生命科学领域中的微操作系统

微电子机械系统是把微驱动器，微执行器及微处理器都集中在极小的几何空间内，而微电子机械系统的各部位全面实现微型化是比较困难的。本文着重讨论微机领域中的微操作系统，介绍它作为自身为宏观尺寸，执行器为微观尺寸的微电子机械系统的范例在国内外的发展与应用情况。     

下世纪初微电子机械系统的发展

介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器、执行器和微电子机械系统的发展现状     

微机电系统技术及其在卫星中的应用

微机电系统(MEMS)技术MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。它是"Micro ElectroMechanical Systems"的缩写,有的译成"微机电系统",也有译成"微电子机械系统"的。微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸     

下世纪初微电子机械系统的发展

介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工，表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器，执行器和微电子机械系统的发展现状。     

微电机和微动力MEMS

微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。     

美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向

本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。     

铁电-硅微集成系统

铁电-硅微集成系统(FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物,在微电子机械系统(MEMS),存储器等多方面具有极为重要的应用价值.本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方法和几种典型的FSMIS应用方向,并对FSMIS领域的未来发展作出展望.     

硅微机械加工技术

微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。     

微机械加工技术与微传感器

传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。     

微机械陀螺仪的新进展及发展趋势

微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。     

MEMS技术及其在军事中的应用

微电子机械系统(MEMS)是多种学科的交叉融合,应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微/纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。     

投影显示用数字微反射镜器件

数字微反射镜器件(DMD)是得克萨斯仪器公司(TI)研制的,它是一种利用硅基微电子机械系统的(MEMS)反射式空间光调制器。调制器阵列中的每个小反射镜能够单独控制,使入射光线进入或者偏离于透镜的通光口径。虽然这种技术已广泛地用于图形识别和光纤互连,然而TI确把投影显示选为这种技术的商业应用市场。1.数字化微反射镜器件工作原理和结构     

PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展

PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用，可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等，而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用，并对各种刻蚀法进行分析和对比。     

皮卫星发展展望

随着微纳技术(MNT)及微电子机械系统(MEMS)技术的迅猛发展，卫星朝着集成度高、体积小、质量轻、费用低等方向发展。纳型／皮型卫星技术处于微纳技术及卫星技术发展趋势的最前沿，其应用前景广阔。大力开展纳型／皮型卫星及其关键技术的研究，加快其产业化进程，具有十分重要的意义。     

微电子技术新领域

微电子技术新领域陈克金,邵凯（南京电子器件研究所,南京,２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体,将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,将这...     

基于摩擦纳米发电机的自驱动自清洁雨量传感器

为降低新能源汽车雨量监测系统功耗,提出基于摩擦纳米发电机(TENG)的自驱动、自清洁雨量传感器.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备了具有微纳阵列结构的硅片模板,实现了微纳结构柔性转移.基于表面具有金字塔微结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜构建了单电极模式TENG,研究了不同表面形貌对传感器输出性能的影响.利用雨量...     

微机电系统(MEMS)的干涉测量方法的研究进展

目前大量的机械系统中应用了微电子机械设备，从而对微机电系统(MEMS)的测量提出了新的要求。现讨论了近几年MEMS主要的几种基于光干涉平台的位移和面形的测量方法。     

微电子学、集成电路

T刊4,TN一l!96010465新加坡、马来西亚的微电子工业(续)/张纯蓓(中国华晶电子集团公司)/尸卜导体技术.一1995,(5).一29~32 分别介绍了新加坡与马来西亚的微,匕r工业发展概况与动向,分析了新加坡的儿个典型微电子企业.图2表2参19(文)系统介绍了近年来真空微电子学的研究内容、达到的水平和急待解决的问题:包括真空微电子器件的基木结构、场发射阵列、微尖结构物理、新材料和新器件的探索等图3表2参l9(文)TN4,TP212夕6()10466微电子机械系统/王跃林,苏以撤,1文(浙江大学)j}电子学报.一995,23(10).一37~42 对国外微电子机械系统(MEMS)的研…     

传感器领域中无处不在的MEMS技术

微电子机械系统(MEMS-或称为微机电系统)自二十世纪五十年代中期提出以来,历经多年,到目前为止已有很大发展.制造商目前均采用流程化半导体加工技术可靠地制造各种MEMS器件.这些器件包括射频开关、喷墨泵、光传动器和传感器.本文主要介绍MEMS装置在传感器领域的广泛应用,主要包括测量压力和加速度方面的应用.     

微电子机械系统在通信领域的应用

本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响，预计这项技术将引发微通信卫星，光通信系统制造方法和使用方式的变革，同时还大大降低其成本，随着微机械技术的日渐成熟，它将给通信领域带来新的发展。