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本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(111)面和人造金刚石的(100)面为衬底材料,制备出了面积为20mm×20mm厚为10μm的多晶金刚石膜和面积为1.0mm×1.0mm厚为5μm的单晶金刚石膜。通过试验发现,源气体配比和衬底温度对薄膜质量起决定性作用。另外,衬底在反应腔中的位置对薄膜的生成也有很大影响。单晶金刚石膜制备过程中衬底金刚石的晶体取向与金刚石薄膜的生长及质量有密切的关系。在金刚石的(100),(110)和(111)面上分别获得了单晶金刚石膜和金刚石多晶粒子。选用扫描电镜、显微激光拉曼、反射电子衍射对多晶金刚石膜及单晶金刚石膜的性能进行了测试。 相似文献
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纳米金刚石的发展及其应用前景 总被引:1,自引:0,他引:1
利用负氧平衡炸药,在密闭爆炸罐内爆炸所获得的纳米金刚石单晶微粒尺寸一般在5~10nm.而以石墨为原料,通过TNT RDX混合炸药爆炸所制得的则是由纳米量级金刚石所构成的多晶金刚石.这两种类型的金刚石各有特点,它们均兼有金刚石和纳米材料的双重特性.文章就其发展历程、制备技术、应用领域及其潜在前景等做了简要的阐述. 相似文献
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概述工业金刚石从天然金刚石到HPHT金刚石再到CVD金刚石的发展。对比分析聚晶质CVD金刚石和单晶质CVD金刚石的力学性质与电子学性质。介绍聚晶质和单晶质CVD金刚石的新近应用,涵盖复合材料、医疗、电化学、热控技术、微电子机械系统(MEMS)、光学、电子学和声学等领域。阐述超纳米结晶金刚石(UNCD)的特性及其在MEMS、生物传感器、机械密封件与耐磨层以及超光滑金刚石薄膜应用的优异性能。 相似文献
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利用透射电镜和原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)研究了高温高压合成金刚石过程中金刚石单晶/镍基金属包膜的界面结构和形貌.分析表明:金刚石/金属包膜界面包膜一侧由Ni3C,Mn23C,γ-(Ni,Mn)和纳米级金刚石颗粒组成,未发现石墨结构;金刚石晶面的AFM形貌与所对应的包膜表面形貌相近,但又不互为负形;金刚石(100)晶面为细小的颗粒状表面,而(111)晶面呈现出有台阶的平直表面.结果表明:金刚石的生长不是源于石墨结构的直接转变.在高温高压下,金刚石/包膜界面至包膜熔体的温度梯度差异导致了金刚石晶面形貌的不同. 相似文献
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回顾了40多年来纳米金刚石研发的历史,重点介绍了爆轰法合成纳米金刚石的发展过程和人们所从事的各方面的研究、开发和生产的工作. 相似文献
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山东蒙阴天然金刚石多晶与Fe- C(H)系高温高压(HPHT)合成金刚石多晶的光学显微镜、拉曼光谱、光致发光谱及红外光谱等的对比研究表明,相似的金刚石晶粒形态、表面生长台阶、结构功能团及缺陷等决定着两者存在成因上的联系;而自金刚石多晶的深部至表面,缺陷的不同变化规律及金刚石晶粒间聚集方式的差异等暗示着两者的生长历史并不完全相同;天然金刚石多晶的形成可能经历早期快速成核—长大、中期长大及漫长的后期改造三个阶段;基于晶体成核、长大及后期改造的思想,从微结构、微成分的角度厘定金刚石多晶中的标型信息,有利于拓展金刚石找矿、地球深部重大科学问题探讨等的思路和方法,也有利于为高品级金刚石多晶的合成提供新的科学线索. 相似文献
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山东蒙阴天然金刚石多晶与Fe-C(H)系高温高压(HPHT)合成金刚石多晶的光学显微镜、拉曼光谱、光致发光谱及红外光谱等的对比研究表明,相似的金刚石晶粒形态、表面生长台阶、结构功能团及缺陷等决定着两者存在成因上的联系;而自金刚石多晶的深部至表面,缺陷的不同变化规律及金刚石晶粒间聚集方式的差异等暗示着两者的生长历史并不完全相同;天然金刚石多晶的形成可能经历早期快速成核一长大、中期长大及漫长的后期改造三个阶段;基于晶体成核、长大及后期改造的思想,从微结构、微成分的角度厘定金刚石多晶中的标型信息,有利于拓展金刚石找矿、地球深部重大科学问题探讨等的思路和方法,也有利于为高品级金刚石多晶的合成提供新的科学线索. 相似文献
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动压法已经成为纳米金刚石和多晶金刚石的主要合成方法,按照方法的不同又可以分成爆轰法、爆炸法和激光法等多种方法。文章论述了碳的雨贡纽状态方程和碳的高压相图。分析了爆轰法、爆炸法和激光法等几种不同方法合成金刚石的原理。估算出石墨直接转化金刚石所必须越过的势垒值为8.565×104J·mol-1,其激光源的功率密度不应低于2.534×105 W·cm-2。 相似文献
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文章对爆炸纳米多晶金刚石的结构形貌特性作了充分全面检测描述:X衍射曲线,Raman光谱曲线,X射线小角散射粒度测定,AFM,SEM,TEM电镜分析以及化学后处理后的各种成份含量分析。爆炸纳米多晶金刚石有三种颗粒形态:"晶核","原生聚晶颗粒"和"聚合聚晶颗粒"。"原生聚晶颗粒"呈球形由"晶核"集聚而成,但再不能用现代物理化学手段将其分离开来;"聚合聚晶颗粒"是由许多"原生聚晶颗粒"集聚而成的微米和亚微米级颗粒。"原生聚晶颗粒"的粒度是这种纳米多晶金刚石的特性显示,文中显示的"原生聚晶颗粒"粒度在50nm上下。开发了二种爆炸技术:成核爆炸技术和成核-聚合结合爆炸技术。由后者制作出的金刚石粉是最佳的抛光磨料,提出了有关爆炸纳米多晶金刚石的新理论。 相似文献