低温容器的氦质谱检漏

分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题,讨论了部分国产氦质谱检漏仪的应用特点。     

947型氦质谱检漏仪故障分析

扼要介绍947型氦质谱检漏仪的工作原理、故障原因及排除。     

真空开关管的压氦回收装置

简要描述了氦质谱检漏仪和氦气供给与回收装置在制冷行业中减少氦气消耗和控制制冷产品质量所发挥的重要作用.     

氦质谱检漏仪灯丝脆断故障的研究与解决

对氦质谱检漏仪灯丝进行研究,明确了灯丝脆断的原因,提供了一种灯丝自制方法,及核算方法和误差分析法,指出延长灯丝寿命的措施。     

氦质谱检漏仪的进展及应用

随着科学技术的发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展和完善。一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此两者的关系是相互补充、相互促进的。     

小型双极氦质谱检漏仪的研制和制造

本文扼要介绍自行设计的XH-701型双极氦质谱检漏仪的原理、特性、使用情况以及校正和存在的问题。也谈到制造中的一些情况。     

去除吸附氦试验及相关标准分析

介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氦试验,吸附氦漏率的测试是在Inticon公司Pemicka700H型积累氮质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的。给出了试验数据、拟合模式和结果,进而分析了最新的美国军用标准MIL-STD-750—1／883J氯质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可检测性．并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案。     

小型器件及电子元器件检漏技术研讨会在京举行

随着现代工业应用的迅速发展,用户对高性能、新技术检测仪器产品的要求越来越高。中国科学院北京科学仪器研制中心研制与生产的超高灵敏度氦质谱检漏仪及附属真空系统,是对密封容器的微量泄漏进行快速定位和定量测量的精密检测仪器。广泛应用于航天航空、     

有关检漏的两个问题

一、对氦质谱检漏仪灵敏度的要求和使用监视漏孔(标准漏孔)。从制管出发要求检漏达到这样一个水平:凡部件和整管有漏,要求检漏一定能检出来。凡经检漏的管子能存放几年而真空度不变。为了达到这个要求,一方面要求检漏仪有足够的灵敏度,另一方面仪器使用时要求处于对氦气灵敏的工作状态。     

真空设备的检漏

检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于10~(-7)托·升/秒,因而出现了氦质谱检漏仪。经过40年来的努力,质谱检漏仪的发展已趋成熟、完善,并向小型化、数字显示和自动切换量程,直接给出漏率值的方向发展。现在的灵敏度已达到10~(-13)托·升/秒的高灵敏程度。对任何一种真空设备或容器(包括电真空器     

集成式杜瓦组件真空寿命评测及影响因素分析

制冷机集成式金属杜瓦组件已广泛应用于256×256以上规模的红外焦平面阵列器件,杜瓦真空寿命成为制约探测器性能的关键指标。本文针此金属杜瓦组件通用结构,用氦漏率检测、静态热负载测试及高温加速实验等多种方法对杜瓦真空寿命进行了评测,并分析了影响杜瓦真空寿命的主要因素,对金属杜瓦研究具有实际意义。分析表明,真空寿命的主要影响因素包括漏气和放气,制造工艺改进可将金属杜瓦漏气控制在设计指标内,金属杜瓦内部放气可通过真空烘烤、安装吸气剂等方法消除,研制的杜瓦组件经验证真空存储寿命超过12年。     

锗测辐射热探测器性能的测试

为了银河系中心远红外的球载观测,采用了 Ge-Bolometer(锗测辐射热探测器)作为天体远红外辐射的探测器,由于气球的飞行高度在35km 附近,所以在球上的液氦致冷探测器的工作温度在1.7K 左右。本文讨论了在实验室中解决这样低温的致冷方法,最后讨论了探测器性能参数的测试装置和测试结果。     

基于ZigBee技术的填埋场渗漏检测系统研究

介绍填埋场渗漏检测的基本原理。针对便携式渗漏检测仪有线传输的弊端．研究基于ZigBee无线传输的渗漏检测系统,利用CC2431及采用ZigBee协议栈为平台。实现系统数据的无线传输,克服有线传输的局限性,减轻劳动强度。同时利用CC2431的定位引擎可很好地定位渗漏点,通过ZigBee技术将填埋场各个节点的信息与定位引擎计算的坐标传输给终端PC,实现基于ZigBee的填埋场渗漏检测与定位。经现场测试表明该系统满足设计要求。     

管道微小泄漏检测数据采集系统的设计

针对输油管道微小泄漏检测的特殊需求,以一种球形内检测器为载体,设计并实现了一套多传感器数据同步采集与存储系统,采用嵌入式ARM-Linux的方案。详细论述了该系统的整体结构、工作原理、硬件组成、软件设计等,并实验验证了该系统能准确地采集并保存所需要的信号,为后续准确识别和精确定位微小泄漏提供可靠的原始数据支持。     

CZT面元像素探测器的研制及其幅度修正技术的实现

根据CdZnTe（CZT）面元像素探测器基本原理,测试分析了像素阵列CZT晶体漏电流特性。建立了基于数字脉冲处理方式的11 mm×11 mm×3 mm尺寸4×4像素阵列CZT探测系统。采用137Cs 662 keV伽玛源测试得到探测系统响应脉冲幅度谱,平均能量分辨率为3.3%,全能谱峰（FWHM）为21.85 keV。...     

Simple alignment procedure for a helium?neon laser

A simple alignment procedure for a helium?neon laser is described. Using only an infrared detector and a selective amplifier, the method yields, in a few minutes, accurate enough alignment for oscillation to occur on the three main lines of the helium?neon laser.     

半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常.     

一种适用于微电子器件的密封漏气分析方法

关于微电子器件密封失效的分析方法多种多样,并且各有优缺点。对大漏孔的器件,通过氟油粗检可判断出漏气的具体位置。而对于漏孔较小的微漏器件,确定漏孔位置是非常困难的。根据气体分子机理和氦泄漏原理模型,提出了一种氦泄漏通道局部测试法来确定漏点的位置,从而解决了微漏器件漏点分析难题。通过大量试验数据对比分析,验证了该方法的有效性与准确性。     

用于红外探测器组件检测的超高灵敏度检漏仪

提出了一种采用累积法进行超高灵敏度氦质谱检漏的先进技术,基于该技术及相关材料特殊处理工艺设计并研制出了新型超高灵敏度检漏仪器,检测灵敏度优于8×10-15 atm.cc/s.He,是常规氦质谱检漏仪器灵敏度的1000倍以上,已成功应用于红外焦平面探测器组件等长寿命真空电子元器件产品的研制和生产工艺检测中,也是高能粒子加...     

Leak detection—Ultrasensitive techniques employing the helium leak detector

The development of closures for electron devices often requires that leaks far below the usual range of the helium mass spectrometer-type leak detector be localized and measured. It has been possible, by using new techniques, to extend the sensitivity of detection several orders of magnitude beyond the normal limit of the instrument. Two highly sensitive methods with similar techniques but separate sensitivity ranges are discussed. In seals similar to those of color television picture tube closures, it is noted that the character of small leaks is such that long times are required to reach a constant maximum rate of helium leakage. Methods for predicting this maximum rate from early observations are discussed. Methods for establishing procedures necessary for sensitivity requirements for any particular seal type are given. Time and sensitivity limitations are discussed. Increases in the sensitivity of detection of the order of 40,000 are attained easily. Leaks as small as 1.5 × 10^-10µliters/second have been detected and measured in 22-inch rectangular color television picture tube closure seals. In one year, a leak of this size would only cause an increase in pressure in an ungettered tube of 10^-7mm Hg. This represents an increase in the sensitivity of detection of about one million.