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用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片。根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光加工后的微结构,并得出准分子激光对不同材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系。结果表明,PMMA和PC都能够完全吸收KrF准分子激光能量,可以用准分子激光在表面进行微加工制作生物芯片;用PMMA制作出的生物芯片,在使用时对检测结果的质量影响比PC小;对于相同的入射激光能量密度,准分子激光对PMMA的刻蚀率比PC高;由于与准分子激光之间的反应机理不同,PMMA更容易被加工,但是加工后的微结构质量较PC差。 相似文献
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颜严 《激光与光电子学进展》2002,39(1):57-58
在通信、微电子和生物医学技术等领域中,紫翠宝石激光打标和材料加工应用正崭露头角。目前这些工业中占主导地位的仍是准分子、CO2和Nd:YAG激光器,随着人们对紫翠宝石激光器优良特性了解的加深,它也将汇入这个家族。准分子(EXC;308nm),紫翠宝石(ALX;380nm),CO2(CO2;10.6μm)和Nd:YAG(YAG;355nm)激光都能在微电子工业中制造并使用的陶瓷片电容器上打标,但质量各不相同,紫翠宝石最好,准分子其次,Nd:YAG再次,CO2最差。 紫翠宝石激光器最先由新泽西州联合信… 相似文献
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613《准分子激光烧蚀进行材料断面元素分布分析技术研究》范永昌(华中理工大学激光国家实验室)P.EDver;P.H.Key(英国赫尔大学应用物理系)613《准分子激光烧蚀进行材料断面元素分布分析技术研究》@范永昌$华中理工大学激光国家实验室... 相似文献