铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器

采用集成光学技术,设计与研制出了一种用于大电流测量的集成光波导电流传感器,器件体积为78 mmx18 mmx9 mm.对带有多环形天线和调制电极的传感器结构进行了理论分析,并利用COMSOL Multiphysics软件建立传感器的三维模型,仿真验证了所设计的传感器可用于脉冲大电流的测量.搭建了脉冲大电流测量实验系统,...     

碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究

针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求,提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布,推导出光纤反射式微机电系统Si C压力传感器的数学模型,并对Si C压力传感器敏感元件的最大量程、灵敏度、输入-输出特性等进行了一系列的优化分析和计算机模拟。仿真结果表明了Si C敏感膜片的光测力灵敏度最优设计方法,在大量程范围内具有优越的线性工作特性,为研发大量程碳化硅基微光机电系统(MOEMS)压力传感器提供了有力的理论依据。     

VEGA压力传感器

VEGA压力传感器是远程测定和检测连续液面位置的仪器。它制造方便,安装简单,适用于水、污水、油脂、油、巧克力、牛奶、啤酒等流质的液面控制。对于一些对化学反应极敏感的流质也同样适用。因此,它广泛应用在工业生产中。VEGA 是由薄膜、电容器、振荡器、计算仪、表盘四部分组成。传递图如图1所示。     

半导体硅压力传感器

一、前言自1954年Smith等人研究了半导体Ge和Si的压阻效应以来,压阻效应就在压敏元件中得到了实际应用。由于半导体压力传感器灵敏度高、体积小,特别是80年代后硅集成电路工艺技术的发展,使以硅为衬底材料的硅扩散型压力传感器得到了惊人的发展。硅压力传感器是用途最广的传感器之一。目前大多都是采用半导体扩散技术制造应变计(应变电阻),称为扩散型硅压力传感器。由硅单晶衬底制成的膜片作为感压膜,它与应变电阻为一体结构,因此蠕变和滞后现象都很小,精度高。硅压力传感器可以与硅集或电路制造在同一衬底上组成集成型硅     

Si微压力传感器

在工业应用中,要求具有小型和稳定的压力传感器。我们利用普通的平面集成电路技术开发了一个新的传感器。为了避免长漂,依赖于压力灵敏度的温度补偿是由enbedded稳压电源而不是由传统的电阻网络。输入压力范围是0—0.1MPa。灵敏度变化为200ppm/℃或更好,非线性误差(包括滞后)为满刻度的0.05％。传感器可以安装在印刷电路板上。     

基于应力集中原理的压阻式压力传感器

本文提出了一种灵敏度高、线性好，用于３００Ｐａ压力测量的压阻式微型压力传感器，为减少非线性，这种传感器采用了由４个弹性梁和一个刚性中心膜构成的模片结构。本文讨论了该传感器的有限元仿真、制作工艺和传感器特性等问题。     

高温高精度压力传感器

1 前言 许多部门需要精度高、稳定性好,且使用温度高的压力传感器,用于测高温(≥150℃)流体的压力(≥10MPa)。例如:测航空发动机的气流压力。 常用的传感器弹性元件材料为3J53恒弹性合金,但该合金恒弹性温度范围为-55- 80℃。所以,超过80℃其弹模温度系数大,以致传感器性能稳定性不好。而且铌基弹性合金属高温恒弹性材料,而且耐     

如何正确选择压力传感器

如何正确选择压力传感器西特传感技术（天津）有限公司李建新，张光烈科学技术的发展使压力传感器不断推陈出新。现在，压力传感器的敏感原理不仅有应变式、电容式、压阻式，还有电感式、振弦式等等。种类繁多性能各异的压力传感器使用户进行系统设计时有了更大的选择余地...     

光波导气体传感器

本文概述了光波导气体传感器的结构,工作原理,对待测气体所引起的光波导表面染料膜的光吸收系数和折射率的改变与透射光强度的关系进行了理论分析和计算,给出了最佳膜厚度为d_esinθ_v/2。     

静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验

为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构。该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的。设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工。通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1%。所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性。     

基于低噪声运放的传感器前置放大器设计

随着低噪声运放技术的发展，基于低噪声运放的传感器前置放大器将得到越来越广泛的应用。与分立元件的传感器前置放大器设计相比，基于低噪声运放的传感器前置放大器设计面临一些新的挑战。探讨了基于低噪声运放的传感器前置放大器设计中的若干技术问题，包括低噪声运放的选择、同相放大与反相放大的选择、负反馈对噪声性能的影响、噪声匹配、外围电阻选择及合理布局布线。     

基于双微环结构的MZI型波长交错滤波器

为了改善全光纤马赫-曾德尔干涉仪(Mach-Zehnder interferometer,MZI)的传输特性,提出了一种基于双微环辅助型的MZI交叉复用器。根据其结构,利用信号流图推导出了该器件的输出表达式,并进行了数值模拟分析,得到了传输过程中的最佳结构参数。此外,还分析了耦合器耦合系数及传输损耗对该器件的影响。结果表明,改进后的MZI交叉复用器输出谱线更加接近方波,其25 dB截止带带宽和0.5 dB通透带带宽明显改善,其值分别为41.2 GHz和18.9 GHz。器件具有一定的抗偏差能力且传输损耗对滤波器消光特性的影响较小。     

应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究

介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺。选择了光刻胶,铬,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜,利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验,研究了刻蚀环境温度对保护膜的影响。对比与分析了多种试验结果并对其适用范围进行了适当的评价。     

高压油品传感器设计及性能研究

实时监测润滑油中的水、氧化物、金属颗粒等污染物,对风电、钢铁等行业的大型设备正常运转具有重要意义,而传统的油品传感器由于工作压力较低而使应用范围受限。设计一款高压润滑油多参数传感器,以液压油中水污染检测为例,测试该传感器在不同压力下的性能,并采用含水量0.8%（质量分数）的油液进行重复性实验。实验发现,该传感器可在0~18 MPa压力范围内工作正常,且传感器输出变化与油液压力变化具有较好的线性关系;当油液压力保持不变时,传感器输出稳定性较好;该传感器在高压环境中可以正常检测含水率的变化,且高压实验后的传感器在常压下的检测灵敏度变化小于1%,表明传感器具有较好的压力稳定性。     

基于虚拟仪器的光纤MEMS法-珀压力传感器复用系统

提出一种基于虚拟仪器的光纤MEMS法-珀压力传感器的空分复用系统,实现了多个光纤F-P传感器的准分布式实时测量。利用虚拟仪器技术,对传感器的反射信号进行采集和相应的处理,从而解调出传感器所受到的压力。传感器的反射信号以及所受压力值都能在图形界面上实时显示并保存。实验结果表明,该系统具有良好的线性、灵敏度和精度,复用能力强,能实现压力的准分布式测量,操作方便,响应速度快。     

现场总线基于知识的智能传感器故障诊断

智能传感器是现场总线控制系统中最基本的结构单元,智能传感器的正常工作对整个控制系统至关重要.根据总线中智能传感器的工作原理,对总线中的智能传感器采用基于知识故障诊断方法,描述了基于知识的故障诊断的系统结构模型.     

基于ZigBee可穿戴传感器的医疗监护系统

为了实现医疗设备的微型化、医疗监护的无线化,设计基于ZigBee可穿戴传感器的医疗监护系统,它能够扩大病人的活动空间,减轻监护人员的工作强度,降低医疗费用。系统采用病区／监护中心两层结构,利用可穿戴传感器采集病人体温、脉搏等生理参数,数据经过处理后送至无线通信模块,最后由ZigBee无线网络传输至监护中心。经过实验获得了病人生理参数,并与传统测量结果进行了对比。结果表明,系统稳定、可靠,很好地实现了病人生理参数的采集、传输和显示,符合设计要求。     

静电力驱动MOEMS可调谐滤波器的数值分析

分析了基于微光机电系统的可调谐滤波器在静电力驱动下的一些特性。介绍了一种自适应算法来解决静电力和结构的耦合问题,用这种算法并借助于有限元分析软件Ansys,计算了200μm×200μm矩形薄板在不同电压驱动下的变形,分析了三维变形对滤波器光学特性的影响。     

基于单片机的交互式负压仪设计

文章设计并实现了一种基于单片机的交互式负压仪。该负压仪能准确测量和控制导管中空气的压力并实时显示。针对负压仪较为特殊的工作原理,采用模糊PID复合控制算法对负压仪进出口阀门进行分程控制,来实现压力的自动调节。当空气中压强超过事先设定的上下限时,系统可报警。同时,负压仪实现了上位机和下位机的串口通信。