电极表面粗糙度对检测电容的影响

平行板电容是大多数MEMS传感器件的核心检测结构.考虑随着检测电极间距的减小,电极表面粗糙度会对其空间电场分布产生影响,本文研究了电极表面粗糙度对检测电容性能的影响.建立了单粗糙电极的平行板电容器模型,并采用有限元法分析了表面粗糙度和边缘效应对静电场分布的影响;针对粗糙表面增大了电极存储电荷的能力,对粗糙表面的平行板电容器计算公式进行了修正.采用原子力显微镜对不同粗糙度的样本进行了表征,实验和仿真结果表明:减小两电极之间的距离,增大检测电极的表面粗糙度,可以显著增大检测电容.当检测电极的粗糙度从0.063 nm增加到60 nm时,平行板电容器电容值增大了9.0％.结论显示,增大MEMS电容器两电极的表面粗糙度,可以有效地增大MEMS器件的检测灵敏度.     

膜式燃气表密封阀盖工作面粗糙度检测研究

膜式燃气表是当前社会上应用较广泛的气体流量计。阀盖的密封性对膜式燃气表的计量准确性有很大影响,而阀盖工作面的表面粗糙度是决定其密封性能的关键因素。首先分析研究了光切法与激光三角法的表面粗糙度测量方案,结果表明激光三角法更适合阀盖表面粗糙度的测量;其次,利用激光三角法对阀盖工作面进行了表面粗糙度测量,测量结果与采用某精密公司的触针式表面粗糙度测量仪测量值相比,两者存在较小误差。研究结果表明了激光三角法测量阀盖表面粗糙度的可行性,为检测阀盖密封性提供了有效手段。     

利用光散射法在加工过程中测量表面粗糙度

阐述光散射法在生产过程中控制表面粗糙度的应用。经过试验证明,光散射法测量表面粗糙度,测量结果是可信的,从而使测量管类零件内部的表面粗糙度成为可能。附图4幅。     

外圆纵向磨削表面粗糙度的在线检测研究

现代机械制造工艺对机械加工过程中的表面粗糙度的测量要求日益提高,不仅要保证测量精度,而且要提高测量效率。表面粗糙度测量有接触式和非接触式两种方法。接触式测量仪器稳定性好,示值客观、可靠,使用方便。但是,触针式表面粗糙度测量仪存在着易划伤软性材料表面、易使薄壁试件变形、测量速度低、测量范围小及不易实现自动化在线检测等弊端。而在表面粗糙度的非接触式测量中,光学法是测量的主体,其测量精度高,适合对软材料、易损工件以及某些带有有用信息的表面进行测量,可以较好地弥补触针式表面粗糙度测量仪的不足。目前光学法测量表面粗糙度的仪器有许多种,它们各有特点,但多数只限于在实验室良好环境下使用,能够在现场恶劣环境中对精加工后工件的表面粗糙度值进行在线测量的仪器并不是很多。     

表面粗糙度光纤传感器检测装置的研究

一、引言在CIMS 中,表面粗糙度是监控加工过程和工件质量的最重要的参数之一。虽然目前的轮廓仪可以精确地检测表面粗糙度,但它不适用于自动制造中的在线测量和控制,而且对于超精加工而言,往往不允许进行具有破坏性的接触式测量。为此,人们一直试图开发非接触式的光电方法和装置来检测表面粗糙度。虽然强度型光纤传感器具有结构简单和价格低廉等优点,但光源光强的漂移以及某些干扰光对传感器的信号稳定性有极大的影响。如果能够有效消除这种影响,使测量信号足够稳定,则这种传感器应用的前景将是十分广阔的。采用强度型光纤传感器检测表面粗糙度是基于散射的原理,所以测量结果不仅与工件的加工质量有关,而且也与工件表面的清洁程度直接有关。因此,在采用光电法检测表面粗糙度时,工件表面的清洁处理必须规范化,这对于确保测量重复性至关重要。     

表面粗糙度高精快速测量探讨

本文扼要叙述了目前国内外表面粗糙度检测技术及其设备的发展状况，较详细地分析了反射散射光强度比法非接触测量和金刚石触针扫描法三维接触测量的工作原理和特点，提出了为适应高生产率自动化检测的需要，应综合反射散射光强度比法测量和金刚石触针扫描法三维测量法的优点，研制高精度快速三维非接触法新型表面粗糙度测量装置。     

表面粗糙度示教模板

绝大多数机械加工表面必须控制微观几何形状误差,即表面粗糙度。因为它对零件的使用性能和寿命有很大影响,为了保证零件的加工质量,必须评定零件表面粗糙度。目前在生产工艺上评定表面粗糙度的方法有两种、即定性评定和定量评定。定量评定方法是借助于各种仪器,如光切显微镜、双管干涉仪和电动轮廓仪等,对零件表面粗糙度的各种评定参数进行直接测量。这些定量检测仪器价格昂贵,使用也相当复杂,属于表面粗糙度微观检测范畴,适用于少数特殊要求加工零件的测量。定性评定方法主要是采用目测或感触法来评估零件表面粗糙度,即根据表面粗糙度比较样块用肉眼或凭检测     

三维显微光切法表面粗糙度的非接触测量技术

基于三维视觉检测原理对三维显微光切法表面粗糙度非接触测量技术进行研究。使激光光线与被测工件表面相切,利用工业相机采集获取表面微观轮廓,采用图像处理技术恢复出微观轮廓的几何形貌。根据设计算法,由表面粗糙度评定算法得到表面粗糙度的R_a、R_z等评定指标。这种测量方法效率高,适用范围广,且非接触式测量可避免对工件表面的损坏。     

高精度深孔表面粗糙度检测仪

针对测量领域深孔表面粗糙度测量存在的问题，研制了一种便携式微控表面粗糙度检测仪。主要用于孔径Φ38以上深孔管件内孔表面粗糙度的测量，测孔深度可达18m．既可应用于石油泵管内孔表面粗糙度测量，也可应用于其他深孔管件的内孔表面粗糙度测量。仪器质量轻，操作简便，便于携带，是深孔加工行业质量检测部门的实用计量、检测仪器。     

机加工表面粗糙度的光切显微成像测量方法与试验研究

为了改善机加工表面光切显微图像的轮廓提取效果,提高表面粗糙度的测量精度,在建立了基于光切显微成像的机加工表面粗糙度测量系统的基础上,针对光切显微图像提出了基于Zernike矩的轮廓亚像素边缘检测算法,建立了最大类间方差法与传统Zernike矩相结合的模型,提高了亚像素边缘点的定位精度。在此基础上采用最小二乘拟合法确定了轮廓基准中线,根据国家标准建立了轮廓的算术平均偏差Ra的数学模型,实现了机加工表面粗糙度的非接触、高精度测量。试验结果表明,在机加工表面精度等级在7~10级时,算法耗时约15ms,该方法所测量表面粗糙度的相对误差不超过5%,具有较好的精度和实时性,提高了测量效率。     

基于激光三角法的零件表面粗糙度在线测量

介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法,该测量方法具有测量速度快且能够显示被测表面的具体形貌等优点．在测量中引入激光三角测量系统,用无衍射激光光束作光源,用高精度的摄像机作位移传感器,通过计算机数据处理得到表面粗糙度值,使表面粗糙度在线检测成为可能。     

基于图像法的端铣表面粗糙度研究

基于机器视觉理论,采用图像法,实现了对端铣工件表面粗糙度的非接触式无损检测。通过数字显微镜、高分辨率摄像机与计算机相连接的图像采集系统获取端铣工件表面图像,根据端铣原理和端铣痕迹图像特征,提取基于灰度共生矩阵方法(GLCM)的8表面纹理特征参数,探讨各纹理参数与表面粗糙度评定值Ra的变化规律,从而定性评估端铣工件表面粗糙度。建立BP神经网络检测模型,以端铣表面图像纹理特征参数为输入量,对应的表面粗糙度评定值Ra为期望输出,构建了神经网络检测模型。通过测试样本检验,该方法具有较高的检测精度,能够满足表面粗糙度测量的精度要求。     

基于光切法的表面粗糙度的智能化测量

针对传统光切法测量表面粗糙度的缺点,运用CCD摄像头获取图像,把图像采集到计算机内存并在显示器上实时显示,运用MATLAB进行数据和图像处理,提取工件表面的粗糙度轮廓曲线,计算出表面粗糙度的评定数值,把参数值导入到训练好的神经网络中得出测量值。     

基于USB的表面粗糙度虚拟测量仪的设计

设计了一种基于USB的表面粗糙度虚拟测量仪。该仪器利用激光三角法测量原理,借助Lab—VIEW软件开发平台,运用模块化设计,可实现对精密检测平面无损伤、快速、高精度的表面粗糙度测量。与同类产品相比,具有结构简单、实时处理能力强、测试精度高、显示结果直观、操作简便等优点。     

利用光散射理论在线检测表面粗糙度

提出以光散射理论为基础,利用光学技术实现表面粗糙度的在线测量。该测量系统可对范围在0.02~0.16内的表面粗糙度实现非接触无损检测。     

超光滑表面粗糙度检测系统的研究

超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高.采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求.     

基于CCD成像的外圆纵向磨削表面粗糙度在线测量

为了提高外圆磨削加工零件表面粗糙度的测量效率,可以采用在线测量的方法.基于CCD成像技术,利用激光图谱比较法以及图像傅立叶变换后的能量谱,对外圆纵向磨削后的零件表面粗糙度进行非接触式在线测量,并判定加工零件表面粗糙度的等级.使用的测量方法,可以实现在线检测表面粗糙度的目的,达到了预想的效果.     

基于VB6.0的粗糙度检测仪SJ-201P的串口通讯

在光伏行业的硅片制程中粗糙度检测仪广泛用于检测硅块表面的粗糙度,文中利用VB6.0编程平台探究如何通过粗糙度检测仪的串口,实现了与普通计算机的通信,获取了表面测量的轮廓数据,这对粗糙度检测仪的进一步的应用具有一定的指导意义。     

非接触式表面粗糙度测量仪

由于表面粗糙度是反映加工参数变化的一个重要指标,因此在联线控制方面起着重要的作用。目前,大多数表面粗糙度测量仪器都必须与被检测零件保持接触,也就是说,仪器的测头必须沿着零件表面滑移,同时记录和分析其微小的变化量。多年来,人们一直致力于光学法测量表面粗糙度的研制工作,以避免和解决接触的问题。据塞恩坦克(Sontec)公司声称,该公     

调心滚子轴承外圈滚道粗糙度测量方法的改进

范成法磨削与切入法磨削的原理不同,形成的加工纹理也不同。常规的粗糙度测量方法不能满足通过范成法磨削形成的轴承外圈滚道表面粗糙度的测量。针对以上问题,采用非接触式仪器CCI,对以前的粗糙度测量过程和方法进行改进,解决了用范成法磨削加工的轴承外圈滚道表面粗糙度的测量问题,提高了粗糙度测量精度。