准分子激光器及其应用

本文评述了准分子激光在激光加工、激光医疗中的应用前景,非线性光学在准分子激光技术中的运用,以及近年来高重复频率与高亮度准分子的激光器件的新进展。     

准分子激光辐照对ZnO陶瓷变阻体导电性能的影响

研究了准分子激光辐照对ＺｎＯ陶瓷表面性能的影响,测量ＺｎＯ陶瓷在准分子激光作用前后的伏安特性变化,对准分子激光辐照前后ＺｎＯ陶瓷进行了ＸＲＤ、ＸＰＳ分析对比,分析了准分子激光对ＺｎＯ作用的机理。     

窄线宽可调谐的准分子激光振荡——放大系统

自由振荡的准分子激光一般具有1nm左右的线宽,而普通稳腔输出的激光光束质量较差,发散角约2～4mrad。在众多的准分子激光作用领域(非线性光学,激光光谱、激光蚀刻、激光医学、激光大气测量和激光加工等等)、对准分子激光的光谱特性、光束质量提出了越来越高的要求。 我们设计了一台窄线宽、可调谐的准分子激光     

高聚物生物芯片材料激光加工性能分析

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片。根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光加工后的微结构,并得出准分子激光对不同材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系。结果表明,PMMA和PC都能够完全吸收KrF准分子激光能量,可以用准分子激光在表面进行微加工制作生物芯片;用PMMA制作出的生物芯片,在使用时对检测结果的质量影响比PC小;对于相同的入射激光能量密度,准分子激光对PMMA的刻蚀率比PC高;由于与准分子激光之间的反应机理不同,PMMA更容易被加工,但是加工后的微结构质量较PC差。     

准分子激光器的脉冲宽度

本文根据激光振荡条件,讨论了准分子激光器增大激光脉冲宽度的条件。原则上准分子激光器可以连续工作,但是,目前还不大可能获得连续输出的准分子激光器。     

准分子激光屈光治疗仪的能量稳定系统

介绍了准分子激光器在眼科屈光手术中的应用及治疗原理,分析了激光腔体大小、激光工作频率高低、环境温度变化以及人为因素等对准分子激光器能量稳定性和手术效果的影响,阐述了无能量稳定系统的准分子激光屈光治疗仪的系统组成和工作原理。根据自动控制原理,提出了提高准分子激光器能量稳定的设计方案,详细叙述了有能量稳定系统的准分子激光屈光治疗仪的控制原理。试验和应用都表明,有能量稳定系统的准分子激光屈光治疗仪在2小时的工作时间内,激光输出能量能稳定在5％以内,结果令人满意。     

准分子激光加工的应用

准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...     

准分子激光离体血管成形术

用波长308nm的XeCl准分子激光照射试管内及离体动脉內血栓和主动脉壁,经目视观察及组织学检查表明:准分子激光能有效地汽化血栓;若保持激光与血管同轴,则可避免损伤血管壁;准分子激光照射血管壁形成的切割边缘整齐,组织学上无热损伤现象。因而准分子激光可以安全有效地应用于血管成形术。     

准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅

准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点。本文简述了准分子激光光刻的研究现状和光纤布拉格光栅的应用,详细介绍了利用紫外激光制作FBG的技术和相应准分子激光光源关键技术的发展。     

激光作用DNA双链损伤效应

用准分子激光和YAG激光分别照射DNA饱和溶液，在一定的激光功率密度作用下，观察DNA双键的损伤效应，结果表明准分子激光引起DNA双键损伤明显。     

准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅

准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术，而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点．本文简述了准分子激光光刻的研究现状和光纤布拉格光栅的应用，详细介绍了利用紫外激光制作FBG的技术和相应准分子激光光源关键技术的发展．     

高效率准分子激光器

电子综合研究所激光研究室研制成功振荡效率高达2.9%的自动预电离型放电激励KeCl准分子激光器。准分子激光器应用最为重要的是要求激光装置具有高度的可靠性。最近发展的准分子激光技术，大幅度改善了以往装置的性能，可望显著提高它的可靠性。     

我国准分子激光器研究的最新进展

准分子激光器的研究是目前世界上激光研究领域里最活跃的课题之一。准分子激光波长在紫外和真空紫外。准分子激光器具有高功率、高效率、高能量及在宽波段内波长的连续可调谐性。在国外已成功地应用于科学研究、工业化学合成、医学、微电路加工等领域。我国准分子激光器的研究及其应用取得了一定进展。高功率小型准分子激光器及实用型准分子激光器研制成功标志着这种新型激光器件向实用化迈进了一大步。一、近年来我国准分子激光器研究的概况最初几年里,准分子激光器的研究主要是     

新型准分子NaS势能曲线的理论计算

准分子激光的研究一直是激光领域的重要课题,受到人们重视。在对新型准分子激光 介质的研究中,我们首次提出Ⅰ—Ⅵ族元素组合的准分子NaS系统。鉴于S原子亚稳态的储能特性及Na低激光阈,其组合激光体系有望具有高储能,高效率,可调谐,低激发阈的特点。为此,我们从理论上,采用abinitio方法计算了NaS准分子基态的势能曲线。     

合束方式提高准分子激光输出脉冲能量稳定性

为了获得稳定性更好、能量更大的准分子激光输出脉冲,对合束方式提高输出脉冲能量稳定性的可行性进行了理论推导、模拟实验以及合束实验研究。从理论推导得知,当激光输出脉冲能量符合正态分布时,多台激光器合束可以降低输出能量相对标准差。对三台输出脉冲能量分布特性符合正态分布的准分子激光器进行合束模拟实验研究,每台输出脉冲能量平均值约为153 mJ,脉冲能量相对标准差约为1%。两台准分子激光器合束时得到输出脉冲能量平均值为305 mJ、能量相对标准差为0.7%的准分子激光脉冲。三台准分子激光器合束时可以得到输出能量平均值为458 mJ、能量相对标准差为0.6%的准分子激光脉冲。使用两台准分子激光器进行三次实际合束实验,其中两台准分子激光器三次合束分别输出能量平均值约为355、350、330 mJ,相对标准差为1.3%、1.2%、1.4%的激光脉冲;三次合束后分别得到能量平均值为687、694、646 mJ,相对标准差为0.86%、0.79%、0.83%的激光脉冲。模拟实验以及合束实验都表明,合束后的能量相对标准差均小于单台能量相对标准差,即合束提高准分子输出脉冲的稳定性。因此,当单台准分子激光输出脉...     

准分子激光20年

本文简要地评述了准分子激光问世２０年来的研究、发展与应用概况，并指出准分子激光的发展前景。     

准分子激光20年

本文简要地评述了准分子激光问世２０年来的研究、发展与应用概况，并指出准分子激光的发展前景。     

准分子激光角膜手术研究

叙述了角膜手术对激光特性的要求，对准分子激光放切术（ＲＫ）和准分子激光消融术（ＰＲＫ）进行了实验研究。     

准分子激光切削角膜机理及其应用

本文研究了准分子激光屈光手术的原理、切削机理、角膜切削方式的选择、准分子激光切削量与能量密度的 关系、“飞点扫描”技术。并在此基础上研制了准分子激光眼科治疗机,经过临床应用,取得了满意的手术效果。     

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。