)的接触特性。用俄歇电子光谱(AES)化学分析技术研究了由热处理引起的界面反应,在退火过程中,用电学测量方法(电流-电压和电容-电压)测量了整流特性或欧姆接触特性。并尽可能地计算了势垒高度及接触电阻值。 相似文献
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本文提出了一种利用STM-4的开销处理芯片PM5312来实现STM-16的开销处理的方式,并给出了相应问题的解决方法。特别是对影响系统性能的发送方向四片PM5312的数据相位对齐的问题进行了分析并给出了几种具体解决方案,经过试验取得了满意的结果。 相似文献
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本文提出了一种利用STM-4的开销处理芯片PM5312来实现STM-16的开销处理的方式,并给出了相应问题的解决方法。特别是对影响系统性能的发送方向四片PM5312的数据相位对齐的问题进行了分析并给出了几种具体解决方案,经过试验取得了满意的结果。 相似文献