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通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感,其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感,而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感,这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层(聚偏二氯乙烯,厚度约为40μm)、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成,其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内,比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明:与三文治结构电感和全磁膜电感相比,特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容,但损耗较后两者高。 相似文献
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将薄膜电容、电阻、电感等无源等无源元件同微带电路导体集成一体化是微波电路向毫米波频段发展的重要工艺手段。实验应用薄膜制造设备、选择适当的材料,把握关键工艺参数可以实现薄膜电容的集成。文章分析了薄膜电容针孔短路和膜层附着力等问题,并提出了相应的解决办法。 相似文献
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等离子体聚合有机化合物六甲基二硅胺烷(HMDSN)讨论了等离子体聚合有机硅薄膜聚合过程和有关机理,在高频等离子体聚合系统中合成的聚合条件是高频电源功率为100V,频率为5.4Hz,用电感偶合到真空放电管,氩(Ar)气和有机硅单体的比例为1:2。有机硅热玻璃基片上的聚合速率为2.5-5nm/min。聚合薄膜无色透明,折射率1.1;介电常数3.2;窠质损耗正切0.04,随温度而变化,电阻率为10^14Ω.cm。用红外吸收光谱检测表明薄膜分支少,聚合度高。 相似文献
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光学薄膜、光电子薄膜及光学有机薄膜 总被引:2,自引:0,他引:2
科学的发展正在改变传统的光学薄膜的面貌,其应用也由原来的纯粹为光学仪器服务,逐渐渗透到通信、建筑、防伪、医疗和空间技术等领域,而新工艺、新材料、新技术的采用,或用来提高其性能,或与其他薄膜结合构成新的器件,如与电学膜结合起来的光电子薄膜,与高分子有机材料结合起来的光学有机薄膜。这些薄膜有着潜在而十分广阔的应用前景,成为国内外学者竞相研究的课题。 相似文献
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采用激光微熔覆方法制备了空芯薄膜电感,着重研究了激光功率密度对电感线宽影响,以及薄膜电感的结构参数变化对电感电性能影响。结果表明,线宽随激光功率密度增大而增大;电感量随着圈数增多、中心线间距增大、线宽变大而增大。通过优化激光工艺和结构参数,制备了面积5 mm×5 mm和9 mm×9 mm,线宽100 μm和120 μm,线中心间距250 μm和500 μm,圈数8和16,厚度1 μm的空芯回字型电感,在测试频率100 kHz~1 MHz条件下,电感量为240 nH±3 nH~1.2 μH±3 nH,单位面积电感量可达14.81 nH/mm2。通过实验证明,采用激光微熔覆法制备的微电感,在同样形状和面积下,可提高电感量。 相似文献
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本文介绍了金刚石薄膜和类金刚石薄膜的制备与薄膜性能分析方法,也介绍了它们的应用前景。本文给出了华北光电所研究类金刚石薄膜的结果。 相似文献
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金刚石薄膜的低温合成技术 总被引:1,自引:0,他引:1
本文综述了国内外低温和室温合成金刚石薄膜的发展现状和动态,介绍了几种典型的低温和室温合成金刚石薄膜的方法及工艺特点,给出了低温合成金刚石薄膜的一些基本规律。 相似文献
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介绍了一种用棱镜耦合法测量吸收性薄膜波导参数的一种方法,它是由测得棱镜底部反射光斑中模的吸收线位置来确定薄膜的折射率和厚度。结果表明,此方法无需进行大量的计算就能同时精确地测量薄膜的折射率和厚度。给了两种吸收不同的薄膜波导参数测量结果。 相似文献
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用射频(RF)溅射法在镀LaNiO3(LNO)底电极的Si片上沉积PbZr0.52 Ti0.48 O3(PZT)铁电薄膜,沉积过程中基底温度为370℃,然后在大气环境中对沉积的PZT薄膜样品进行快速热退火处理(650℃,5min).用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)测量其组分,X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的结晶结构和取向,扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜的表面形貌和微结果,RT66A标准铁电综合测试系统分析Pt/PZT/LNO电容器的铁电与介电特性,结果表明,PZT薄膜的组分、结构和性能都与溅射沉积功率有关. 相似文献
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金刚石薄膜半导体器件 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了金刚石薄膜的性质、当今金刚石薄膜半导体器件的技术、水平和性能。分析了金刚石薄膜作为半导体器件的优异性能、金刚石相地于硅的半导体器件性能的改善和存在的问题中,并指出实现金刚石薄膜半导体器件的障碍。 相似文献