基于FIB-SEM双束系统的纳尺度真空间隙电学特性原位实验装置

纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题.一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子器件的特征物理尺寸已经逐步降低到微米、纳米甚至是分子原子尺度,并且在军事和民用领域得到越来越广泛的应用;另一方面,传统的放电击穿理论和绝缘性能评价方法无法用来解释和预估微纳尺度的放电特性和绝缘水平.因此,本文基于聚焦离子束和扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统,借助纳米压电位移技术和微弱电流测量技术,建立了纳尺度真空间隙电学特性的原位研究系统.该系统不仅能够进行微纳尺度(曲率半径为15 nm~10μm)金属电极的原位加工,材料组成成分的定量分析,而且可以实现纳尺度真空间隙(>20 nm)的放电特性研究,为纳尺度击穿规律和绝缘特性的实验研究提供了有力的支撑.     

纳电子系统、微系统

纳代表的意义有两重:一是真正的10-9,如电子器件的尺寸进入纳米范围可称为纳米器件或纳器件;另一层意义是表示“比微更小”,例如我们把重几十公斤的人造卫星叫小卫星,重几公斤的叫微卫星,重1公斤以下的则叫纳卫星。显然,对于信息处理芯片中的系统,如在系统前冠以纳替代当前的微,称为纳系统,它决不是纳米系统,而是下一代的“微”系统。如果在定义纳器件时把纳米级的传统MOSFET仍叫亚微米、深亚微米器件,只把纳米结构的、但突破了传统电子器件工作机理的新器件如量子器件等称为纳米器件,那么,我们可以把用新的、非传统信息处理机理为基础的…     

《微光学和纳米光学制造技术》介绍

微纳米光学的重要特征是光学结构和器件的特征尺度在微纳米量级,是微纳米技术与微电子、激光、光电子、通信等多学科交叉而迅速发展起来的一门科学。微纳米光电元件和系统在发展上最重要的优势,除了具备体积微型化、重量超轻、集成化、规模化和低成本外,更值得注意的是可以通过微纳光学制造技术,预先能够将     

高斯电子束曝光系统

电子束光刻技术是纳米级加工技术的主要手段,在纳米器件加工、掩模制造、新器件新结构加工中扮演举足轻重的角色。虽然现在最先进的电子束聚焦技术可以得到几个纳米的电子束斑,但是由于邻近效应问题,依然很难使用电子束光刻技术得到接近其理论极限的纳米尺度图形,对电子束曝光系统的基本原理及其邻近效应校正技术进行了研究,并得到一些比较理想的曝光结果。     

从MEMS到NEMS进程中的技术思考

回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望。     

高功率激光系统中的小尺度自聚焦研究

概述了高功率激光系统中小尺度自聚焦产生的机理及相应的评价标准和分析方法,重点对激光经过钕玻璃介质和频率转换晶体的小尺度自聚焦情况进行了分析和讨论,同时介绍了两种测量小尺度调制增长的方法。针对高功率激光系统,阐述了抑制小尺度自聚焦的几种方法,提出通过控制小尺度调制增量,减少高功率激光的非线性效应对光学元件损伤的方案。指出了聚变级高功率激光技术中非线性效应研究的发展趋势。     

电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用

电子束光刻是微电子技术领域重要的光刻技术之一,它可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形.随着电子束曝光机越来越多地进入科研领域,它在微纳加工、纳米结构的特性研究和纳米器件的制备等方面都呈现出重要的应用价值.本文以几种常见的电子束曝光机为例,说明电子束光刻的工作原理和关键技术,并给出一些它在纳米器件和微纳加工方面的应用实例.     

微纳光子学亚波长器件研究的重要进展——逆向干涉相消法提高波分复用器透射效率50%

据www.opt.ac.cn网站报道,微纳光子学主要研究在微纳尺度下光与物质相互作用的规律及其光的产生、传输、调控、探测和传感等方面的应用。微纳光子学亚波长器件能有效提高光子集成度,有望像电子芯片一样把光子器件集成到尺寸很小的单一光芯片上。纳米表面等离子体学是一块新兴微纳光子学领域,主要研究金属纳米结构中光与物质的相互作用。它具有尺寸小、速度快和克服传统衍射极限等特点,有望实现电子学和光子学在纳米尺度上的完美联姻,将为新一代的光电技术开创新的平台。金属-介质-金属F-P腔是最基本的纳米等离子体波导结构,具有良好的局域场增强和共振滤波特性,是制作纳     

《微纳电子技术》征稿

《微纳电子技术》于2002年创刊(月刊),在短短的几年里,已成为中文核心期刊、中国科技核心期刊,并被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备,国际视点。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新材料、纳米测试与显微技术、MEMS与     

微系统与纳系统技术（上）

微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术最终开发目标之一,是21世纪技术发展的热点。作为IC的扩展和大规模微结构器件在小空间中的高度集成,我们的读者在陌生中可能会感到一丝熟悉。     

电力视频监控、会议电视融合系统探讨

介绍了视频会议系统和图像监控系统在电力系统应用的基本情况,阐述了两个系统融合的可能性、优缺点,并介绍了两种可行的融合方案,一种是通过视频矩阵进行融合的解决方案,另一种是通过统一协议建立起来的无缝融合系统的解决方案。     

UPS的接地系统

文中介绍国际标准IEC规定的低压接地系统,并对各种接地系统的性能进行分析;阐述UPS接地系统设计原则;提出适用于电信、数据、计算机等系统用UPS的接地系统电路结构;为UPS工程建设提供了实用的参考模式。 此文将于今年9月在美国圣地亚哥召开的国际电信能源会议（INTELEC2008）上宣读。     

电力视频监控、会议电视融合系统研究

近年来视频会议系统、图像监控系统在电力行业中得到了普遍的应用。随着应用的普及,用户提出了将两个系统融合起来的需求,本文介绍了视频会议系统和图像监控系统在电力系统应用的基本情况,阐述了两个系统融合的可能性、优缺点,并介绍了两种可行的融合方案,一是通过视频矩阵进行融合的解决方案,一种是通过统一协议建立起来的无缝融合系统的解决方案。     

浅谈现场总线控制系统与集散控制系统

首先对现炀总线控制系统及集散控制系统进行了简要的介绍，而后着重讨论了现场总线控制系统在实际应用中的一些问题，最后提出了工程应用中选择现场总线控制系统的一些建议．     

通信电源系统可靠性评估体系

文章通过对通信电源系统可靠性分析过程的重新整理,理顺高低压配电、楼层配电至UPS、开关电源系统整个环节的可靠性评估计算过程;将取值与计算体系化、规范化、可操作。通过该可靠性评估体系可以计算出各种类型的通信生产楼的市电不可用度、开关电源系统的不可用度、UPS系统的不可用度,对制约整个生产楼的可靠性瓶颈进行突出显示,为进一步的优化和改造提供数据支撑,提高供电可靠性和降低运行风险。     

嵌入式多板卡协同工作及热备份系统研究

嵌入式实时系统广泛应用于通信电子、航空航天、物联网等领域。嵌入式系统的稳定性、可靠性至关重要。文中对嵌入式系统多板卡协同工作及双板卡热备份机制进行了分析,给出了多板卡协同工作及热备份系统的基本架构,介绍了热备份设计过程中涉及到的心跳机制、控制信息设计、信息同步及IP冲突检测技术等关键问题,并结合应用实例给出了多板卡协同工作及热备份系统的设计步骤和方法,通过试验验证了设计的合理性和可靠性,为基于双板卡热备份系统的设计提供了一定的参考。     

公共广播系统中的三线制配线制式

１三线制的概念三线制是公共广播系统中的一种配线制式，适用于广播终端设有现场音量控制器而又能在紧急情况下强行插入紧急广播的场合。在公共广播系统中，某些广播终端，例如超级商场的办公室、酒店的客房，常常有必要配置现场音量控制器，以便用户根据自己的需要调节音量，或者完全关闭广播。典型的配置如图１所示。在图１中，有现场音控器的终端处于关闭状态。显然，这时任何紧急广播都无法插入。事实上，即使音控器不完全关闭而处于低音量状态，也不利于发布警报。为了实现紧急广播强插功能，必须引入一只强插继电器。最直观的办法如图…     

DARC系统在VICS系统中的应用

DARC系统是一种技术成熟,传输容量相对较大,适用于固定接收和移动接收的FM多工数据广播方式。重点介绍了DARC系统、VICS系统及DARC系统在VICS系统中的应用。