声表面波传感器原理及应用

本文简要介绍了声表在波（ＳＡＷ）传感器的原理以及典型应用，并指出了其技术难点和发展方向。     

声表面波温度传感器的研究

研究了声表面波温度传感器的敏感机理，延迟线设计的若干准则，结构参数设计的方法选择，以及配套电路设计，并对频温特性的测试进行了探讨。     

声表面波传感器的集总参数等效电路

分析了声表面波传感器的集总参数效电路，给出了参数的ＣＡＤ方法。     

声表面波湿度传感器

叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作,并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论.     

声表面波醋酸气体传感器的气敏特性

本文研究了声表面波醋酸气体传感器的气敏特性。选用了复合膜材料，性能稳定响应时间２０秒，灵敏度高，膜材料受溶剂的干扰小，选择性好。     

声表面波压力传感器

论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法,报导了研究结果:传感器在0～100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×10~(-9)/(Pa·cm~(-2))。     

基于等强度梁的声表面波力传感器研究

分析了声表面波（SAW）力传感器加载后，频率稳定性变差的原因．设计了一种新型的采用等强度梁的力传感器，并通过采用特殊的器件封装方法达到了既保护了表面电极又不影响传感器灵敏度的目的。给出了该传感器的频漂实验和力-频特性实验结果。     

声表面波物理传感器

1 概述表面声波(SAW)现象是瑞利(Rayleigh)于1885年发现的,但具有实用价值的 SAW 器件的出现是近一、二十年的事。SAW 器件发展很快,应用广泛。例如,它作为电子器件,可实现信号的延迟、滤波、振荡和编码多种功能。在传感器领域内,它首先被用作化学蒸汽传感器,以检测 CO、CO_2、NO_2、ZH_3、H_2O、H_2S、SO_2和 H_2等气体。第一个化学气体传感器出现在1979年。近年逐步发展起来多种物理量传感器,最早的压力传感器出现在1975年。最近出现了兰姆波传感器。这些传感器有的已进入实用阶段。     

基于声表面波双端谐振器的气体传感器

首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点，然后从传感技术角度，给出了一种不用延迟线而采用谐振器对有机气体检测的新方法。     

声表面波传感器

评述了用于物理敏感和化学敏感的声表面波传感器的现状和进展。     

SAW压力传感器的理论计算及推导

首先介绍了声表面波(SAW)传感器的基本工作原理。而后从理论分析的角度出发,综合运用各有关知识,探讨了声表面波压力传感器的设计计算问题,并给出了具体的计算方法与步骤。     

SO2气体传感器的新进展

主要介绍了国内外当前SO2气体传感器的研究现状及其发展趋势,并着重介绍了声表面波（SAW）SO2气体传感器的应用前景。     

延迟线型声表面波传感器的研究

声表面波传感器(SAW)可用于检测温度、压力、磁场、电场、加速度、应力、应变、流量、 气体等其工作模式基本上可分为两类延迟线型和振子型本文所要介绍的是作者近期在 德国慕尼黑工业大学检测技术研究所访问研究期间所涉及的一种延迟线型传感器     

SAW 无线传感器的高精度信息提取及硬件实现

在无线声表面波传感器系统中,由于模拟正交解调电路调整等方面I、Q两通道间幅度一致性和两路本振信号不完全正交,或双路A／D特性不一致,而使在传感器信息提取时相位检测误差较高,为高精度提取SAW传感器信息,提高传感器的测量精度和灵敏度,本文利用中频采样,使得A／D变换的采样通道数由传统模拟式I、Q检波时的双通道变为中频直接采样的单通道,并在数字域中利用Hilbert法对信号进行正交检波,从而提高了相位检测精度,此外,给出了系统的硬件实现。     

—种超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器

设计了一种新的超磁致伸缩材料和声表面波谐振器构成的复合磁传感器．该传感器将超磁致伸缩材料在磁场中产生的应力应变传递到声表面波谐振器上，改变其谐振频率，通过对谐振频率的检测进行磁场测量．该传感器可以用于静态和动态磁场测量，并且可用作无源、无线磁传感器．主要分析了该结构用于静态磁场测量的原理，给出了实验结果．传感器谐振频率的变化对于静态磁场变化的灵敏度可达132Hz／Oe，谐振频率测量分辨率在1Hz时，磁场测量分辨率可达10^-7T数量级．