形位误差对装配精度影响的定量分析

基于形位公差带的分布特征，对形状、位置要素变动情况进行研究，提出了一种在一维线性装配尺寸链下，判断模型中形住误差是否应当纳入装配误差累积计算的方法．在统计平方根模型的基础上，依据零件生产加工完毕后各形位要素变动的分布特性，提出了一种新的装配误差累积计算模型．采用此模型可实现包含形住误差的装配精度定量分析．给出的一个应用实例说明了所提出方法的有效性．     

接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析

光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响，是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一，为此，研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程，建立了相应的光刻理论模型，对光刻成像中的误差产生机理进行分析．该模型综合考虑光源和照明系统对掩模微结构附近光场相干性的影响，将光刻模拟分为3部分．首先根据VanCittert-Zernike定理确定了光源经扩束准直系统传播到蝇眼透镜入射面时光场上任2点的互强度．然后应用部分相干光的传播理论，由Hopkins公式得到部分相干光经蝇眼透镜传播到掩模平面后其上任一点对的复相干度的分布规律．最后根据互强度传播定律，分析从掩模面到光刻胶表面的衍射效应，得到光刻胶表面的光强分布及变化规律，并且通过误差的仿真分析模拟得到光刻胶图形轮廓．结果表明，理论模拟结果与实验较为吻合．该方法能准确地得到衍射光场的分布，进行光刻误差分析，从而能较好地发现曝光图形缺陷．     

误差理论与不确定度表达（三）

误差理论与不确定度表达（三）肖明耀（中国计量科学研究院，北京１０００１３）７．ｔ分布或学生分布（１）贝塞尔公式在实际相同条件下，对某一稳定的量进行几次测量，得值ｘ１，…，ｘｎ。可求得算术平均值：ｘ＝（ｘ１＋…＋ｘｎ）／ｎ残余误差：残差平方和：自由度：...     

横向负载下三维微触觉传感器的力学模型

提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型，用于指导传感器的设计和优化．对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算．利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布，分布曲线与理论曲线的偏差小于3．87％，最大应力的仿真和理论偏差小于3．63％．通过一个已完成传感器的性能标定，灵敏度的实验和理论误差为7．79％，实验值线性误差为0．2％．     

用顶空色谱法测定固体颗粒的孔结构

用顶空色谱法测定了活性炭对有毒蒸气的吸附等温线，并计算了比表面积、微孔容积及其孔径分布等．本文就其基本原理、实验方法及误差来源等进行了论述．     

现代误差与精度理论高级研讨班在合肥举办

为了培养造就新一代跨世纪学术带头人和学术骨干．推动我国计量测试及仪器制造技术的发展，根据国家教委的安排．现代误差与精度理论及其应用高级研讨班于1995年11月6日至9日在合肥工业大学举办。来自全国高校及科研单位的专家、学者共24人参加了研讨．参加者均为教授、副教授级及博卡、硕十，层次较高。研讨班共研讨了：①现代误差理论进展、特点及基本问题；②测试技术中常见误差源的误差、性质及其分布；3测量不确定度原理及其应用；④误差修正技术的现状，发展及其应用；⑤动态测量误差的分析与评定。会上，清华大学严普强教授、合肥工…     

均匀分布与反正弦分布的误差合成

本论证了两个相互独立的，分别服从均匀分布和反正弦分布的误差分量，同时还介绍了它们合成后的误差分布表达式，图形以及置信因素。     

积分球式光亮度标准

中文介绍了所研制的基于积分球的光亮度标准，该装置的亮度示值误差小于１％，其相对光谱功率分布近于Ａ光源，０°～±５０°方向内光亮度偏差小于２．５％。     

真空平板玻璃支撑应力实验研究

用弹性力学的结点法建立真空玻璃支撑应力-应变力学模型，求出真空玻璃的支撑应力-应变场，分析了其应力-应变分布规律，同时用了电测方法进行试验验证。试验结果表明，真空玻璃最大应力发生在四角第二个支撑处，最大应力弹性力学计算值11．057MPa，电测法的测试值11．765MPa，两者误差为6．02％。支柱横截面上的正应力为179MPa，纵向变形为0．2686μm（钢柱），0．7414μm（玻璃柱）。控制支撑高度误差和玻璃的平整度，保证受力的均匀，可增加真空玻璃的强度，增加其可靠性，提高其使用寿命。     

提高线阵CCD测量光束中心位置精密度的方法

用线阵CCD测量类钟形分布的光束中心位置时，常用高斯分布模型和最小二乘（LSM）回归计算。提出一种用准高斯分布以提高测量灵敏度、用截取阈值较高的方式以减少噪声影响、用加权LSM回归以提高精密度的方法。由于高斯曲线拟合时的因变量不等权，选用加权回归和等权回归相比，ADC化整误差和光电测量误差的影响将减小一个数量级。根据CCD器件的参数，能够确定像元数据的误差限值。再用蒙特卡罗法模拟误差分布规律，通过截尾分布数值的加权回归，求出使测量精密度提高的合理光束宽度范围。已将此方法用于冲击电流计的改进设计和位移测量，使微电流测量的精密度提高达两个数量级，并使30mm内的微位移测量的非线性标准差不大于0．0025％。     

双运动副误差分离技术在圆度测量中的应用

基于对传统误差分离技术的研究，本文作者提出了一种新的“双运动副”误差分离技术，把它应用于圆度误差的测量中，可以克服传统方法带来的不足．仅利用一个传感头，进行一次安装调整就可简单方便地实现圆度误差的测量．分离掉主轴的回转误差，获得反映工件圆度误差的精确值．     

JDY-4型测长仪边界区域粗大误差的研究

针对ＪＤＹ－４型测长仪的边界区域产生的一种示定粗大误差进行实验研究，作出误差分布曲线，找到产生误差的原因，提出两种解决方案。     

三坐标测量机动态误差分析的建模

本文借助于有限元计算方法，建立了估计三坐标测量机动态误差的模型，得到了由于分布质量惯性力所引起的主要动态误差，为测量机动态误差补偿提供了一种实用的方法。     

自由电子激光器的平面脉冲微型摇摆器磁场误差分析

建立了平面脉冲微型摇摆器磁场分布误差分析的数理模型，采用数值模拟方法，分析计算了微型摇摆器几何尺寸误差对遥摆器磁场分布轨迹的影响，其结果将为平面脉冲微型摇摆器的工程设计提供可靠的理论依据。     

形位误差的统计分析与统计公差

论证了形位误差的两种基本分布－折叠正态分布和瑞利分布，并在此基础上提出了形位误差的统计分析方法和形位公差的统计分差确定方法。     

中空纤维式减压膜蒸馏组件的温度压力分布及通量特性研究

为了研究减压膜蒸馏过程中膜管内的温度，压力分布及传质通量特性，分别建立膜蒸馏过程的传热，传质数学模型，对其中的温度，压力分布和蒸馏量进行了理论分析和数值模拟，推导了计算膜蒸馏通量的新方法－－对数平均压差法，并分别比较了对数平均压差法和算术平均压差法计算通量的特点。结果表明，采用对数平均压差法计算总蒸馏通量，其误差在1．2％以内，当膜管进，出口内外压差之比△p‘／△p“≤1．6时，采用算术平均压差法来计算通量可将误差控制在＋2％内，而当△p‘／△p“较大时，不能采用算术平均压差法计算膜管内外平均压差及蒸馏通量。     

高层建筑混凝土结构施工误差分析

本文对上海地区在建的不同结构类型的高层建筑进行了施工误差的现场检测，积累了一定量的数据，建立了高层建筑施工误差的数据库，经统计分析后，初步得出了误差的分布规律，为更深进一步研究施工误差对结构受力性能的影响提供了依据。     

国外定量包装商品的检验及监督管理（二）

国外定量包装商品的检验及监督管理（二）中国技术监督情报研究袁先富，王金玉３．３包装误差３．３．１包装误差的定义所谓包装误差是指所测的单件包装商品实有的净含量与包装商品上标记（净含）量的差，也就是当包装商品出现负误差时表示比标记的实有量少，正误差则表示...     

小样本采样数据的预处理

一般情况下数据处理大多采用数理统计方法，该方法对于数据较少情况下处理和判别粗大误差不适用．提出了运用线性均方估计法和熵值判别法来处理和判别粗大误差．线性均方估计消除粗大误差是一种采用软化的方法处理粗大误差；熵值判别法是根据熵的上界对应最大的不确定度，利用所得数据的熵信息量判别数据是否含有粗大误差．这两种方法经过多个实例计算，结果表明，它们在处理小样本采样数据时更有效．     

HCJ—2型电导率仪检定装置

本文对检定装置的总体进行了理论分析，列出了三台样机的测试结果，并进行了误差分析。为适应新规程的要求，装置除了设置试行规程（ＪＪＧ３７６－８５）中已有的检定项目以外，还增加了温度补偿器和电容补偿能力的检定项目。／／随着国内外电导率仪的发展，迫切需要检定项目完备的、高准确度的电导率仪检定装置用于日常检定工作。其检定项目包括：电子单元引用误差、电子单元重复性、常数调节器误差、具有若干个温度系数设置点之后的温度补偿器的误差以及电容补偿误差。期望能达到０．０５级，以至可检定０．１级（含）以下的几乎目前常见的国内外生产的绝大部分电导率仪。一、装置的设计１．检定装置箱体和线路设计检定装置采用模拟电导池交流阻抗的方式，将所有的交流标准装在一个箱内，箱内的所有标准电阻的分布效应足够小，仅允许分布电容在：５ｐＦ左右。由于分布效应的存在，企图以直流电阻推算到一定频率下的交流阻抗会存在看很大的不确定性，因此最好是在选定的频率下直接测量交流阻抗的量值，这样得出的结论不但直观，而且准确度高。因此该装置的阻值不但有直流电阻的阻值，同时还有交流阻抗值。该装置的技术难点是在低于５μｓ·ｃｍ－１以下的低电导率量程时分布电容仅允许１－５ｐＦ，而