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聚酯型光刻胶是国内常用的光刻胶,其特点是分辨率高,可以刻蚀1~2μm的细线,因此在集成电路器件工业中常用于刻蚀细线。国内目前生产的聚酯型光刻胶是聚肉桂叉丙二酸乙二酯(乙胶),虽可刻蚀细线但抗蚀性较差,如提高其分子量以满足抗蚀性,则又仅可用于刻蚀4μm左右的线条。我们最近研究成功的JZ—YD胶(乙丁 相似文献
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本文合成了N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺单体,并将其与N-苯基马来酰亚胺共聚得到共聚物聚N-(p-羧基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(NCMA-co-NPMI)).将此共聚物作为成膜树脂,与感光剂、溶剂等复配得到一种新型耐高温紫外正型光刻胶.本文探讨了该光刻胶的最佳配方组成和最佳光刻工艺.最佳配方组成为:15%—20%成膜树脂,4.5%—6%感光剂和70%—80%溶剂;最佳光刻工艺为:匀胶30 s(4000 rpm),前烘4 min(90℃),感度为30—35mJ/cm~2,在0.2%TMAH溶液显影10 s和后烘2 min(90℃). 相似文献
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在JS-4紫外正性光刻胶(光敏剂为2-叠氮-1萘醌-5-磺酸-双酚A酯)中加入添加剂后,经过涂布,前烘,掩膜触曝光,加热,全面曝光,碱液显影及刻蚀等使用步骤,可得与掩膜上图案相反的图像即负像;若无加热及全面曝光步骤,则得正像。添加剂的类型对光刻胶的两重性具有重要作用。本文通过实验筛选出碳酸胍,硝酸胍,苯胺以及苯并咪唑等添加剂,可使JS-4正性光刻胶具有两重性,即可得正图像,也可得负图像。除苯胺外, 相似文献
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从市场、产业链、技术等方面分析国内光刻胶的发展现状;通过梳理半导体产业链及光刻胶行业的发展史得出,市场、光刻机以及光刻胶上游原材料技术是发展半导体光刻胶的关键成功要素.目前,上游原材料树脂技术是我国光刻胶产业链最薄弱环节.建议在合成树脂方面具备资源及技术优势的石化企业把握时代趋势,充分发挥自身优势,并购先进企业或引进国... 相似文献
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卡尔费休容量滴定法测产品中的水含量,具有分析速度快、精度高等优点,但使用过程中,对一些环节掌握不准会影响到测试结果的准确性,本文就影响分析准确度的因素做了一些探讨。 相似文献
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介绍利用卡尔·费休法测定湿法磷酸中水分的方法原理及测定结果.该方法快速、准确,可测定不同浓度和杂质含量磷酸中的水分. 相似文献
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卡氏水分测定仪测量准确度的影响因素 总被引:2,自引:1,他引:1
文章介绍了一种用于水分含量测定的方法——卡尔.费休法,分析了该法的测量原理,讨论了样品的酸碱性、样品处理、样品量的多少及卡氏试剂的滴定度、副反应、漂移值、电极感应等多个方面因素对卡氏水分测定仪测量准确度的影响,为水分分析测试研究人员提供参考。 相似文献
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新型无毒无味卡尔.费休试剂的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
对原卡尔.费休试剂进行了改进。以无毒无味的咪唑代替了原试剂中的吡啶,并以乙醇代替了试剂中的甲醇,制成了无毒无味的卡氏试剂。对由卡尔.费休试剂组成的电解液进行了改进,用碘化物代替碘,解决了长期储存和问题。 相似文献
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丙交酯中残存乳酸和水的定量测定 总被引:8,自引:0,他引:8
定量地知道丙交酯中残存的乳酸和水的量,有助于在丙交酯的提纯和聚合中对工艺过程进行更精密的控制。用甲醇钠非水滴定法、卡尔-费休法对熔点为127℃的丙交酯样品进行了定量分析试验,测出残存的乳酸和水的质量分数分别为0.09%和0.07% 左右,回收率分别为98.64% ~101.2% 和98.74% ~101.1% 。实验表明,这两种方法可分别定量测定丙交酯中残存乳酸和水,且简捷实用。 相似文献