半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析

以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果。并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息。测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50%,无法满足规范中70%的要求。而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料。     

非单向流洁净室洁净度的理论计算与实验研究

目前在设计洁净室的空调送风系统时,送风量的确定多采用设计规范中的经验数据,这往往会使得所设计的换气次数过大,造成能源的大量浪费。为了减少这种现象的发生,需要依据洁净室室内实际颗粒物浓度和工艺要求的洁净度等级来建立颗粒污染物负荷控制换气次数的理论计算模型。本文在对原有洁净室理论计算模型进行完善和改进的基础上,建立了新的计算模型;而后通过实验方法对洁净室可能达到的一些典型条件进行了实际模拟,将实测结果与理论计算的结果进行了比较,并以此对理论计算模型进行了修正。通过理论和实验研究可知,洁净室室内的颗粒物浓度主要取决于室内的发尘量、换气次数的大小和洁净室室内气流组织形式。     

矢流洁净室的模型实验与数值模拟

针对矢流洁净室这种新型、节能的洁净室，本文用数值摸拟和模型实验两种方法对其进行了研究．模型实验实测了空态和静态两种工况下模型矢流洁净室室内流场和浓度场，给出了流场图和浓度场实测结果；数值模拟方法，根据ｋ─ε紊流模型，采用有限差分法，对两种工况下矢流洁净室室内流场和污染物的分布进行了计算机求解，得出室内流场图及污染物分布特性．通过对两种方法所得结果进行分析和比较，证明了矢沈洁净室净化的基本原理，得出矢流洁净空室内流场特点有利于其达到较高级别洁净度，且浓度场实测结果证明该种洁净空可以达到较高级别的洁净度。建议某些场合推广使用矢流洁净室。     

洁净室墙面装饰材料的选择对比

洁净室亦名无尘室或清净室,目前已是半导体工业和生物化学、医学、医药、食品等行业不可或缺的重要设施。随着我国经济的发展,洁净室会越来越多地应用于工业类电子厂房、制药厂,医用类的手术室、重症加护病房ICU、烧伤病房、食品加工厂等场所。1洁净室对室内饰面装饰材料的要求(1)其建筑围护结构和室内装修应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修需附加构造骨架和保温层时,应采用非燃烧体或难燃烧体。(2)室内墙壁和顶棚的表面应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求;应减少凹凸面,将阴阳角做…     

矢流洁净室的模型实验研究

本文对矢流洁净室进行了模型实验研究。建立了矢流洁净室模型实验台,实测了矢流洁净室的速度场和浓度场,并测出矢流洁净室的气流流型。对实验结果进行分析和比较,得出矢流洁净室室内流场的基本特点。浓度场的实验结果表明,矢流洁净室可以达到较高级别的洁净度。矢流洁净室可应用于实际工程中。     

矢流洁净室静态模型实验研究

本文对矢流洁净室进行了静模型实验研究,实测了静态工况下模型间内的速度场,并在室内设置点污染源,实测了室内浓度场,得出了这种洁净室的污染物分布特性。实验结果表明,矢流洁净室内气流流型属于空气洁净技术中较为合理的气流流型。     

某玻璃基板加工厂房净化空调系统设计

介绍了空调冷热源、水系统、风系统及自控系统的设计。基于该项目的实际需求,在ISO 5级洁净室采用了非单向流的气流组织,并采用了温度、相对湿度和洁净度独立控制等技术措施,在满足环控目标的同时节约了初投资和运行费用。项目已成功通过验收测试并实际运行了3 a,所有洁净室的室内参数均满足设计要求,可为同类工程的设计提供参考。     

关于某项目洁净室内FFU供电方式的探讨

对某项目洁净室内FFU的两种不同配电方式进行了探讨,分别阐述了两种配电方式的优点及工作原理,并指出FFU作为洁净室洁净功能的核心设备,直接关系到洁净室的洁净度,选用供电方式时必须考虑供电的可靠性.     

洁净室防静电系统设计

本文主要介绍了静电是如何产生的,洁净室内静电产生的各种危害,如何设计洁净室防静电系统     

栏首语

<正>在洁净室中使用的空气净化装置,是将室内空气吸入,经过滤后再送回室内,不断自循环以减少悬浮微粒,提高空气洁净度。常用于在室内局部形成较高的洁净度,有的还要求空气净化装置能够去除各种极低浓度的化学污染物。洁净室技术从理论研究到系统应用已形成了一套完善的体系。半个多世纪以来,西方发达国家中过敏人群占人口比例越来越高。控制污染源、通风稀释与