微型压阻式压力传感器的研制

用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。     

MEMS传感器

MEMS传感器成为全世界增长最快的产品之一，MEMS产品的可靠性高，技术附加值高，市场回报率大于传统产业。MEMS传感器与系统将会有更大的市场增长，惯性测量器件、微流量器件、光MEMS器件、压力传感器、加速度传感器、微型陀螺和汽车领域应用的MEMS器件(压力传感器、加速度传感器、微型陀螺)等的应用将具有巨大的潜力。     

多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用（二）

多孔硅微细加工的压阻压力传感器 微型压力传感器是在60年代末出现的,微细加工技术就是从此开始发展的。上面所述的各向异性化学腐蚀、电化学腐蚀和硅片直接融结等都已用来制造微型压阻压力传感器。微型压阻压力传感器尚需解决的问题是制造工艺太复杂、生产成本太高以及不易制造高灵敏的微压传感器等。针对这种情况,本文     

基于硅压阻式传感器与光纤传感的静压桩贯入模型试验应用研究

将微型硅压阻式土压力传感器、孔隙水压力传感器及增敏微 型光纤光栅(fiber Bragg grating,FBG)应变传感器应用于静压桩贯入模型试验中,很好地测试了静 压桩贯入过程桩端 阻力、桩身轴力、桩土界面土压力和孔隙水压力。初步试验表明,微型硅压阻式土压力传感 器、孔隙水压 力传感器及增敏微型FBG应变传感器应用在静压模型桩贯入过程中,实现了贯入过程的桩端 阻力、桩身轴 力、桩土界面土压力和孔隙水压力的实时监测;桩身轴力和桩土界面有效侧向压力均随贯入 深度的增加而 增加,但同一深度处侧向压力逐渐减小。为静压桩贯入测试方法提供了参考依据,对进一步 研发室内试验微型传感器具有参考价值。     

基于无线SAW压力传感器的FADS研究

嵌入式大气数据系统（FADS）是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量，将无线SAW压力传感器应用于FADS，与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以及相关应用电路模块，并利用HP Esoft软件和SAW谐振器等效电路对无线SAW压力传感器进行了仿真。研究表明，无线SAW传感器能应用到先进的大气数据系统，具有重要的应用价值。     

超高压力灵敏度的光纤微型F-P腔

基于法布里-珀罗（Fabry-Perot,F-P）腔的干涉原理,提出了一种新型超高压力灵敏度的可压缩光纤微型F-P腔。该压力传感器的FP腔是将单模光纤（Single Mode Fiber,SMF）与石英管熔接后浸入水中在SMF端面处形成的空气泡来构成,其压力灵敏度大于1000nm/kPa。该光纤微型F-P腔在高灵敏度压力测量和水声传感方面有着潜在的的应用价值。     

新型传感器“尖兵”列阵

微型传感器 微型传感器是指采用微电子机械加工技术制作的,芯片的特征尺寸为微米级的各类传感器的总称。它是当代先进的微电子机械系统(MEMS)的重要组成部分。 目前,国外已批量生产的微型传感器有压力传感器、加速度传感器、微型陀螺等。2003年销售额将达到65亿～115亿美元,其中各类微型传感器的总销量将达到9.25亿～14.75亿只,年销售额     

意法推出新款微型压力传感器

意法半导体近日推出MEMS（微机电系统）压力传感器。该LPS001WP是一款微型压力传感器,采用创新的传感技术,能够精确地测量压力和海拔高度。该产品采用超轻巧、薄型封装,特别适用于智能手机、运动型手表、各种不同的便携设备、气象站,以及汽车和工业应用。     

超微型硅压阻传感器的设计构想

从单晶硅压阻式压力传感器的机芯设计、结构设计、半导体平面工艺及温度补偿等几个方面，较为全面地论述了超微型硅压阻压力传感器的设计构想。主要指出设计思路、设计原则及较为特殊的设计方法。     

LPS25H：微型压力传感器

ST推出的LPS25H微型压力传感器，具有为移动应用优化的独特创新功能。     

微型传感器及纳米传感器

综述了微型传感器及纳米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。     

一种基于谐振原理的微型压力传感器设计

设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性。     

微型传感器及纳米传感器

综述了微型传感器及内米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。     

无线微型环境传感器设计

低功耗且易安装的微型传感器在传统药房等现代存储环境中具有较为广泛的使用价值,本设计提出了一种无线微型环境传感器的设计,传感器包括倒F型天线ANT、温湿度传感器、压力传感器、数据处理及无线收发芯片和电源电路等模块组成,具有便携性与能耗性能较好的特点,无线信号传输也避免了传统设计线路铺设的缺陷。     

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备，具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理，描述了设计方案，介绍了计算机模拟仿真结果。     

MOEMS压力传感器的研究进展

微型光机电系统(MOEMS)技术作为一门新兴的技术,已广泛应用于光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无法比拟的优点.本文着重介绍了各类MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺,最后简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺.     

微型传感器家族新成员—微型接近传感器

利用MEMS(Micro Electromechanical System,微机电系统）技术制作的微型传感器是近年来传感器发展的主流之一,特点是体积小、重量轻、功耗低、功能集成度高和可靠性高等。其制造过程利用了半导体业较为成熟的工艺,能实现与之类似的大批量、高精度加工。目前,已研制出的微型传感器种类繁多,其中压力、加速度、磁(霍尔效应）、温度、光学(CCD)等传感器已有成熟商品问世。本文则将以Xiaofeng Yang (Advanced Micro Machines公司）等人研制的一种单片式传感器为例,介绍微型接近传感器这一微型传感器家族的新成员。用途及基本原理这…     

基于无线SAW压力传感器的FADS研究

嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以及相关应用电路模块,并利用HP Esoft软件和SAW谐振器等效电路对无线SAW压力传感器进行了仿真。研究表明,无线SAW传感器能应用到先进的大气数据系统,具有重要的应用价值。     

新型电子元件在机器人灵巧手微型五维力传感器中的应用

高性能的微型电子元件对于微型传感器的研制是十分重要的。本文介绍了应用新型电子元件设计的微型五维力传感器信号调理电路，并且描述了使用串行模数转换器实现传感器数字化输出的原理和可行性。     

微型低压传感器的研究

本文叙述了使用硅集成电路工艺技术制作的电容式压力传感器.以常规LPCVD技术淀积的多品硅、经腐蚀掏空多晶硅层与硅衬底之间的中间氧化层形成空隙,随后将具有可变形的多品硅隔膜封成真空腔.该腔随外界压力改变引起多晶硅膜变形,用测量隔膜与硅衬底电极之间电容的变化来测量压力的变化。介绍了微型低压传感器的设计、制造工艺和测试结果.