采用晶圆传送机器人的晶圆预对准方法

针对传统的晶圆预对准控制系统成本高和体积大的不足，设计了基于晶圆传送机器人的晶圆预对准装置，并提出了高效、高精度的晶圆圆心和缺口定位算法。采用交换吸附的方式通过预对准装置一维旋转和晶圆传送机器人空间平移实现晶圆预对准。误差分析及预对准实验研究结果表明，晶圆圆心的定位精度＜50 ，预对准时间为10 s，满足设计要求。     

自动对准定位算法技术在探针设备中的应用研究

论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段.该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆启测测试芯粒自动定位,为探针设备的精确快速测试提供了可靠性保障.     

大直径探针台的晶圆自动传输系统

介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——一片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹,阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理,说明了晶圆自动传输系统的应用前景。     

划切加工中晶圆的图像识别

针对划切设备加工中的一种常见材料LED蓝宝石晶圆,来实现全自动对准与划切的要求,对于如何通过晶圆图像进行定位对准,详细阐述了一种基于边缘检测和模板匹配的定位方法。     

基于机器视觉的晶圆裸片计数

半导体工业生产上很重要的一环就是晶圆生产,晶圆在划片一环会经过品质检测,机械手会取走合格的晶圆裸片,通过对取走后晶圆的分析,可以知道合格品的数目,就可以得到晶圆的良品率参数,便于及时调整工艺,对于生产环节来讲有着重要的地位。本文提出了一种基于机器视觉的晶圆裸片计数算法。该算法基于hough找直线算法,利用晶圆切片本身的一些规律,实现自动检测出取走的晶圆裸片数目。与现有的算法相比,本文的方法易于实现,同时实验显示该算法具有良好的计算性能。     

基板二次预对准定心定向数学模型的研究

高精度的预对准分系统是设计现代光刻机需要解决的核心问题之一。在光刻机上载基板的工作过程中,需要进行多次基板对准,主要有:基板预对准、基板二次预对准、基板对准。为了建立基板二次预对准定心定向数学模型,基于基板二次预对准的工作原理,提出了计算定心定向的算法,对该算法进行了仿真分析,并根据输入输出建立了定心定向数学模型。该数学模型的建立,为提高二次预对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。     

对标准记处理的改进亚象素细分定位算法

提出一种的适合对准标记图像处理的改进亚象素细分定位算法，并提供了完善这种定位算法的缩小检测窗口的方法。     

异构网络特征子信道干扰对准算法优化

包含多种低功率发射节点的异构网络因其在系统容量提升和解决室内及热点场景覆盖上的优势,正成为新一代无线通信系统组网的趋势。但异构网络干扰问题也因小区数目的增加而复杂化。近年提出的干扰对准技术因能实现系统自由度的最大化而成为解决异构网络干扰问题的有效手段。文章在对经典干扰对准算法进行分析的基础上,对特征子信道干扰对准方案进行了改进,优化了发送预编码矩阵和接收滤波矩阵算法,并提出算法在宏蜂窝——毫微微蜂窝异构网络场景下的应用方案。     

系统误差校正中的时间对准问题研究

在雷达组网系统中，为了能迅速而准确地进行误差校正，必须对用于误差校正的数据进行快捷而有效的空时对准。提出在单目标和多目标情况下的时间对准方法，并用最小二乘法对时间对准后的雷达数据进行误差校正仿真，实验结果证明了该算法的有效性。     

系统误差校正中的时间对准问题研究

在雷达组网系统中 ,为了能迅速而准确地进行误差校正 ,必须对用于误差校正的数据进行快捷而有效的空时对准。提出在单目标和多目标情况下的时间对准方法 ,并用最小二乘法对时间对准后的雷达数据进行误差校正仿真 ,实验结果证明了该算法的有效性     

基于四象限探测器的光斑中心高精度定位算法

为了提高四象限探测器检测光斑中心位置的精度,降低现有算法的复杂度,提出了二段式多项式拟合算法。在光斑能量分布服从高斯分布模型的条件下,利用四象限探测器的对称性,简化数据的处理量,将拟合区间合理分为两段进行多项式拟合。同时,针对在拟合区间两端的拟合误差较大的现象进行了优化。仿真分析结果表明,当最高多项式次数为四次时,在原点附近区间,拟合误差仅为10-5mm数量级;在远离原点区间,拟合误差为10-4mm数量级。最后通过实验验证,证明了算法的可行性。     

激光基准成像测量光斑图像的亚像素检测算法

在激光基准下基于CCD成像身管轴线直线度测量系统中,对激光光斑图像的高精度检测和定位是影响系统测量精度的一个重要因素.为了提高激光光斑图像的检测和定位精度,提出了一种Sobel-Guass拟合算子的激光光斑亚像素边缘检测方法,同时结合最小二乘迭代圆拟合法设计了光斑中心的高精度定位.即:首先用Sobel算子细化边缘,进而在梯度方向上进行高斯函数拟合插值,进一步提高图像边缘位置的检测精度,最后经最小二乘圆迭代拟合后得到激光光斑的亚像素级几何参数,从而使测量系统的精度提高一个数量级.实验结果表明:像素细分后对像素点的定位精度可以达到0.1个像素,亚像素边缘对标志中心的定位精度优于0.03像素.     

拟合修正Kalman滤波在弱小目标跟踪中的应用

文章在目标精确跟踪阶段，引入曲线拟合的方法进行跟踪，根据实际情况提出了拟合权系数的定义和计算公式，可以很好地预测运动方向和抑制抖动。引入Kalman滤波系统思想，提出了适合图像跟踪的目标机动性参数，应用在拟合跟踪中，实现了自适应的跟踪算法。将改进的拟合跟踪和Kalman跟踪做了比较，在分析各自优缺点基础上，把改进的拟合跟踪中和Kalman跟踪结合起来，提出了Kalman修正的拟合跟踪算法，可以较好的解决多目标跟踪中记忆跟踪、交叉跟踪、成像抖动的问题。     

遥感图像的亚像元匹配方法研究

为了在一定亚像元匹配精度下提高亚像元匹配速度、研究传统的模板匹配亚像元方法,提出将图像重采样法和曲面拟合法结合起来用于亚像元匹配。先利用序贯相似性检测法,找到像元级的最佳匹配点,然后对模板n倍重采样,计算每个子模板与最佳匹配点的归一化相似性度量值,并计算当归一化相似性度量值最大时所对应的子模板在图像中的位置,再在绝对误差值最小的3×3区域内应用曲面拟合法,从而得到亚像元定位坐标。结果表明,采用图像重采样法和曲面拟合法相结合的新方法,在10倍重采样的前提下,匹配精度高于0.04像元的亚像元精度。     

一种拟合曲线的新拟合算法

非线性测量中对测量结果进行曲线拟合通常采用最小均方误差的标准进行系统参数的辨识,该方法未考虑输入样本的随机性。基于此,提出了一种新的拟合算法:考虑输入样本的随机性所采取的一种加权的最小均方误差拟合方法,利用已知的输入样本的统计特性对权值进行估计,对算法概率为1的任意逼近性给出证明,并对区间半长作出估计。实验表明,该算法有较理想的逼近效果。     

一种随机干扰数据的快速抛物线拟合算法

提供一种干扰数据的抛物线波形拟合方法,利用该方法在对接收的数据进行抛物线波形拟合的过程中,无需进行复杂的逆矩阵计算,因而可以提高信号处理的效率,满足探测器对数据处理的实时性要求。     

一种新型双权值人工神经元网络的数据拟合研究

在本文中提出了一种针对新型双权值神经元网络的数据拟合算法.采用这种新型网络结构和算法,可以克服传统的通用前馈网络中BP算法易陷入局部极小的问题.通过实验比较证明在相同的网络规模下,采用这种新型网络结构和算法可以取得比径向基(RBF)网络更高的拟合精度和更少的迭代次数.     

基于改进圆拟合算法的激光光斑中心检测

主要运用图像处理的方法来检测激光器输出光斑的中心位置,在圆拟合基础上改进了算法,加入了采集处理,去噪滤波,以及多次迭代等处理方法,提高了检测光斑中心位置的精确度,同时预处理和去噪滤波有效地减少了测量时的白噪声以及椒盐噪声的干扰,增强了抗干扰能力。     

一种基于高维频率拟合技术的恒虚警穿墙雷达目标定位算法

针对连续波穿墙雷达在检测过程中可能出现的高虚警及频率模糊区域内的目标丢失问题,该文提出了一种基于高维频率拟合技术的恒虚警目标定位算法。该算法首先根据恒虚警检测技术实时调节系统噪声阈值,抑制虚假目标的产生,然后利用2维拟合处理实现不同目标分量的初步识别和参数估计,最后结合检测的实际需求,通过自适应频率拟合算法对分离的各分量进行高维度的参数修正,并给出目标准确的定位结果。实验结果证明该算法能有效去除检测过程中的虚假目标,在不增加硬件复杂度的前提下,提高系统对不同探测环境的适应能力,并能在频率模糊区域内准确识别和定位多个目标。     

二次曲线拟合实现红外图像非均匀性校正

根据实验数据描绘出红外焦平面阵列探测器随温度变化的平均响应曲线.在分析平均响应曲线特性的基础上,介绍了传统的二次曲线拟合算法的基本原理,提出了简化的二次曲线拟合算法.并采用此方法完成了以ARM处理器和FPGA为核心的红外焦平面阵列实时非均匀性校正系统的硬件设计,其结构比较简单,实现过程较容易,校正效果理想.

Abstract：

According to experimental data,the average response curve of infrared (1R) detetors changing with temperature is obtained.On the basis of analyzing the characteristics of the curve,introduced are the basic principles of traditional quadratic curve fitting algorithm.A simplified quadratic curve fitting algorithm is put forward.Applying this method,the hardware with a simple structure and realizing process is designed for the real-time non-uniformity correction system of IRFPA.ARM processor and FPGA are used as its core.