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介绍了一种间歇悬浮式厚胶显影工艺,采用该种显影工艺,对使用SU-8光刻胶进行涂胶,胶层厚度大于30μm的晶片进行显影。显影后的晶片进行电镀工艺,经过对显影后晶片上图形的观察和对电镀凸点的分析,证明该种显影工艺具有很好的效果。 相似文献
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铅最常用于端子的电镀或是多数无源电子元器件的连接端之中.此外有些器件也在其内部构成中使用铅。在过去的两三年中.许多主要的元件制造商一直在研究无铅电镀和焊接工艺。他们把部分或分部产品线都改造成了纯锡终端电镀.或向无铅焊接过渡.最常见的是锡/银/铜组合。 相似文献
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《电子工业专用设备》2022,(1):20-24
电镀是一种良好的实现金属沉积的电化学工艺方法。为探索电镀技术在大马士革工艺中的应用,先介绍了电镀的基本理论,然后阐述了双大马士革的工艺流程,继而从电镀液和脉冲电镀方面分析了电镀对大马士革工艺的影响。结果表明镀液中的Cl-对电镀有催化作用,脉冲电镀比直流电镀所需的时间短,电流密度对镀层的生长方式影响不大,脉冲时间对填充速率有重要影响。最后提出,应该从电镀设备、电镀液、工艺参数各方面进行研发,从而改善电镀效果,促进集成电路产业的快速发展。 相似文献
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根据电镀基本原理和实践,提出了科学实用的电镀工艺条件。详细分析并指出了影响MLC三层膜电镀质量的十大因素,探讨了产生质量问题的原因和解决问题的方法。电镀设备对电镀质量有直接影响,使用VB-6型振动吊篮能提高电镀的均匀性和可靠性。 相似文献
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挂式电镀是现代电镀技术中的一s种通用工艺,由于其结构的特殊性和使用镀液的不同,其维护工作相当困难和繁杂。根据作在生产实践中积累的经验,对挂式光亮电镀中常见的镀层麻点、发白、烧焦等问题进行分析,并对相应的解决方法进行探讨。 相似文献
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本文对多层印制板穿孔及电镀(PTH)的Phoenix制程进行了简单介绍,对该制程的工艺过程和品质控制进行了较为详细的论述。 相似文献
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脉冲电镀,是目前国内竞相研究和应用的一项新的电镀工艺,在国外一些国家的电子工业和贵金属电镀工艺中,使用已日趋普及,在研制微波器件和集成电路工艺中,不仅需要镀金的环节很多,而且对镀层性能有较高的要求.1981年,我们从解决直流电镀金层的应力较大的问题入手,开展了脉冲镀金的研究,实 相似文献
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文章主要就普通垂直电镀设备下0.15mm的微盲孔电锡蚀刻保护工艺进行阐述,详细讲述了该工艺条件下的工艺参数控制。 相似文献
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应用于MEMS封装的TSV工艺研究 总被引:1,自引:1,他引:0
开展了应用于微机电系统(MEMS)封装的硅通孔(TSV)工艺研究,分析了典型TSV的工艺,使用Bosch工艺干法刻蚀形成通孔,气体SF6和气体C4F8的流量分别为450和190 cm3/min,一个刻蚀周期内的刻蚀和保护时长分别为8和3 s;热氧化形成绝缘层;溅射50 nm Ti黏附阻挡层和1μm Cu种子层;使用硫酸铜和甲基磺酸铜体系电镀液电镀填充通孔,比较了双面电镀和自下而上电镀工艺;最终获得了硅片厚度370μm、通孔直径60μm TSV加工工艺。测试结果证明:样品TSV无孔隙;其TSV电阻值小于0.01Ω;样品气密性良好。 相似文献
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《电子工业专用设备》2019,48(3):81-82
<正>为先进半导体制造厂商提供湿法设备的盛美半导体设备(ACM Research)在SEMICON China2019期间举办新产品发布会,会上推出了三款差异化新产品:多阳极局部电镀铜设备,先进封装抛铜设备,以及Tahoe高温硫酸清洗设备,3款设备将助力芯片厂商大幅度提升盈利能力。多阳极局部电镀铜设备多阳极局部电镀铜设备主要应用于40 nm和28 nm及以下工艺节点的铜金属层沉积,采用多阳极局部电镀工艺,可实现电镀初始阶段就做到均匀电镀,实现完全的无气穴填充,帮助客户提升 相似文献
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高新技术在印制电路板电镀中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
电路板制作对电镀质量的要求很高,由于传统的垂直电镀工艺无法满足日新月异的电路板生产,因此需要研究发展高科技含量的电镀工艺和改进传统的工艺技术。文章综述了当前常用的高新技术含量的电镀工艺。 相似文献
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主要介绍VF填孔添加剂在电镀填孔中的应用,包括工作原理、流程设计、工艺参数、.电镀效果和影响填孔效果的因素。 相似文献
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