低压扩散机理及其对扩散方阻均匀性的影响研究

传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散,随着高效晶硅电池的发展,扩散结深的不断变浅,常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求。低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境,提升扩散制结的性能。对低压扩散机理进行了详细分析,从扩散分子自由程、掺杂原子分压比和气场均匀性等方面详细分析了低压扩散对高方阻均匀性的影响关系。采用新型低压扩散炉进行工艺实验测试,结果表明,低压扩散在可达到扩散方阻目标值110Ω时更好的均匀性,载片量较常压扩散大幅度提升,具有无可比拟的生产优势,是未来扩散技术的主要发展方向。     

软着陆闭管扩散炉几个关键控制单元的设计与应用

为了适应太阳能电池生产的新工艺需求,提出一种新型的软着陆闭管扩散炉系统,为扩散炉系统向智能型、精密型的方向发展进行有益的探索,并阐述了软着陆闭管扩散炉系统的结构组成和工艺原理以及技术指标,重点对扩散炉系统中送料装置软着陆单元、炉门自动封闭单元以及炉管压力平衡单元的电气控制部分进行了详细的分析,其中运用了上下位机与PLC结合的控制方式对送料装置软着陆、炉门自动封闭进行了设计,运用PID控制方式对炉膛内压力进行控制,使其达到平衡。     

基于ZigBee的分布式气体监测定位系统

为了及时发现危险化工气体的泄漏与排放,实现对排放源的快速定位以及对扩散范围的预测,提高对化工气体泄漏事件的处理速度。基于此,建立一种基于ZigBee和多传感器融合的分布式气体检测平台。采用多传感器融合对环境进行实时监测,针对检测得到的数据,选择合适的插值算法,结合具体环境信息采用Surfer软件构造气体扩散等值线,对气体的扩散范围进行预测;根据影响定位的因素和模糊控制算法,快速选择合适的定位算法,结合参考节点位置信息实现对扩散源的定位。实验表明,系统能对化工气体浓度进行实时性在线检测,同时还能对化工气体的扩散等值线进行模拟,实现了对气体扩散范围的预测,以及对扩散的迅速处理。     

电子器件

0314134气动谐振管内压力振荡数值计算[刊]/安联//北京航空航天大学学报.—2003,29(2).—165～168(L)为了研究气动谐振管内的加热现象,采用二维轴对称 Eder 方程组和显式 MacCormack 格式对谐振管内的非定常振荡流场进行了数值模拟。针对不同压力的驱动气体进行了计算,得到了谐振管底端压力振荡时间历程以及谐振管内其它气动参数的变化规律.确     

275有机硅超高真空扩散泵油废油的回收利用

275有机硅超高真空扩散泵油是一种价格昂贵而用量又大的原材料。为保证真空系统的真空度和显象管正常工作时管内的良好气氛,我们规定:扩散泵在连续工作500小时以后,必须清洗泵体,更换泵液。对更换下来的废油,一向是不作处理,一倒了之,这样做,既浪费了资财,又污染了环境。为此,在1983年10月开始对回收利用废硅油进行了调研。     

GexSi1—x减压化学气相外延过程的流体力学和表面反应动力学分析

结合流体力学和表面反应动力学分析了ＳｉＨ２Ｃｌ２＋ＧｅＨ４＋Ｈ２减压化学气相外延系统。计算和讨论了由于生长压力的变化而导致的反应管内速度分布，温度分析和反应气体浓度分布的变化。计算了生长温度为７００℃时，ＧｅＳＩ外延层中Ｓｉ，Ｇｅ和ＧｅｘＳｉ１－ｘ生长速度与初始ＧｅＨ４流量的关系。     

闭式水循环系统中的空气排放及注意要点

当新建工程项目终于完工,紧接着就是各类系统的调试和运行了。作为项目标志性内容的暖通空调冷冻水系统,在初次启用前,都会涉及到系统注水和管内空气排放的问题。然而,有时会因设计不够规范和细心;施工不够专业或处理不恰当,甚至是错误的做法。造成水管内空气排不出去,系统紊乱,以至于影响生产或试验环境的正常运行。就前不久发生的类似情况作一分析,并给出正确的处理方法。     

某型飞机加油车加油压力改进研究

通过对某型飞机加油车加油流程、压力控制原理的分析,提出了调节加油车管内压力控制阀的办法对飞机加油车加油压力进行改进。试验结果表明该方法能明显提高飞机加油接头入口处的压力,满足飞机加油试验的要求。     

太阳能电池片硼源扩散综述

对国内近十年来硼扩散技术的进展进行了介绍,引用不同科研人员的研究成果说明以下结论:采用旋涂SiO_2纳米浆料作为硼源,能够改善太阳能电池片扩散区域方块电阻的均匀性,粒径越小,均匀性越好;改善管内进气方式,增大硼源进气口距离太阳能电池片的距离,能够改善太阳能电池片扩散区域方块电阻的均匀性;在BBr_3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯,能够提高硼扩散的片内均匀性和片间均匀性。     

MOCVD反应室的计算机辅助设计

给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法,介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布、压力分布和温度分布情况,可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例,对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。     

PLC和电-气比例阀在压力试验台控制系统中的应用

橡胶软管压力试验台主要用于各种航标橡胶管的耐压试验和爆破试验。本文在简述光洋PLC（可编程控制器）及SMC电-气比例阀工作原理及技术特点的基础上,讲述了其在橡胶软管压力试验台控制系统中的应用,根据试验工艺要求设计了系统触摸屏监控软件和PLC程序控制软件,并给出了手动和自动监控触摸屏界面以及PLC控制程序流程图。使用结果表明,基于PLC和电-气比例阀的压力试验台的系统压力控制灵敏,响应速度快,操作简便,试验效果良好。     

InP基光电探测器材料的MOCVD锌扩散

锌(Zn)扩散是制作InP基光电探测器(PD)的重要工艺过程.分析了锌扩散的机制,利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备对InP基PD及雪崩光电探测器(APD)材料进行了锌扩散,由于MOCVD设备具有精确的温度控制系统,所以该扩散工艺具有简单、均匀性好、重复性好的优点.对于扩散后的样品,采用电化学C-V方法和扫描电子显微镜(SEM)等测试分析手段,研究了退火、扩散温度、扩散源体积流量和反应室压力等主要工艺参数对InP材料扩散速率和载流子浓度的影响,并将该锌扩散工艺应用于InP基光电探测器和雪崩光电探测器的器件制作中,得到了优异的器件性能结果.     

智能化高效含浸机的控制系统设计和实现

采用闭环控制系统、PID 控制算法、封闭式液体循环控制和多段速脱液系统等技术的结合,开发一种智能化高效含浸设备。系统通过对温度、压力、时间、速度等数据信息的采集,结合PLC 的高速处理,完成对电解电容的铝箔纸进行注液、加热、抽真空、加压、浸液及脱液等流程控制,整个流程可循环,并且循环次数可设。     

Numerical simulation and verification of gas transport during an atomic layer deposition process

Atomic Layer Deposition (ALD) is a process used to deposit nanometer scale films for use in semiconductor electronics. The reactor consists of a warm wall horizontal flow tube, a substrate mounted on a disk downstream from the inlet, and cyclic flow between a reactant gas, a purging gas and a gas that preps the surface of the substrate. The objective is to achieve a uniform coating on the substrate layer by layer in minimal time. It is possible to use in situ monitoring of the gas phase and deposition to modify layer formation. Process improvement is currently accomplished experimentally by monitoring the precursor delivery and the growth of the film and adjusting the parameters: flow rates, temperature, pressure, concentrations, etc. Accurate simulation and optimization can decrease processing time and cost and increase control during product development. In addition, increased accuracy of gas transport simulation can be used to analyze reaction and diffusion rates, reaction mechanisms and other physical properties. In this paper we introduce the first comprehensive numerical solution of the Dusty-Gas Model including the complete binary diffusion term. We derive a concentration dependent Damkohler number relevant to the purge step of the process. The simulation matched the experimental data at a specific Damkohler number and further variation of the parameter confirmed existing experimentally observed phenomena.     

进港航班间隔变结构控制

为提高空中交通流量,减少人为因素对航空安全的不利影响,必须逐步实现空中交通管制自动化。研究了空中交通管制和飞行控制共同作用的航班进港过程的系统属性;提出将由离散事件系统和物理系统组合的混合系统简化为动态系统综合分析,用成熟的滑模变结构控制理论设计安全可靠的航班进港系统。为减小人为因素和环境条件变化引起过程参数摄动的影响,提高受控系统的鲁棒性,设计了离散滑动模态变结构控制器。进一步考虑民航飞机加减速和机动能力的限制,在控制器设计中将其作为约束加以考虑,并分析了约束大小的影响和对过程参数变化的适应性。计算表明闭环系统在过程参数较大范围变化时,能保证系统有良好的稳定性和由变结构控制设计所给定的动态特性。结合进港具体过程,为空中交通管制实现自动化提出可实施的技术方案。     

高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。     

Fluid Flow Effects on Readings from the Mass Spectrometer with Diffusion Membrane Catheter

The diffusion membrane catheter coupled to the mass spectrometer has previously been used to measure partial pressures of gases in blood. However, measurement errors arise due to depletion of gases in the vicinity of the catheter. The nature of these errors in oxygen and argon partial pressure measurement is described for in vitro and in vivo studies. The in vitro setup consisted of a catheter having a silicone or Teflon membrane at its tip and located within a tube surrounded by flowing blood or water. The effects of tube diameter and bulk fluid flow rate on mass spectrometer readings of oxygen and argon partial pressures were examined. It was found that a log-linear relationship closely described the effect of flow rate on readings in the region of flow dependence. Also flow dependence for argon closely paralleled that for oxygen. The in vivo study which followed was an examination of the errors in mass spectrometer readings under conditions which cause varying flow rates in blood vessels. Substantial errors in oxygen readings were found which could be compensated for by using argon readings as a correction factor.     

一种应用于温度控制系统的恒流源加热电路

主要介绍了一种应用于温度控制系统的恒流源加热电路,根据负反馈原理以及场效应管恒流原理设计出一种基于场效应管的恒流源加热电路。重点从电路构成、工作原理以及芯片选型等方面对电路作了分析,并对该加热电路进行了调试,将其应用于实际温度控制电路的测量中,得到可靠实验数据。     

蒸汽检测计量控制系统

本文介绍了蒸所检测计量控制系统的结构、软件设计和特点，它具有实现蒸汽流量、汽压检测与分配控制一体化的监控装置，能够确保热系统的生产、输送和使用等环节的协调工作，使单项节能迈向系统优化节能，提高了生产效率，推进了计量与节能技术的进步。     

真空系统设计的程序化

在真空系统的设计中,一般涉及到流态判别、流导、泵的抽速和系统的压力等参数。在流导计算中又涉及到不同的管道长度和管道形状,其应用的流导公式不同。有时要反复尝试各种参数使设计的真空系统满足使用要求,使得计算过程非常繁琐。本文介绍了一种真空系统设计的应用程序,可计算常用的20℃空气气体下的流导、差分管参数或系统两端压力等参数,还给出了应用实例。