以准分子激光器为中心的新激光器的研究和动向

对于作为紫外波段和真空紫外波段中高输出、高效率激光器的准分子激光器来说，七十年代正是黄金时代。如表1所示，自1972年真空紫外激光器出现以来，研究了许多真空紫外准分子激光器、紫外准分子激光器。最近，可见波段准分子激光器的研究也兴盛起来(参看表1)。     

准分子激光加工的应用

准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...     

准分子激光器的脉冲宽度

本文根据激光振荡条件,讨论了准分子激光器增大激光脉冲宽度的条件。原则上准分子激光器可以连续工作,但是,目前还不大可能获得连续输出的准分子激光器。     

将开发1千焦耳级准分子激光器

日本工业技术院电子技术综合研究所将开发具有日本最高输出的准分子激光器。激光核聚变研究主要是用玻璃激光器和CO2激光器进行。然而，从效率等角度考虑，为实现实用反应堆，釆用准分子激光器被认为是有用的。     

信息

下一代准分子激光器 准分子激光器实际上属于气体激光器家族。准分子激光器是最有效的大功率紫外激光光源，虽然这种激光器是一项很困难的技术，但近些年来这种激光器却是一个活跃的研究课题并且具有很高的商业价值。连续的改进使准分子激光器在某些应用中成为了重要的紫外激光光源，并使其在新市场中有很好的应用，如生产光纤布拉格光栅和平面显示器。准分子激光器概述 英文中准分子 （ｅｘｃｉｍｅｒ）是“受激二聚体（ｅｘｃｉｔｅｄｄｉｍｅｒ）”的简称。在化学术语中指由两个相同的惰性气体原子组成的分子。这些原子只有在激发态下才…     

准分子激光开辟工业市场新格局

准分子激光开辟工业市场新格局近几年来，准分子激光器已经悄然地从物理学家的“玩具’变成了有用的工业和医学工具。准分子激光器市场的认可和成长壮大的背后存在着两种推动力量：一是常规工业的小型化趋向使得人们对新的微型加工方法的需要日益增长，而准分子激光器正好...     

以准分子激光生产微型芯片

长期以来，准分子激光器曾被视为不适合工业性应用，理由是：“太复杂，而且最受干扰”。目前，这一观点一去不复返。激光器制造商已进行大力开发，使其在微电子和其他工业领域中得以应用。工业准分子激光器就经济意义来说，不久的将来，将不亚于CO。和YAG激光器，后者在市场上早已出现。专门研究高科技市场业务的光学技术咨询公司即持这种观点。到2000年以前，据估计，仅集成电路生产每年就需要400～500台准分子激光器。以每台售价60万马克计算，世界范围内，年销售额约为3亿马克。此外，工业准分子激光器还可用来打孔、标记、蚀刻和金属…     

放电准分子激光器的泵浦强度

放电准分子激光器的泵浦强度引言众所周知，准分子激光器要求相当高的泵浦强度水平。放电准分子激光器中一般的泵浦强度为每立方厘米几十兆瓦到几兆瓦［‘－’］，而且对于某些类型的准分子激光器，从最大泵浦效率的角度来看，这一参数的最佳值完全不同。例如，对于含氟气...     

高效率准分子激光器

电子综合研究所激光研究室研制成功振荡效率高达2.9%的自动预电离型放电激励KeCl准分子激光器。准分子激光器应用最为重要的是要求激光装置具有高度的可靠性。最近发展的准分子激光技术，大幅度改善了以往装置的性能，可望显著提高它的可靠性。     

国外激光器发展趋向

利用不同的工作物质、泵浦源和结构,再加之不同的调制技术和调谐技术,可以制成各色各样的激光器,但从销售的激光器产品来看,真正有广泛使用意义的激光器种类不是很多,其中用得最普遍的是He-Ne激光器、半导体激光器、CO_2激光器、Nd∶YAG激光器、离子气体激光器、染料激光器和准分子激光器。这些激光器才是真正构成激光工业的支柱。     

影响XeCl 准分子激􀀂 光器寿命的因素

准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论对了激光器寿命影响比较大的两大因素：高速放电开关和激光腔体。     

单脉冲输出能量174焦耳的准分子激光器

日本电子技术综合研究所制成单脉冲输出能量174焦耳的电子束激励型准分子激光器。就准分子激光而言，它是日本国内的最高值，振荡效率也很高，为1.9%。这为研究中的供激光核聚变实验用的500焦耳准分子激光器的开发带来光明的前景。     

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。     

空军筹集准分子激光研究经费

美国空军正为1988和1989财年筹集大约1亿美元以研究作为陆基反卫星武器的准分子激光器。空军将与战略防御倡议组织协作，后者正在研究准分子激光器用导弹防御。国会预算削减以及认为自由电子激光器能扩大规模以获得高功率。使战略防御倡议组织将准分子激光器今年的经费从去年3910万美元削减1240万美元。     

准分子激光器

所谓准分子就是受激态的原子(分子)和基态原子(分子)结合而形成的分子。由不同的两个原子(分子)形成准分子时,还往往分成复合受激态和异质准分子。一般准分子的基态是分解状态,基态与准分子态之间,会发生宽线宽跃迁(束缚-自由跃迁)。有时也有基态呈现弱结合的例子(XeF等),但最近,只要与激光有关,即使激发复合物的基态是结合状态,也不加区别地统称为准分子。将准分子的束缚-自由跃迁用于激光器的建议,几乎是和激光振荡的实现同时提出来的，但巴索夫等人首次得到准分子激光器振荡，却比较晚，是一九七○年。首次准分子激光振荡是用强电子束照射液Xe得到的，此后采用了高压气体。研制激光核聚变用的新型激光器的要求及CO2激光器等的高压气体激励技术的发展，促使准分子激光器取得迅速的进展。目前，准分子激光器已发展到一定的深度和广度。     

定向棱镜谐振腔准分子激光器

在普通平－平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振胶准分子激光器。该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能量集中的光场分布,压缩了光束发散角,改善和提高了光束质量。提供了一种实用新型的准分子激光器技术。     

准分子激光低抖动延时同步系统

准分子激光放大技术可将固体掺钛蓝宝石飞秒激光器通过频率转换后得到的小能量深紫外飞秒脉冲放大为大能量深紫外飞秒脉冲。为了满足准分子激光器与固体飞秒激光器之间同步工作的需要,设计了一种准分子激光低抖动延时同步系统。该系统采用现场可编程门阵列(FPGA)数字延时和可编程延时芯片延时相结合的方法,利用时间测量芯片实现对延时时间的闭环控制从而提高系统延时的稳定性,最终实现对外触发脉冲信号的精确延时。验证实验表明，该系统在1～100 Hz频率下运行稳定,输出触发脉冲信号延时范围为56 ns～2.4μs,理论延时步进为10 ps,抖动在±1 ns内,完全满足飞秒激光器与准分子激光器同步工作的需要。     

激光器在西德

现在，西德的公司生产许多激光器和与激光器有关的产品，某些方面，例如准分子激光器和氦氖激光器等产品，在世界上还属先进之列。虽然西德有大约60家激光仪器供应商是活跃的，但只有很少公司生产它们的商品。     

用于激光加工的激光器及其特点

激光最大的应用领域之一是材料加工，激光器已把自己确立为一种不可缺少的工业工具。ＣＯ２、Ｎｄ：ＹＡＧ和准分子激光器是当前用于材料加工的三种主要的激光器。半导体激光技术的迅速发展使得二极管激光器、二极管泵浦全固体化激光器、光纤激光器和超短脉冲激光器在工业应用中有了光明的前景。     

500W旋转开关准分子激光器

５００Ｗ旋转开关准分子激光器黑龙江省牡丹江市光电技术研究所用了两年多的时间研制出ＥＭＪ－５００准分子激光器，经中国计量科学院测试，其激光气体为ＸｅＣｌ，激光波长为３０８ｎｎ，最大激光功率为５１８Ｗ，单脉冲能量为０．９Ｊ，重复频率为６００Ｈｉ，功率不稳...