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一、前言 随着现代工业和科学技术的迅速发展,空间技术、高能物理、表面物理、电子工业、受控热核反应等许多尖端科学技术,对真空系统结构材料的预处理,提出了越来越高的要求。结构材料在超高真空炉中高温除气,被认为是目前世界上最有效的材料预处理方法[1]。迄今为止,不锈钢中最低的材料放气率,不是用其它处理方法取得的,而是通过超高真空炉高温除气获得的[2]。 为了满足超高真空结构材料的越来越高的处理工艺要求,有效地解决我厂超高真空产品的质量问题,我厂近年来研制成功了RC型快速冷却超高真空炉。见图1。这台大型设备从开始设计到研… 相似文献
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《真空科学与技术学报》2021,(8)
采用双通道气路转换法测量了铬锆铜材料的出气率。对经过150℃、保温24 h烘烤的铬锆铜,测得的出气率为2.89×10~(-10)Pa·L·s~(-1)·cm~(-2)(等效氮气),烘烤温度提升至250℃时,铬锆铜的出气率降低约一个数量级。铬锆铜在真空炉中进行400℃、保温24 h除气处理后,仅经过150℃、保温24 h烘烤,出气率即低至1.64×10~(-11)Pa·L·s~(-1)·cm~(-2),进一步提升烘烤温度,出气率变化不大。通过X射线光电子谱分析铬锆铜在不同温度下的表面成分。在250℃时,铬锆铜表面Cu的氧化物已经基本完全分解,在400℃时,铬锆铜体内的Cr析出至表面,降至室温,Cr仍保留在表面。铬锆铜表面氧化层成分的变化是造成其出气率差异的原因。 相似文献
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本文简要叙述小孔流量法测量材料出气率实验原理和实验装置。给出了无氧铜、不锈钢和低碳钢等十多种材料的常温出气率实验结果,探讨了各种加工工艺和清洗工艺对材料出气率的影响。 相似文献
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随着微电子封装向小型化、高密度化、高可靠性的方向发展,各行业对钎焊技术提出了高钎透率、高钎焊接头质量、材料具备高净化度等需求。高真空钎焊技术也随之日益普及、加速发展。该技术通过保障真空室的洁净度及焊接真空度,进而保障元器件的焊接质量及寿命。高真空钎焊技术要求真空钎焊炉具备高真空度、低压升率。高温下材料出气是高真空状态下炉体内的主要气源,直接影响着保真空时间。针对已组装完成的真空钎焊炉,本文进行了炉体材料表面放气、炉体压升率的理论研究计算;实际测试了真空钎焊炉所能达到的真空度及压升率;详细分析了高温下炉体材料表面出气特性;分析了不同温度对材料放气的影响;建立了一种材料放气-压升率模型,以期更好地指导真空钎焊炉设计。 相似文献
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随着炼钢技术的飞速发展,真空脱气处理技术成为减少钢中气体和非金属杂质的有效措施,其关键在于如何获得真空。本文以某厂利用蒸汽喷射泵的钢水炉外真空处理为例,介绍了真空系统的设备组成,阐述了真空泵的抽气理论,利用边试验边改进的方法来优化蒸汽喷射泵的抽气性能。最后,给出了钢水的真空脱气处理工艺及其效果。 相似文献
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真空热处理与可控气氛热处理、盐浴热处理相比有不少明显的特点,尤其对不锈钢等特殊材料的处理更是较佳的选择。本文针对真空热处理在精密合金(磁性、弹性材料等)、钛合金、高温合金及铜合金方面的应用进行了讨论和举例。介绍了市场真空热处理炉类别和功能,以利热处理行业技术人员的选择。 相似文献
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介绍了火箭发动机喷管真空加压钎焊技术工艺原理及特点,真空加压钎焊设备的结构和工艺过程。该技术工艺是对火箭发动机喷管夹层抽空,在达到钎焊温度时,炉膛内充入保护性气体,满足工艺所需0.8 MPa的外压力条件,对火箭发动机喷管形成真空钎焊与真空扩散焊两种焊接方式相结合的综合性工艺方法。 相似文献
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铁、镍基高温合金在真空热处理时往往表面生成少量氧化物,影响产品表面质量、抗拉强度及频率,其原因在于炉内存在气体污染。本文针对这一难题做了技术分析,找出了清除污染的措施,得出解决问题的办法。 相似文献
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极高真空校准室内残余气体的成分分析 总被引:3,自引:2,他引:1
用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。 相似文献