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电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体,称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。 相似文献
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最近,变压吸附技术用来从双组份或多组份原料气中生产多种高纯度、高回收率产品气,这些过程还用来改变原料气混合物的组成.阐述了这些新过程的一个实例,并对其性能作了报道.这些过程所采用的工业用吸附剂都出自总吸附剂的一个大族,如沸石、活性炭、硅胶、铝胶等,其中大部分在性能方面都是相当混杂的.这就使得这些过程的演绎设计异常困难,需要实验过程运行性能数据.讨论了与该课题有关的几个基本问题. 相似文献
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前言需用超高纯气体的半导体工业是现在发展最快的工业之一。为了满足需要,特气生产者不断开发了先进的分离、提纯和配气技术,可得到各种有保证的纯度等级的特气,其中包括7级(99.99999%)的特气。这是工业中应用的最纯气体。为了防止这些超纯气体被二次污染,气体钢瓶及有关气体处理设备应尽可能达到清洁和化学稳定。本文说明电解抛光是达到这一目的的最好方法。 相似文献
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美国科学气体产品公司是经营特种气体及有关装备的专业公司。该公司已有28年的历史,总部设在新译西州,在新译西州、麻萨诸塞州、得克萨斯州、科罗多拉州和加利福尼亚州等五个重要工业区设有生产厂。它针对美国科学技术发展和工业的需要,提供了较齐全的气体品种。其经营项目有纯气、研究级气体、气体混合物、电子气及其混合物和装备。各项目的情况分别介绍如下。 相似文献
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一、前言高纯气体已成为电子工业不可缺少的化工原料之一。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度要求不同,但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的,总是使半导体产品质量劣化,成品率下降。高纯氢、氮、氧、氩及其它许多气体可用于半导体外延、光刻、清洗、蒸发及高温氧化生长等工艺中。表1列出了日本半导体工业用气体的纯度。 相似文献
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1 前 言在高纯气体制备过程中,氢气以产品、副产品、原料气、还原气等角色出现在诸多工艺环节,对最终产品中残余量的控制,也成为高纯气体产品面临的普遍问题。由于H2组分仅是高纯气体众多控制杂质之一,国内外标准均采用气相色谱法对产品中痕量氢气进行测定,使用的色谱鉴定器有:热传导检测器、氦离子化鉴定器、氩离子化鉴定器、质谱鉴定器、气体密度鉴定器、氧化锆浓差电池鉴定器、氢敏元件鉴定器等。除氧化锆及氢敏鉴定器外,其它均为通用型色谱鉴定器,可以完成10-5~10-8数量级的痕量氢气的测定。以氢敏元件为检测器的… 相似文献
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《低温与特气》主要提供国内、外有关低温技术与特种气体方面的最新科技情报资料,以及有实用参考阶值的文章。内容涉及气体提纯和制备工艺、液化技术,设备、材料、贮运、安全、分析检测、产品标准、消息报道、低温与特气技术及其产品在国防,尖端技术、工业、医疗等各方面的应用,可供从事低温与特气科研、生产、应用与教学有关工作人员参阅。 相似文献
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一.气体分馏的重要性
炼厂气是石油化工过程中,特别是破坏加工过程中产生的各种气体的总称。包括热裂化气、催化裂化气、催化裂解气、重整气、加氢裂化气等, 相似文献
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张运翻 《工程设计与应用研究》2009,(3):1-6,14
高纯气体管道设计是高纯气体供气系统的重要组成部分,是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术,包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。 相似文献
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