气体工业名词术语

高纯气体（ＨｉｇｈＰｕｒｉｔｙＧａｓｅｓ）通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮、氢、氩、氦而言，通常指纯度等于或高于９９．９９９％的为高纯气体；而对于氧气，纯度为９９．９９％即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为９９．９９％的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气、保护气和配制混合气的底气。医用气体（ＭｅｄｉｃａｌＧａｓｅｓ）用于医学诊断和生命救助的气体称医用气体。医用气体包括２０余类，其中主…     

SEMI标准关于电子气分析方法概述

电子气是半导体工业必不可少的基础原料,其纯度决定了半导体器件的质量和性能。本文概述了国际半导体设备材料产业协会(SEMI)现行电子气标准中气体种类、纯度要求及其应用状况,主要综述了H_2、O_2、N_2、CO、CO_2、烃类、水分等常见杂质和金属离子、氟离子等特殊杂质的检测方法及其原理。     

高纯气体处理设备的电解抛光

前言需用超高纯气体的半导体工业是现在发展最快的工业之一。为了满足需要,特气生产者不断开发了先进的分离、提纯和配气技术,可得到各种有保证的纯度等级的特气,其中包括7级(99.99999％)的特气。这是工业中应用的最纯气体。为了防止这些超纯气体被二次污染,气体钢瓶及有关气体处理设备应尽可能达到清洁和化学稳定。本文说明电解抛光是达到这一目的的最好方法。     

高纯液氧、液氮的研制及其供应

电子工业的迅速发展是现代科学的重要标志，大规模集成电路的生产技术更体现一个国家工业发展的水平。高纯氧、氮、氢、氩等气体，是半导体电子器件、集成电路生产工艺中必不可少的原料。这些气体纯度的高低，是直接影响电子器件质量和成品率的重要因素之一。世界工业发达国家的半导体集成电路生产工艺，不仅普遍应用高纯气体，而且有90％以上是采用高纯度液态气体直接汽化的输送气体。     

三氟化硼制备及纯化进展

三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯.     

高纯气体中粒子源的测定

对高纯气体进行粒子分析在半导体生产中已普遍用于质量管理,以确定气体纯度是否符合规定要求。例如,SEMI最近已通过一项规定,管道氮气和氩气经过滤后,大于0.2μm的粒子含量每立方英尺(scf)不得多于20粒。因此,在一个新的供气系统投入运行以前,应使用动态粒子计数器对全部系统进行测定,以保证粒子达到规定要求。另外,计数器还要对整个系统进行连续监测,以保证管道供气期间保持纯度。现在,用户和供     

高纯气体输送装置的洁净

随着电子工业的发展和大规模集成电路的研制与生产，高纯气体已成为电子工业不可缺少的材料。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度和洁净度要求不同，但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的，总是使半导体产品质量劣化，成品率下降。例如，高纯氮、氢和氩气中有氧和水份时，会使半导体产品表面生成氧化膜；有碳化物时，会使半导体产品发生漏电；若有金属微粒子时，会使半导体产品出现漏电、耐压不良、晶格缺陷和断线等现象；如有其它尘埃粒子，同样会使半导体产品出现晶格缺陷和断线现象。     

腐蚀性电子气体中痕量水分的去除研究进展

电子级氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)和氟化氢(HF)等高纯气体是半导体领域不可或缺的原材料之一,作为芯片先进支撑的一类核心气体主要用于芯片制造中的硅片蚀刻等工艺。随着电子行业的飞速发展,对电子气体的纯度要求越来越高。HCl、HBr和HF电子气体具有腐蚀性和强烈的亲水性,且遇水后腐蚀性增强,损耗设备,影响气体纯度,因此对其纯化过程中水分杂质的去除提出了严苛的要求。介绍了近年来腐蚀性电子气体HCl、HBr和HF中痕量水分的去除工艺;展望了HCl、HBr和HF电子气体的发展前景。     

特种气体市场及应用

由于气体产品种类很多,其分类和定义被厂家规定得五花八门,很不一致。因此,要确切地对所有气体产品作一分类和定义颇为困难。只能根据一般情况对气体的概况加以比较切合实际的分类。气体产品大至可以分为两大类别,即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大,但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种…     

气体工业名词术语

特种气体　（Ｓｐｅｃｉａｌｔｙｇａｓｅｓ）系指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。电子气体　（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｇａｓｅｓ）　半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和…     

超高纯气体纯度保持法

本发明论述的是有关使充装在钢瓶中的纯度为99．999％及其以上的超纯气体或液化气体，为使其纯度不降低而保存，以及在间断或连续使用时，保持其纯度不变的方法。     

气体中微量水份的测定一露点法和氧化铝电容法

在半导体材料及电子器件生产中，要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体，气体纯度严重影响产品质量。如氢，氮等气体及其流经的系统中的水份和氧，对硅及Ⅲ一V族化合物是极其有害的杂质。在硅外延工艺中，氢中水份达100vpm时，硅外延层会变成多晶结构。在MOS大规模集成电路的硅栅多晶薄膜工艺中，若稀释气体中含有微量水份，使多晶硅薄膜中夹有“氧化硅集团”，从而在刻蚀多晶硅薄膜时，造成多晶硅脱落，致使电学性能变坏。由上可知，对高纯气体及其流经系统中的微量氧和水份必须进行监测和控制。     

国外气体公司消息三则

2008年3月13日，在北京第六届中国国际科学仪器及实验室设备展览会上。美国空气制品公司发布了Experis特种气体系列产品和BIP气体净化技术，该产品和技术可满足用户对测试结果精确性的要求。据介绍，Experis系列为最高纯度的气体产品，包括氦气、氩气、氮气和最精确的校准混合气体。该公司还提供高质量的气体控制设备，包括钢瓶校准分析仪、集合真空管、净化系统、压力计以及设备设计等。应用BIP技术可在高压下净化气体，得到杂质含量很低的气体，并能确保气体纯度的一致性。     

氢气纯度奥氏气体分析仪的校准与不确定度评定

氢气纯度奥氏气体分析仪是一种监测生产氢气纯度的仪器,目前国家还没有检定规程或校准规范用于该类分析仪的检定或校准。因此解决氢气纯度奥氏气体分析仪的校准已成当务之急。文章给出了一种使用有证标准气体对奥氏气体分析仪进行校准的方法,并给出了测量不确定度的评定方法。     

气体屏蔽过滤器

气体屏蔽过滤器杉浦博文１半导体制造业用气的过滤器近年来，在半导体行业的高纯气供给系统中，气体过滤器是除粒子、水份及有机物必不可少的装置。但由于安装了气体过滤器，其滤芯自身磨粒清落引起粒子增加、过滤器材质脱气、或腐蚀性气体对过滤器材质的腐蚀、压差等会产...     

电子气体主要杂质分析方法综述

概述了电子气体的种类、纯度以及其应用状况,综述了电子气体中几种常见杂质不同的分析方法以及特殊气体的不同处理方法,指出了电子气体分析方法的重要意义及发展前景。     

西德MG公司对钢瓶中剩余气体的处理

半导体用气大多是可燃性、腐蚀性极强的气体。一些带有剩余的毒性、腐蚀性或可燃性气体的钢瓶,由于长期存放或被忽视,加之气候影响而被腐蚀。腐蚀严重者会出现泄漏。可燃性气体的泄漏,能引起爆炸和火灾。毒性气体的泄漏,会给人的健康、生命造成很大的危害。因此,已严重腐蚀的钢瓶中的剩余气体如不及时排放掉,将是严重的危害隐患。     

新型高效气体净化剂

我组从60年代起,在超纯气体制备、气体分离、气体净化和分析检测等方面进行了研究与开发。近几年来,研究出的新型高、效气体净化剂,主要性能指标处于国内外领先地位,已在半导体电子工业、冶金工业、石油化工、金属有机合成及某些新技术领域中得到广泛应用。现将几种新型高效气体净     

半导体工业对特种气体的要求

特种气体在国防、化工、电子、冶金、能源等现代科研部门和国民经济的一些领域中有着广泛的用途。尤其是对于电子部门中的半导体领域，这类气体更显得重要。从半导体材料、半导体器件、集成电路的制造到半导体材料、器件的理论物理的研究都离不开各类特种气体。也就是说，如果没有合格的高纯、超纯气体和各种组成的混合气体就制造不出成品率高的集成电路，也就没有电子计算机。     

八氟环丁烷的纯化技术研究进展

随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。