ITO靶材的毒化机理研究现状

为了更好的了解ITO靶材的毒化机理,分别介绍了磁控溅射技术制备薄膜的基本原理,综述了ITO靶材在溅射过程中的毒化机理研究的现状,分析了影响ITO靶材毒化现象可能的原因,详细介绍了现阶段3种解决ITO靶材毒化现象的方法:不同工艺制备ITO靶材的影响、最佳Sn掺杂量和其他元素的掺杂等的影响以及溅射工艺的影响,指出了他们各自缓解ITO靶材毒化现象的原理。并且展望了未来解决我国ITO靶材毒化问题的发展方向。为我国ITO靶材的发展提供一定的参考。     

ITO靶材的断口分析

对国产与日本产两种ITO靶材进行全面的分析对比,并对ITO靶材的断口形貌与靶材黑化结瘤之间的关系进行了探讨。结果表明,国产靶材与日本靶材的相对密度、电阻率、失氧率等参数比较接近,二者均为单一晶相的固溶体。国产靶材的断面为"解理+韧窝"的脆—韧混合断裂,断裂面晶界上出现了粒径较大的无规则颗粒物;而日本靶材断面为解理脆性断裂,断裂面晶界清晰,无颗粒物出现。     

ITO粉及ITO靶材中铟的测定-EDTA容量法

采用EDTA容量法测定ITO粉及ITO靶材中的铟含量，方法变异系数0.43%，回收率97%-101%之间，符合分析要求，精度符合分析要求，结果令人满意。     

ITO靶材成形工艺的研究新进展

ITO靶材是高端液晶显示器、太阳能电池、导电玻璃等领域的主要材料之一,而ITO靶材的成形技术是关键环节。综述了冷等静压成形、冲压成形、模压成形、爆炸成形、挤压成形、凝胶注模成形等技术特点及研究状况,并重点介绍注浆成形的技术特点和研究进展。     

微波烧结制备ITO靶材的工艺

采用单相ITO(indium tin oxide,铟锡氧化物)复合粉末,经过压制成形后,在纯氧气氛下微波烧结制备ITO靶材,研究烧结温度、保温时间和压制压力等主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响。结果表明:靶材的相对密度随烧结温度升高而增大;在1 600℃烧结时,靶材的相对密度随保温时间增加先增大后减小,在保温1.5 h时相对密度达到最大值(98.67%),高温长时间烧结对ITO靶材的致密化不利。微波烧结的ITO靶材显微组织均匀,晶粒尺寸较均匀,约为6～8μm。不同温度下制备的ITO靶材均无SnO2相析出,仍是单一的固溶体相,不存在第二相。     

浅议ITO靶材的制备方法及发展趋势

系统地阐述了ITO靶材的性质、特点和用途,重点介绍了目前常用制备ITO靶材的烧结工艺和成型方法的发展现状及对应特点。在对目前国内外ITO靶材的发展情况和发展现状进行分析的基础上,对ITO靶材未来低电阻率、高密度、尺寸大型化等发展趋势进行了展望。     

不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析

分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织。结果表明:当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡阶段的组织,晶界还未稳定,致密性差;当烧结温度为1 560℃和1 590℃时,靶材的组织稳定,致密性高,但是1 590℃烧结靶材晶粒偏大,晶界稳定性稍差;当烧结温度为1 620℃和1 650℃时,组织的晶界开始熔解,而且晶粒变得圆滑,尤其是在1 650℃烧结后,组织中晶粒是游离的近球形。通过SEM分析,验证了金相组织分析正确性,而且快捷,简便。     

ITO靶材热等静压致密化工艺研究

用化学共沉淀法制备的ITO复合粉末经冷等静压成形后进行热等静压致密化,热等静压时采用碳钢作包套,采用铜箔作隔层,实验研究了热等静压主要工艺参数对ITO陶瓷靶材致密化的影响,实验结果表明:靶材的相对密度在大约1000℃处有一峰值;相对密度随压力增加而增加;当保温温度较低时,适当延长保温时间有利于提高密度;当保温温度较高时,延长保温时间反而使密度降低,分析了ITO在高温下的分解行为以及这种行为对致密化的作用,还解释了ITO复合粉末部分脱氧使ITO陶瓷半导化的机理。     

从专利角度分析ITO靶材的研究现状及发展趋势

本文对以ITO靶材的国内外相关专利为研究对象,运用专利信息分析方法,深入分析ITO靶材的发展趋势、核心技术、竞争对手的专利布局情况,帮助我国相关研制单位确定研究方向、获得技术启发、借鉴先进技术,从而促进高端靶材国产化进程,充分发挥我国铟资源的优势,对调整铟产业链结构也具有十分重要的意义。     

日本东索、昭和电工ITO靶材的研制

介绍了东索、昭和电工研制ITO靶材的主要情况，归纳了它们不同的注重点。     

ITO废靶回收金属铟

磁控溅射镀膜后的ITO废靶，以及ITO靶材生产中产生的边角料，切屑，废品等是再生铟的主要原料，对废靶的还原-二次电解工艺进行了研究。并获得了工艺参数良好。回收率高，纯度为99.993%的金属铟产品。     

利用ITO废靶材回收金属铟

以ITO(Indium Tin Oxide)废靶材为原料进行盐酸溶解、铝置换和电解 ,以回收金属铟。讨论了酸溶解、铟锡分离和电解的影响因素。得出用盐酸溶解 ,用量为理论用量的 1.5～ 3倍 ,溶解温度在 85℃时 ,靶材溶解迅速彻底。溶液温度为 5 0℃时 ,用金属铟置换溶液中锡离子 ,再用薄铝片将铟离子置换出来 ,粗铟的回收率可达到 97%。粗铟电解的最佳条件是 [In] =5 0～ 10 0 g·L- 1 ,温度 2 5℃ ,pH值 2 .5 ,电流密度 60～ 80A·m- 2 ,槽电压 3 3 0～ 3 5 0mV ,电解得到纯度 99.995 %的金属铟 ,金属铟总的回收率大于 93 %。     

冷却速率对00Cr25Ni7Mo4N超级双相 不锈钢析出相的影响

 利用热膨胀仪测定了00Cr25Ni7Mo4N超级双相不锈钢的CCT曲线,结合金相法、显微硬度法、X射线衍射法分析了冷却速率对00Cr25Ni7Mo4N超级双相不锈钢σ析出相的影响。结果表明,00Cr25Ni7Mo4N双相不锈钢热处理或热加工温度应控制在1050 ℃以上;冷却速率越小,σ相析出量越多,显微硬度也越高;钢在冷却过程中要以大于4800 ℃/h的冷却速率通过600～1000 ℃区域,从而避免σ脆性相的析出。     

喷射成形镍基高温合金冷却速度的评价

本文采用X射线衍射技术分析了喷射成形镍基高温合金在不同状态下的晶格常数变化规律，由此对喷射深积坯的冷却效果进行了评价，提出用“综合冷却速度”的概念来统一表征 射成形材料的快速凝固效果，并分析了喷射成形条件下晶格畸变和固溶度变化。     

弛豫—析出—控制相变技术中冷却速度对组织的影响

利用热模拟实验,对在非再结晶温度变形后弛豫一段时间,再以不同冷速冷却的低碳贝氏体钢的相变组织进行了研究,并与同等条件不弛豫的试样组织进行了对比.给出了弛豫和冷速对中温转变组织类型及组织细化程度的影响.实验结果表明,弛豫及冷却速度对变形奥氏体的相变组织是有影响的.低冷速下主要得到边界及取向不清晰的粒状贝氏体,这时弛豫时间对细化程度影响不明显,在10℃/S以上冷速下得到的是以板条贝氏体为主的组织,与未弛豫试样比较,其组织更细,板条形状更清晰,弛豫试样组织中残余奥氏体或M/A岛的形状更细长,弛豫有利于在同等冷却条件下得到板条组织,并且在高冷速下,弛豫试样中M/A量较未弛豫试样中的要少.     

喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究

以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坏及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析.实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥...     

缓慢冷却工艺对高强度冷轧双相钢组织性能的影响

研究了缓慢冷却速度和缓慢冷却终止温度对C—MnCr系冷轧双相钢的显微组织和力学性能的影响。结果表明,随缓慢冷却速度的增加,试验钢的强度增加,伸长率则减小,屈强比变化不大,均在0．46左右。在不同缓慢冷却速度下,试验钢的显微组织均由铁索体和马氏体组成,随着缓慢冷却速度的增加,晶粒尺寸逐渐减小,马氏体体积分数明显增多。铁素...