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通过对RF—PECVD技术沉积氢化非晶/微晶硅(a—Si:H/μc—Si:H)薄膜沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体的光发射谱(OES)原位测量,系统地研究了不同的等离子体工艺条件下,特征发光峰强度(ISiH、IHα和IHβ)的变化规律。结果表明:随着SiH4浓度增大,ISiH^*单调增大且在不同浓度范围内变化快慢不同,而IHα和IHβ峰表现为先增后减的变化,最大值位于3—5%的SiH4浓度之间;工作气压的增大,各特征发光峰均呈现出先增后减的变化,但最大值对应的工作气压点有所不同;增大等离子体功率,所有的特征发光峰单调增加,但在不同的功率区间内变化快慢存在明显差异;气体流量在40一75sccm范围内变化时对特征发光峰的影响最为显著,更低流量时变化很小,更高流量则趋于饱和;衬底温度不仅影响生长表面的发应,对SiH4分解机制的影响不容忽视。 相似文献
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大气压大体积非平衡等离子体技术对燃烧和激光等领域的发展起到了良好的推动作用.本文以解决大气压下放电不稳定性问题为主线,介绍了阵列式针状阴极放电、毛细管介质阻挡放电、等离子体阴极放电、微空心阴极放电以及微空心阴极辉光放电发生器的结构特点和设计思想,分析了不同放电装置的优势与不足,总结了目前实际应用中大气压大体积非平衡等离... 相似文献
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放电准分子激光器的泵浦强度引言众所周知,准分子激光器要求相当高的泵浦强度水平。放电准分子激光器中一般的泵浦强度为每立方厘米几十兆瓦到几兆瓦[‘-’],而且对于某些类型的准分子激光器,从最大泵浦效率的角度来看,这一参数的最佳值完全不同。例如,对于含氟气... 相似文献
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首先综述了微空心阴极放电的基本原理,然后详细论述了微空心阴极维持的辉光放电(MCSD)以及MCSD的放电参数对产生大体积高压辉光放电等离子体源的影响,最后论述了MCSD运行方式对产生高压辉光放电等离子体源的影响。 相似文献
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讨论了高频辉光放电等离子体繁育中绝缘衬底表面的自负偏压问题,用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。 相似文献
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介绍一台放电泵浦的XeCl准分子激光器。其最大单脉冲能量550mJ,在280Hz工作时输出功率达106W。 相似文献
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脉冲放电时间对XeCl准分子激光输出的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了脉冲放电时间对X光预电离XeCl脉冲雪崩放电激光器激光和荧光特性的影响。结果表明限止放电型XeCl准分子激光脉冲持续时间的因素是HCl在放电过程中分解产生的H对XeCl(B)态的猝灭效应。 相似文献
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在一台X射线预电离的XeF(B→X)准分子激光器中,我们应用磁开关隔离的预脉冲-主脉冲放电激励电路和磁脉冲压缩技术,研究了激光输出能量和转换效率对气体组份、总气压、电路参数和延迟时间的依赖关系。 相似文献
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工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求 ,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展。并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能、高功率准分子激光器研究进展 相似文献
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微空心阴极放电与准分子光源 总被引:2,自引:1,他引:2
微空心阴极放电是一种新颖的、非平衡、高气压辉光放电.综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响;最后论述了微空心阴极放电的运行方式(串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响. 相似文献
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高效率放电抽运KrF准分子激光器 总被引:4,自引:2,他引:4
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。 相似文献